Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
High-frequency plasma processes for the deposition and etching of functional layers during the formation of LSI structures with topological dimensions of 0.5–0.8 μm are investigated. The technology ensures minimal induced defect density of functional layers (<0.05 cm⁻²), does not affect t...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Випуск: | 6 |
| Сторінки: | 57-63 |
| ISSN: | 3083-6549 |
| Автори та афіліації: |
|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Валлійська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
| Завантажити файл: | |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1873277340758310912 |
|---|---|
| author | Novosiadlyi, S. P. |
| author_facet | Novosiadlyi, S. P. |
| author_institution_txt_mv | [
{
"author": "S. P. Novosiadlyi",
"institution": "Vasyl Stefanyk Precarpathian National University, Ivano-Frankivsk, Ukraine",
"orcid": ""
}
] |
| author_sort | Novosiadlyi, S. P. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| container_end_page | 63 |
| container_issue | 6 |
| container_start_page | 57 |
| container_title | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
| container_volume | |
| datestamp_date | 2026-08-11T15:29:27Z |
| description | High-frequency plasma processes for the deposition and etching of functional layers during the formation of LSI structures with topological dimensions of 0.5–0.8 μm are investigated. The technology ensures minimal induced defect density of functional layers (<0.05 cm⁻²), does not affect the charge state of the Si—SiO₂ interface, and creates favorable conditions for low-temperature (<700°C) homoepitaxy of monosilicon and polysilicon on a Si substrate of any orientation type. |
| first_indexed | 2026-08-12T01:01:27Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
�������� �
���
��
������������������
��������
��
�
���
������
�
��������
� !
���
�!"��!�#
����
�!
$������
��������������� ��
��
� �
%&'�(
)&*
�+!
,!
&!
-���.����
�!
)��/���0
�������������������������
*�������
�!
1����2'���������
3�������
����
��������
�
�+!
,!
4
�5�����
62789:;
<=>?>@!9A!@8
3BCDEF&&CG
�F)&$B$H1G
'$IE1I$,C&1G
4*JE1-I$&&K)
4�I*-�*I
J14
���������� ��� !"�#��� �$$!��%�#��&
��$%�%'#$�%���(�)!#������(�)�%*�$�
$%�� %$#+����,� ����#�!���,�� ��*�%�
�#!"��(� $!%��� )����%����%�#���� $ -�
����%���(�$�� �� ��. ��
4�L+�������
��������
J14
�
�������M����2
+�
���+�+�
����"��N
+�+
����O �� �
���P�
��2
L�����
�
���.+���+�M����+
��������+
���Q����
�
������� !
,
���
� R��
�
�
/�
��������
�
���.+���+�M�����
�������P�
��
��P�
��
������
�
����������P+
�����Q���� +
�
�����M����
��5��
���
�
%S<T2
U8V98W9T<2V878XYZ0
���
���Q�����
5���������/�P�
������
�
��Q�
�����M����
�
�
���������
�
�����+�
+�
���+�
[ �
�\�
�����
�����
/
�
���.�
������
/
���2
���� �
���P]�
���
�
�+
������
/
���Q����
�
���2
����
5���������/�P�
�����
�
�����/.������+
���2
��
����
�����2�����
�������
��.������
%^(I0
[_�
̀ \!
��������������������� !"�#$���������%&����
'����(��)��������(�&��)�!"�����*+
�
,
�
-
�
��
�+��/]���
������������2����+L��������P�
���������
��
+�Q5�.���
�������
��.����
a9"a9b
�
��.��L�
��
�������
�P����M��
�
����
+����
�������
����P����
���+������
+�]���
-�J2N�
�
���.+�
�.�
�!
̂
�
��.��� �
�5��+�����
/
��.��
�+����
��2
�P�
������
����P�
��
��
L�.
��������P�
�������2
���
a9"c�
�55��
����
��
������R��
.�� ���P�
��2
�
� ��
�
.�� �P
���
�
+�Q5�.���
������P�
��
�
�
�������
�
�+
��+P+
�L����M����
�
�P�����
��2
+��������
�
�L��/���
/
����
��M�����
����+�
���
��
�����/�P�
���+�
�
���Q����
��5��
���
�
��
5���2
������/�P�
�����!
^������+��
��/�P�
�����������
����������/
�
�����/.������+
�P����M��
�
����
+����
����
��
�2
�����
S$��
���
�Z
�
������
���
,dH2���2 _��!
,
��2
M��
��
���+������
+�]���
�����/.������/
����
��P
-�J2N�
% 0
+������+��
d�����/�����
%d0
�
��2
���Q����+
�.�������
���������
���+���
�������2
��
/b�
≥ ��e � �f+g_!
$������ �R�+
����+�
��+�
��
��
���+�
����������/
�55��
�����
/
�5��+������2
����
������
�������
��
����
���Q��
����.�
��/
���2
��+����
�
��������
0h ��N"�����
��
��P�
.�������
����M����
�������
���
�.�
���
���.+P
�
�����Q�2
���+
�.�������
���������
���+���
���������
�
���+����P�
����
����
d�����/�����!
4�����
/
���Q2
����
������
a91b2i3
�L����M������/
+�R���
/�
�P����M��
�
����
������
���
% _���
EH�0
�
���
��2
� ��
≥��
Åj+��!
,P����
�����+�����
/
��������
������
%k_l0
�L����M������/
�����
�����
���
�+��
��
������
S$��
��� 2�Z!
$�����
����P�
��
��
5��+�������
+������P+
����Q�����+
�
�+����
��P
#��m4
��
��+��
���
��
���
Q����
_��"`
M����!
^55��
�����
/
����
��
��
���
����������/
��
��
��P+
�
���
���+
�
����
�����
�
L���� �����
���.��
���
�
�������
425��2
���
������������2����+L��������P�
����������
��2
�55�����
�
�������
�����2β2
���.��
����
����M�2
�P
�
��+��������
�
�L��/���
�
����������
���� 2
Q���
∆56�
���� Q���
�������
.��
∆578!
3��������P+�
����������� +�
��
�������P
.�2
����+�����
�
5��+�������
�P����M��
�
����
���.2
+������
������
�������
��
���
�
�����Q���
�.�2
������
���������
���+���
���������
�
+������+2
���
%d0
-�J2N�
/b�
h ��e � �" �Ne � N
f+g_�
��
�2
�P�
�����
�����P
�
����
.�����+��
�
���55�����
�
�����+����
������
��
(��.�/
%+�R���
/
�.�
���
���.+P
���" ��
�,
�
�+����
���
���Q����
��"
���m40!
,P����
���5��+���
/
������
%≥��#�0
����2
��� ���/
��
�������+
�+�R���
��
���+������
���2
�
���
g��...g �
,!
*�
���������
M
�
������
����P�
��
���
�5��+�2
������P�
�����2���.+���P+
+����
����P+
���2
�P�����+
�
�.�
���
���.+�
���+������
+�]����
��2
.��� �
�+��/]�
/
425��
��
�
���" ��N
��
���"
����
���P��
/
���55�����
�������
�����2β2
���2
.��
���
��
_�"N�
P�!
�
�L����M�
/
�
�L��/���
/
∆56�
∆578
�
��������
����"��
,
��
�+����
��P
n ��m4!
I��!
!
D�����+��
/
���55�����
�
�����+��2
��
������
������
������
�
�����Q���
�.�2
������
���������
���+���
���������
�
+�]�2
��
+������+��
d�����/�����;
9o"
-�JN�2% ��0p
:
"
-F'`��2% ��0
0
��
�#
��
��
� �
� N
/
b�
;��+g_
�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�N
�������� �
���
��
������������������
��������
0�($�(�1����� �����2(�(�1����'�� '����(�
!"�#$�)�$������$� �(�1"����$� �3(����4� ���
(�����(�$���1�)�!"�����
��
���Q���
��5��
���
�
5���������/�P�
���2
��
J14�
��
��P�
������� �
�P���
����P�
�
���2
���
��.��L�
���
��������
5��+�������
���
�2
�����������
��
���
��
P�/���
�
�����
a92����
���
�5��+����������
�P����M��
�
�P+
���.+���+�M��2
��+
��������+
�
���.+�
qr
`
nb
�
�.+������+
+�R2
���
�
���.+P�
��
���
������� �
���
���
������2
���
�
���+�� !
̂ ������+��
��/�P+�
����������� 2
+�
��
���������
M
�
�
����/
���
���������
������2
���
�
���+��
M���
��
��/��
�
�����������+�
���
���.+P
�
�
����M���
�.�������
���������
���+���
���������
�
a92����
����
%d0!
^55��
�����
/
�����
���
������������
��
���
����������/
��
��+�������+�
����5�
����������
���� Q���
E$32
���.��
�����
�5��+�������P�
�
����
��
��P�
�
���
���
�
�������
���+���
Q�.��
���2
�����P�
����
����
.�� ��!
*����M����
�����Q���
b
�
�
���.+�
qr
`
nb
�
�
N
��
#l
�����M����
���
�2
����������
/
���������
�
�
��"�
��.
�
.�����+��2
�
�
������
�����
���������
�
a92����
����
%d0
��2
�
��
�
����
�
��e � �
��
�Ne � N
f+g_!
���+�����2
���
����5
����������
���� Q���
�
���� Q���
����2
���
.��
∆56�
∆578
���
��� �
≤�� �
�
���N
,
��
�+2
����
��P
��m4�
���
��
�
������
�
���������
�
���
�2
��������P+�
��
���+��
�5��+�������P+�
��
����
Q�
a92����
����
��������+
�
�����
��+
�����
��2
��+
����
���
��
������
�����������
�����
P
cr;cib
_
;qc
_
qb$bch ;_;#
�
�
R���M��+
����
���
sbc;c
�
b
h
;�!
����5
��
���������
���
��� �
���
2
��
�
�����
∆56≤��_
,�
∆57�≤�� �
,
�
∆56≤_��
,�
∆57�≤ �N
,
%(��.�5�
���
�j�
�
"
�
��]����
�+���
�
�
�+���
�
�������
.��
�
���
��P
a9"a9b
�
0!
4�����
�
+�
�
/�
M
�
����
���
���������P�
��
2
��
�����M����
�
���
+���+�+�
��
��� ���
���+
Q�.2
��
��������P�
����
����
.�� ���
�
R���M���
���
�2
���������
���������
�
�
��M��
�
�M��/
L��/]��
��2
+��������
���
�L��/���
/�
����������
���� Q���
∆56
�
���� Q���
�������
.��
∆57�!
^
�
����
�.
�P����
��������M�P�
���]���
��
�����
��
��P�
+�Q��
���
����
������
/
��
���+
5��+�������
�
���
��
J14!
�"�#$�)�$��������!(�6��������%&���7����(�1
"���7�1� #����!��"��1�����7��38�$��)�(�����
(�1�9"���(���� 6��"��(����'��(�#������
4�R���
/
���������
�L��L�
��
���
.��P
���.+P
����
���
���
��
�
�+�
M
�
��L�M��
��.�
��
��P�
��2
���
�
�
.���
���.+P�
��.�����
�
�
���
��
��+�M����
��
���P�
M��
��P
%.�� Q���P�
"
���P
�
��.�� Q��2
�P�
"
�������P
0�
��
��P�
L�������
��55�.��
�
�����������+�
��.���+�
��
���
���
����
a92����2
��
���
.��P
���.+P
%�
.���
��������M��� 0
�
��
���2
�
�
��+�M�����
�������
��
��
���������
�
�
�L��2
.������+
��
�M��
��+�����
��!
I������P
�
.�� Q��2
�P�
M��
��P�
��
��P�
�������
��
�L��L�
P���+��
���������
/
a92����
���
�+��
���
�
�M���
�������
��
���Q����
���
���
�������
����
��
�Q�
����2
�
�
�M���
��
�������
����������P�
�����Q�����
�
��5��
���
�
�
���
��
J14!
-��+�
����
+�Q��
��2
��������
/
��
��2����
���
���
����������P+
����
2
��M����+
��
�������+
�
����������
/
��
���P�
M��2
��P
��
.�� Q���P�
�
��.�� Q���P��
�
��Q�
�����2
��
��/��
�����
/
��.��M�P�
����
���P�
��.P
�
��
���
��
��P�
�P����
�.
���.+P
[`\!
)�+�M�����
�������
�
��
��.��
�
��
���+
�
�2
+��
�
���������
��
������
���P�
M��
��P!
^
�
�����
�������P
���Q����
�
�������
�P������2
���� �+P+�
�
�P����
��������M�P+�!
)����
���2
�
���
���.+���+�M�����
���������
���Q����
�
���2
����
��
������
̂ (I2����
����
��������P
�
��3".�/���5!
��
�������+��
��/�P�
������������
�����/2
.������/
���
�P����M��
�
�P�
��
������
���
�N
3)$
���2����
2����
2����
2��N�
��
�
��
������
�
^(I2����
���+�
���
tuv2N��
C�
���
,�
��
��P�
��2
L�
��
��
M��
�
��
<
>
_���
wH�
�
��`�
�H��
�
��Q�
5
���P��
���+����P�
�
�����P�
��������� ;
qr
`
�
qcr
_
�
q
_
r
N
�
ar
�
�
a9q:
`
�
a9c
`
�
a9
�
c
�
�
qcq:
_
!
&�
(��.�:
�����
������
.�����+��
/
�����
����2
�
�
���.+���+�M������
�������
%=0
������
�����j
����2a9
�
�����Q���
5�����
�_
��
5�����
`
�
+�R���
�
���.+P
��
������
�N
3)$2 ���2��N!
�$#+������%�$��������%&�)!����� ������,�
3�����
������
����
���+�� �
���Q����P�
�
̂ (I2
����
���
���
��+��
���
�+����
����
�+��
�����
��
��
��� ���
��M]��
��Q���
�������
���Q����P�
��2
�j>
�
����
���
����
g56�
x
∆56h��_
x
∆56h_��
x
? -
I��!
�!
����5
����������
���� Q���
��
���+����P�
����
����
d�����/�����
-F'`��2% 0;
#
g
����
��/
��
������
�����������
�����
Pp
-
g
R���M���
����
��/
`�
��
��
��
qcr
�
j%qcr
_
nqr
`
0�
l
_�
��
�
�
=�
a
9b
�
j�
�
�
�
2a
9
�
_
I��!
_!
D�����+��
/
�����
�����
�
�������
������
��2
���j����2a9
�
�����Q���
5�����
�_
��
5�����
`
��
��.��M�P�
.��M����
+�R���
�
���.+P;
9�"
���
,
p� :�"
���
,
p� @�"
���
,
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�#
�������� �
���
��
������������������
��������
��L����
�!#�����%��%$#+������ )!��%�� ����A�BC����#��%�#(
������
��
����
��
��
������������
���������
���������
������
�������
�
�������
������
�������
������!�-
�������"�
�����#��
�����$�
���
SiO2 300 2,7⋅10–2 50 27 O2�%�����#��&�
Si2H6���'(-��������
— )������
SiH4����
Si2H6����
��$������
�������
�
��*���#�
500 10–2–0,1 150 68 ����� 2:1
350 1,2⋅10–1 250 75 " 2:1—1:1,5
Si3H4 250 2,7⋅10–2 100 23 N2�%�����#��&��
Si2H6 ��'(-��������
2:1
450 5,3⋅10–2 –1,6⋅10–1 150 14 N2�%�����#��&���
SiH4���'(-��������
2:1
����-Si 500 2,7⋅10–2 150 26 +,�%�����#��&��
Si2H6���'(-��������
2:1
+,�%�����#��&��
-./'���'(-��������
2:1
α-Si 500 6,7⋅10–1—20 150 68 +,�%�����#��&��
SiH4���'(-��������
4:1
SixNyOz 350 2,7⋅10–2 75 38 N2, O2�%�����#��&��
SiH4���'(-��������
3:1
��L����
�
�!#�����%����#�!����� ����A�BC����#��%�#(
��������
�� -
����
�
��
��������, ��
�������� 0
��#
�����1���
��� ���2���
�������
��������2,
������
3��#�����-
����
��������-
����
�����$�-
���
����-Si,
���������-
� 0 �
700 2,7⋅10–2 —0,13 Cl2+SF6 –75 (13,56 �41) 200—1200 1—0,75 10—12
(Si/SiO2)
����-Si,
���������-
� 0��
300 5⋅10–2—2⋅10–1 SF6+Ar –100 60—120 ~0,9 ~12
(Si/SiO2)
����
Si 200 6,5⋅10–2 Cl2 –20 20—50 0,7—0,9 18 (����
Si/SiO2)
����
Si,
���������-
� 0
1000 6,5⋅10–2—4⋅10–1 Cl2 –150 185—320 0,95 75—100
(����
Si/SiO2)
SiO2
(��"�0)
60 6,5⋅10–2 CF4 100 10—30 >0,95 1—4
(Si/SiO2)
SiO2
(����� 0)
700 2,7⋅10–2—1,3⋅10–1 SF6+Cl2 –75 (13,56 �41) 75—150 >0,85 3—9
(Si/SiO2)
5�����-
#���
400 5,3⋅10–2 O2 –250 200—900 — —
56
7 O2+HMDS –200 400—600 —
���"����
���1���
��������-
����2
��������
�89
400 5,3⋅10–2 :2 –300 50—200 — —
Si3N4,
SixOyNz
500 2,7⋅10–2—1,3⋅10–1 CF4+CHF3
CF4+SF6
–100 75—150 >0,95
4—12
(Si3N4/Si)
���
��������
62
�������
��������2
������
39
7
����1��
700
2,7⋅10–2
2⋅10–1 SiCl4+BCl3 –150 35—125 >0,85 5—8
(AK-1/SiO2)
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
�������� �
���
��
������������������
��������
�������
����������
�
����
����
����Q������
���2
���� �
!
�!
�
���
�+��
�
+���+��/���
����M��
��
��������!
3��
������������
������
a91b2i3
����
2
��+�
����
M�
��
��� �� �
�
����
�� .�
a9"i
%��������
M����
N`�
�+g 0
�
a9"b
%��������
M��2
��
��
�+g 0
�
������
/�
�
��
�
���
����
a9"c
%��������
M����
� N�
�+g 0�
i"c
%��������
M��2
��
_`��
�+g 0�
M
�
�L����M����
�
��
����������!
4��
��]���
a9jb�
a9ji
������� �
�
���
M��
�2
��
�
���+
����
4,d
����
��+����
����
���
���.2
+P�
��
�
��
+�R���
/��
M
�
�����M����
���
2
���
/
���.+P
��
����"���
��� ���
��������
�P2
��Q����
[_\
,p
G
VRKN x
x =
% 0
1.+������
���������
�
��������
_��" Nl
���
��.+�Q���
/
5��+�����
/
�P������M��
����P�
��
2
���P�
������
����P�
������
�
���55�����
�+
���2
��+����
��N"�� �
��
��P�
��
�55��
�����
�
���2
�
��
��
���
��M]�
������
����P�
�������
���Q2
����P�
,d
+����
����P+
����P�����+
���+������
+�]���
�
�5��+�������P�
+����.�� ����
�+����2
�����
���������
�
�.�
��
������/��
���������
��2
L��
�P����
�+����
������
�
Q���!
)����
����
���
��.� ��;
+�R���
/
���.+P
��"
_��
,
�
��������
���e �g�
3��
�+����
���
���Q����
��" ��m4�
������
/
���Q����
��"��
�+j+���
���2
���
/
�������
�
L�5����+
����
���
�5��+������2
���
������
≤
�+j+��!
D%�%E)��#�$�#!"��&� ��%$��)!��%���%�%����)%�
!�������,�
3��
���Q�����
+���2
�
�������+��
�.
������
%��������0
�
4,d2����
����
����
�����2�����
���2
����
��.������
�����
��
������
��M]�
�����
�
�2
���
Q�
�������
�5��+�������P�
��+�����P+
���Q2
�����+!
̂
�
�� .���
�
�+�
M
�
�
4,d
̂ (I2����
����
��
��
�����
��
�����Q��
L�.
��
���������
����L��2
���
���
��
���+
���
���/�P�
����������
������/��
�
���
�+
M��
�
P
���
�
�
����/
�����������
�
����2
.����
�
�+��
�
+������
������
��!
3��
�+�
����2
����
����� R���
�
�P����M��
�
���
���.+��
�����
��
������
�������
�
��������
%���
���
�M�����
���+���
�
+������+���0
���
�����
���Q�����+
����2
���
��
�
�
��������
��
���
�!
3��.+����
��+����
����
�+��
����+�R��
��
�����
��.����
�
�+�
M
�
���
���R��
�� �
�
���
.��2
M�
��/��
+��/]��
�+����
���
�
���
������/�P�
����
5��+����
�
��
��L��
����
�������5�M�����
����2
���
��
�����+��
% ��0�
L�.
������+�R���
�
��
���2
�������� �
���
�
�
�+��
+��
�
�
��.����
�P����
�+2
����
�����
���
�����!
^
�
������
�
�+�
M
�
���2
������/�P�
���
������
���������
��
��.�P+
+�2
����.+�+;
�
���.+�����
"
.�
�M�
L��/]��
������2
�
+�������
�����
�
���
���/�P�
M��
��
��
������2
���
��
�
�
��.����
�+��
+��
�
�������
�P�
+�����.+
5��+�������
���
������/���
������!
̂
�
�
��P���
L��/]��
��.+�Q���
�
��
�����/���
���
�����
�
���+���P�
�
���
����
��
L�.�
���+�R���P�
,�2-2
�2E$32
���������!
3������
���.+�����
��+����
�����
��L��
���/2
���]��
������������
+�����.+��
���
�
�
+�
����
����������
��.��
�+����
���P�
���
������/�P�
�����!
4�����
�
+�
�
/�
M
�
�������
�����M����
������
/
���
��
���
+���+�+�
�
���
��.�!
4�����2
���
����Q�
��/�P�
�����
��������
+�Q��
�����2
��
/
���
�
����
��/��+
�+�R�����
��
����
�����
2
�
��
��
��
�����
.����
��������M��� �
���
.�+�2
���
���������
�+���
��
a9q:
`
�
����������
��
���2
��
��
M��
�
�
��`�
�H�
���L��Q��
�
�
a9c
`
!
��
�����M���
������
�
���Q����
�����
+������+��
��
��"_�
�+j+��
��
a92�����Q��
�����
�+�R�2
���
≤g��
,!
,
�
�+
���M��
���.+�����
��+����
��2
���
���+��
+�Q��
���R��
��
/
��
a92�����Q��
��L��
�����
����
���
1-2�������
��
���"���m4!
&��L����+�
M��
�
�
���������
�
.����
�
���.2
+���+�M����+
��������+
�
�����/.������+
�����2
�
���
��������!
4��Q����
�+����
��P
���.+P
��
���m4
����
�
���Q�����
�������+�� �
�
���
_��m4
"
�
���Q�����
�+��5����
���+�� !
����
��������
5��+�������
��+����
������/2
����
���+��
%��
��.P���
�R�
���5����
������0
��2
.��� �
5��+�����
/
�P������M��
����P�
�
���
�2
�P
abu
%=9:9fT<"Ty9VY"9=T:8W9T<0
��
��L��
������
2
��M�����
�����Q��
���
�����/.������
LP�
����
5�2
������
�
Q���!
D����Q����
���+���
���.+����
��������
��2
+����
�����
��
5��+�������
����������
%����2
������0
��.�����!
^
�
���
����
�
����M��
�
����2
���
���+�
a9q:
`
�
�R�
�
�9q:
`
!
3��
��
�+��/�P�
��2
Q�+��
���
�
�
��������
≥��_e �g�
3�
����M���
��2
������
�������+��
/
%≤���e �g�
$+e�+0
���
�����2
�
�
���
�
`�"��
�+j+���
M���
�����+�
+�
���+�
���
�M/
����
�M����
����.+�Q��!
3��������P�
��2
���������
����.P���
�
M
�
����
+�
��
5��+�����2
��
��������P�
������
�
�������
��/���
����������
�����
���������
��.��� �
�P�
�
��
������/
��_"
��`
+�$+e�+
�
������
/�
�����M�
/
�.
��L+��������
���������
J14
������.������
�����
+�
����.����
���+����+
�
]���+
" ��
+�+
�
+�������������
��++�
����!
,P����
���5��+���
/
����P
�
���
�2
���
�
��
�������+
�+�R���
��
a92�����Q��
≤g��
,!
�!#��%(���'�$�%����#�!��������%��$%���F���,
����A�BC����#��%�#(�
4,d
̂ (I2+�
��
���L����
�������
����
��
��2
�������
J14�
������/��
��.��� �
���.�
�����
5��+�����
/
��L+������P�
��.+��P
%���"���
+�+0
L�������
�����������+�
��
���
�����
�
������2
���
��.���
�������
%≤��
�,0!
����
��.��
������
��.��� �
���
���
/
�P�����
�����
�����
�
���2
����
%≥�" �0!
D����Q����
���+���
�������
���.+���+�M������
�������
+�
��
���+�R���
�
+������+���
�
�����/.������+
�P����M��
�
���
���.+�����
���������!
��
�������
+�
��
�����/.������/
���.+�
ar
�
nzU
���
��������
�_e �g�
3��
�+�R����
g��
,
�
+�R���
�
���.+P
���
,
�
M
�
�L����M����
�P�����
������
/
�������
%���"_��
�+j+��0!
D���/
���2
���G1�
/1�"
H
"
I�"
J�"
�
"
������
/
���������
�
������
����
��
��2
�P�
M��
��
���.+P�
���
��
�
�����p
����
��
�
�������������
����
���p
�LO�+
���.+Pp
������
/
+������������p
�LR��
��������
�
����
���!
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�
�������� �
���
��
������������������
��������
.�
����
���L��Q��
�
�
��
�
������
/�
�����M��
L������
���
���!
*Q�
���
��������
≥`e �g�
3�
L���2
���
���
���
��.���
��
��
���.�
������
�
���"��#�
�
�����
�����
/
�������
a9"a9b
�
���
��� �
�"N!
F���
�
���.+�
����
�
��������P�
��L����
�
����
{�
xU�
q:
�
��������
�"Nl�
�
������
/
�������
+�2
�����+��
��.���
��
��
���"N��
�+j+��
���
���2
��M����
�����
�����
�
��
" ��
�
���.�
������
/
��.���
��
��
��!
����+
�L��.�+�
��M��
��
+�
��
���+�R���
������� �
�
���.�
����P+
���.+��P+
��������+
�
����M����
�P����M��
�
����
�+�R��� !
���������
������
��M�����
�����
%a9b
�
�
a9
_
i
`
�
a91b2i3�
'44�
J'440
�
^(I2����
����
����������/
�
���.+�
qr
`
���
ar�
���
������
�
�������
�
�����2
���
�"��
�+j+��!
��
�����M���
������
�
�����2
��
����
������
��M�����
�������
���
����.���
��]�
����������� �
���L����+�
�����M�
/
M��
�
�
���� 2
Q���
�+�R���
��
����M��P
<≥��
�H�
%<
>
_���
wH�0�
�
���� Q����
�+�R���
��
5
�
≥#�
,!
3��
�
�+
���2
���
/
�������
��.���
��
��
≥ ��
�+j+���
�����
+�R2
���
/
���.+P
�����M����
�
��
≥���
,
!
4�����
/
���2
����
+�Q��
��Q�
�����M�
/
��
N�"���
�+j+��
���
���.�
������
�
≥��#��
����
.�+���
/
ar
�
��
��2
������P�
�������P
���
q0r4
���
0h "`
%q
_
r
N
0!
4�����
�P����
/
���L�����
�
���.+������
�������
�����+�����
�.�� ���
�
���.+�
qr
`
nb
�
%N"��l
b
�
0
���
��������
���"���
3�
�
+�R���
�
_��
,
�
���
��
���+
������
/
�������
���
��� �
≥���
�+j+���
�
���
+�R���
�
���
,
������
/
��.2
���
��
�Q�
��
���
�+j+��
% _���
EH��
5
�
≥��
,0
�
�����
�����
/�
L��/]�
�
L�.
�����M���
��5��
2
���
�
5���������/�P�
�����!
����P�
�������
�55��2
����
��Q�
���
���5����������
���
��
�P�
����
�.2
+������+
���.�
������
�
���.+������
�������
���
���
��
5��+��������
����������
����������!
�%!���������#,�$)�&$���#,���(�%!%K�,��%����
�%�#��,�$ -����%���(��%��#��%��. ��
3��
��������
�
��L+������P�
�����.��
�����2
��M�����
���+
��
�����
����"��N
+�+
���L����
��
���/���
�
�����
�
.���M�
5��+�������
���2
5���������P�
���
��
��
�
+�������������
��.���2
��
��������
J14�
���
�
��M��
��
+�Q�������
�.�2
� ���
�����/.��
���
��.��
�+����
�����
L���5��2
5���������
���
�
����
%J'440�
��
�
�������.��2
R��
�����+���P�
��+��.����
[`�
�\!
$�����P+
��+�����
�+
������
���������
�� 2
�
�
��.��
�+����
�����
���Q�����
5���������/�P�
�����
%�������������
�
���������������
�������+�� �
������
���+�� �
J'440
��
������
���������
����2
�����
�
����
���
����Q������
�������
���
S1.�
2
���Z!
$���������
+�Q�������
�.�� ���
��
������
J'44
���R��
�� �
�
��+���+���������P+
����2
�����+
�
����
���
��
������
S���+���+Z!
D�����P�
���5��/
�
����
���
��
��
5��+����
�.+������+
+�R���
�
��.� ��
�
�������
�
�����������
��+���
�����
�������
���.+���+�M������
�������
�
.���
��������M���
[�\!
E��]��
5��+�������
����
���5���������P�
��L+������P�
���
��
��
����M��
�
��L ;
"
5��+��������
J'44
��
+�Q�������
�.�� 2
���
�
L�5���P+
�������+
������
%`��
Å0p
"
����������
+�Q�������
�.�� ���
J'44
��2
+���+���������P+
�������������+
���
�+����
�2
��
���m4
�
��������
_�
�
+!p
"���������
�����������
������
�������������2
��
�������+��
�
������
��������
a9b
�
��R����
≤��_
�
≤��
+�+�
���
��
�
�����p
"
���.�
������
���.+���+�M�����
��������
����2
�������
������
����2a9"a9b
�
�
+��
��
���
��
��p
"
���������
������
���������������
�������+��
��R����
≤��_
+�+
��
5��+�������
���������p
"
5��+��������
L����P�
���������
�P����M��2
�
�P+
���.+���P+
��������+
�������+��
�
+��2
��
���
��
��p
"
���.�
������
���.+���+�M�����
��������
�
���5����������
+�Q�������
�.�� ���
�
����
J'44
�
�LO�+��+
����
���
^(Ip
"
+�
����.���
���
��
��
���+�����P+
������+
|���+����"���+���"IDE|
���
����������+
�2
���
%}9a9
�
0�
�5��+�������P+
��
������
�+��5����
���+�� !
E�Q�������
�.�� ���
+�Q��
5��+�����
/
��.2
��
�+����
���P+
���Q�����+
�����+�����
��+��2
.����
���
31�
��
��������
�
�������
5�
���.��
�!
�����
�����M��
�
��������
5��+�������
J'44
�
���
��������� !
E����/
��.�5�.����
���Q����
�+��5�����
��2
�����������
�
���������������
�������+�� �
J'44�
a9b
�
�
}9a9
�
�
����
���
����Q������
�������
%I3�0
������� �
�
�����������
������
/�
���Q����
������
[�\;
V=ST(Px+Py)/(C0P∑(Dp
2—D2)), (2)
��
�L����M���
��55�.�������
����+�]�����
��+�����
��
�
��������
���Q����
������
5�����2
����/�P�
�����
�������
�
�+���/����
�����������
��.����
�+���
����+
�.
��+�����
��
%5��5���
���2
���
P�
5��5���
��L�����
������
P�
�
��0
�
�����/2
.������+
�������/����
�����
�
����
���
����Q��2
����
�������
��
������
S1.�
���Z
�
�������/�P�
�����
�
�L
���
�� +�!
*���
�������
�
����
���
��2
��
���
���5����������
5��+����
���
��+�R�
���2
.�
�������
���.+������
�������
�
̂ (I2����
����
��
��
�������
���
tuv2N��
%���0
�
��������
�
#�
��
��m
�.+������+
+�R���
�
��.� ��
�
�������
�
.���
��������M��� !
4���
���������������
����2
���+��
�����/.��
�
���
+����
��
5��+�������
���
��
�P�
���������!
��$%�%�%���#$��%�� )!#�����%�� )�%,�!����� �
%)��'�$�%&�)�%��*�%��%&�!��%K�#����
$�
�M����
��
����5�
�
�P�����
��.��]��]��
�����L���
/�
��
5��+�������
��������
J14
��2
������
��
����������P�
���
�+��
�
�P�������2
���
��+
��.��
�
[�\!
4��
�+�
�������������
���2
+�R���
�L����M����
�������
�������M�����
������
/
�
��M��
�
�+����
���
���Q����
��2
��
���
I3�p
��������
������
��
��55�.��
�
�
������
�� �
���
��
�
�����p
������
����
���������
�+���
�
������p
�LR��
��������
�
����
���p
���+�
�P
����
���
�
���+����P�
����
���
��2
�
��
�
�����!
���
=��6�L
M1�
M2�"
�
�
"
�∑ "
N
>
�
N�"
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
�������� �
���
��
������������������
��������
���+��
��
��
��N
+�+
�
���
��������
�
��.+���+
����"��N
+�+
������M����
�
������R�+�
5��
�2
��+�;
"
��������
�
��Q��R�
���������
/
���+���2
�P�
����
��
�
���������
J14
�������
�
���+
�52
5��
�+�
��
��P�
������M����
��.��]��R��
���2
��L���
/;
�LO�+�P�
�55��
�
��
��P�
���
��
�
����2
Q����
��������+���
�.�L��Q��� �
�P.�����+
��.2
���
��R����
��.��
�
�L��.�
��.����
�.+�����
���/2
�5�
���������
�p
+�������
���
�
��Q����
�������2
���R���
����R���
�
a92����
��P�
M
�
�������
�
�L��.������
�
� M��
����p
"
�
��
�
���+
�P������
γ2���
���
�
�
��.��
�
%≥`��0
�
�P�������
���
����
��� �����
��������2
�����������
�.�L��Q��� !
��
��
������
�
��
��
�M�����
������
��+�
��.2
��L�
��
��.�
���P�
�P�������
���
�P�
������+��2
���
�P�
��.��
�
��
��P�
�L����M����
γ2���
���
≥N��" ��
��.��� �R��
5��+�����
/
������������
��
����5���
�
�����/.������+
�P����M��
�
����
���.+������
������������
��� �����
�������M��2
���
��.+��P
���"��N
+�+!
�����
��� ������
�P��2
�����
���
����
��.��
�
�L����M����
���.�
������
/
���
������
��
������
��
���
�����
�����
�
�����2
��
���������������
�
�����������������
�L���
��
�
��������
N"�N!
�������
��/���
�������������
������������������
������
��.��
�
�����
��� ���2
���+
�
cw~a
%�����+�
��������.��0
�����M����
���
��.��]��R��
�����L���
/�
���
+���+�+�
�
��"
�
��.�
�
��.��� �
����M�
/
�������M�����
��.+�2
�P
���"���
+�+
[�\!
3��
�
�+
���.�
������
/
���2
�����
���������
�
+�R���
/�
���.+������
��.2
� ���
�
�����������
��� �������
�����������
�
.���
��������M���
�LO�+����
����
���
̂ (I�
�L����M����
�P�����
������
/
��� �����
%���"#��
�+j+��0
���
��
�������
�+�R���
g��÷g ��
,
�
��������
�e �g�
"
���e �g
3�
%+�R���
/
���.+P
���"_N�
,
0!
����+
�L��.�+�
�P����M��
�
���
���.+�����
���2
������
���
��.+�Q���
/
�+��
�
/
��
�M�����
���2
��.��
������������
��
����5��
��
�������.������
��.+����
����"��N
+�+!
���'�����(�1�����!"�#$�)�$������)�!(�6����1
3��
��������
�
��L+������P�
�����.��
��
���/2
�P+
�
�����
�
�������
��������
���.+���P�
���2
������
���
���Q���� �
��
�
��M��
�������
�����2
��
5���������/�P�
�����
�
�M���
5��������
����2
M���
��������
�������
[�"#\!
��
�
���
�����/2
.��
�
���P�
�������
��.��M�P�
5�.�M�����
+�
����!
&�+�
��.��L�
���
��+�/�
����
���
�+��
��
���
��.��� �
���
�
���������
�����
�������
���
���.2
+���P�
���������
%9<
=9W@0
�
�����/.������+
�+��2
��������
+���2�
�Q�2����
��������
�
��.�����
��2
��5���+�
����
��
��P�
�L����M����
�P�����
��2
5��+�
�����
/!
,�2����P��
�+�������P�
�����P
��2
��������P�
������
��
���
������
��
�������
+���
�����
������
/�
�
���/�
����������
+�+��
�
.�2
���]���
��������
������� !
����
��
�������
��2
�����+��
�
�P�����
�����
�����
/�
�����/.��
ar
�
�
qr
`
nb
�
�
��
��
��P�
����M����
��������
5��2
�����
�
��
���� +
r
���
������
�
�
������
����P
��`
�+
�
4$
���
������
�
�������
�
������
����P
�#N�
`N`�
���
�+�
�
��
�������
a_i`
���
a9($2i3
���
�����/.������
�������2� N
%q_rNnb�0
5
��
���
������
5�������
�
��
�����
����P
��`
�+�
qi
���
������
5�������
�
�Q�
��
�����
��`
�+
�
i
�
���
������
"
��
�����
_N�
�+!
,�2�
��P��
�+��2
�����P�
�����P
���
����
� �
�+g
�.�������2
���������
���+���
���������
�
+������+���
%d0
�
�L��Q��
��M��
������
���.+�����
����P
��
���2
��
��!
1.+������
�������
���
+�R���
�
�
+�+��
����2
M���
��������
�������
�
.���
��������M���
�� 2
.���
�
�.+������+
�+���������
�+���
��P
%����0
���+���
��
������
�����
�����
���P�
��
������
���
��
��P�
����
�
���
��
������!
̂
�
�� ./
��.��� �
�������
�����
/
����M����
��������
������� !
$��L����
�P�����
���� ����
/
���
+���2����
2
�����++P�
��
��P�
�55��
����
�
�L��Q��
������2
P
�������
���������
������� !
I�����
P
�
������2
P
�������
5�������
�
����M��
�����
�
��M��
���2
���
M
�
��.��� �
���
��������
/
���
������
��������
��
���+���!
����
���
��������
a9
_
i
`
�
���.+�
ar
�
��
+���2����
�����++�
��L�����
�
�.+�����
��2
���
%�+���
��0�
���
�
��
�
���
Q�
�������
���
���Q����
����
�.+������
��
��L�����
�
%�����2
+���
������
��
�������
i
�
n
�
a9r
_
n0!
,P�����
��5��+�
�����
/
���.+���P�
������2
���
���Q����
�
�������
�L����M����
��.��L�2
���P�
�������
�M�����
+�
��P
�
�����/.������+
��5���������
�
��.�����
��
��5���+�
����
�
��+�2
R/�
��
��P�
�����
������Q����
�
����
���
���
�
���
�������
5���������/�P�
�����
J14!
����P�
+�
��P
�55��
����
������ �
�Q�2����
2
������� !
4����+���P�
�Q�2����
��+�
�P
�#
1$42_
�
�#
1$4
�2���
��.��� �
�����.�����
/
������2
���
/
�
�P�����
M���
��
��/���
/�
�
��.��]����+
�
�M���
/�
"_l!
&�+�
�
�
+�
��
�����/.����
��
�������
���
���.+���+�M�����
���������
���2
����
+���2
�
�������+�� �
��������
���+�� �
��
2
����
�
������
�����
5��5���2
�
L���5��5�������2
��
����
�
�����
���������
�
����������
���+����2
�P�
�������
�
�����/.������+
�������
`
%qr`0�
�������
� N
%q_rN0
�
�������
�_
%qcr_0�
�����.�
ar�
��
��
�������
�N
3)$2 ���2����
2����
2����
2��N�
tuv
N��!
3��������P�
�������+��
��/�P�
�����2
������
����.P���
�
M
�
�.
�����/.����P�
������2
��
+����+��/���
M��
�
�
�
�����
�����
/
�����2
��
��������
���+��
�L����M����
������
�_
���
�����/.������
�LO�+����
^(I2����
���
��
������
tuv
N��!
-�����
�����
����
�����
�
���.+�
�
��
�+����2
���
������� �
����
��5�.�M����+
�������
�����2
���+
���
��+�R�
.����
B���+���
��������
�P��2
Q����
[#\
( ) ( )[ ] ( ),/exp/84/1 c
2/1
eeeee kTeUAmkTenI π=
%_0
���
0
Y
�
4
Y
�
O
"
P
"
Q�
"
�
"
5
f
"
���
���
/�
+����
�
.�� �
����
�����p
���
� ���
J��/�+���p
�+����
���
����
�����p
���R��/
.����
B���+���p
���� Q����
�+�R���
��
.����!
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�_
�������� �
���
��
������������������
��������
3�
������
���.+P
�� �
�
����+
�.
�����P�
��2
��+�
���
���
���.+����+
���������
���
����� �2
R��
���� Q����
��� �
���
��
���5��/�
��
�
��
�����
�����
/
������� !
1.+����� �
���������P�
���
��+�R�
.����
B���+����
����.����
M
�
�
��2
���/.������+
�����.�
ar
�
���
���
/
���.+P
���
��2
� �
� �" � �
�+g_�
�
��
������
���.+P
���
��� �
�"#
,
���
+�R���
�
_��
,
�
��"_�
,
�Q�
���
+�R���
�
���
,
!
-��+�
���
���
�
�������
����
��
������
/
�
�����
�����
/
������� �
���
����+�
���2
�
������
�����!
E���
����M���
��
�������
���.2
+P
%�"��
,0
�L����M����
��.���
��5��
��L��.������
"
+��/]�
����
�+g�!
^������
�����
+�Q��
�.+��
/
����M��
��
���2
��Q�����Q�
��/
���� Q���
�+�R���
%�...g ��
,0!
3��
���� Q����
�+�R���
�
��������
g��...g ��
,
���.�
����
���
����
.��M���
���
�
����P�
���
��
��P+
�L����M����
�
���������
���
��
������+
�.
����Q�
��/�P�
�����!
3��
�+��/]����
��
����2
���
��.���
��
����
�����
���
��� �R� �
��
���
�+��/]��
���
����/���
���
��� �R��
������
�
�������
�
ar
�
�
M
�
�� .���
�
�����M����+
������2
�
�����L���
r
��
���+����P�
����
��P!
���
����+
�L��.�+�
�P����M��
�
�P�
���.+���P�
���2
����P
���Q����
�
�������
�
�����/.������+
.��P
��������M���
�LO�+�P�
����
����
^(I
L�������
�
��
�
���
��������
����
��
�
����������P�
��2
���Q�����
���
��.+�Q���
/
�
��L+��������
��2
�������
J14
�����.���
/
�������M�����
��.+��P
����"��N
+�+�
���.�
/
��5��
���
/
5���������/�P�
�����
��
�����
≤����
�+g�
�
�����M�
/
.�� �����
�
�L��/���
/
+�Q5�.���
������P
��.����
a9"a9b
�
�
��
���
��������
�
���
�L��/���
/�
����������
���� Q���
�
���� Q���
�������
.��!
,��/��������
�������
�
+�R���
�
���.+������
�������
��.��� �
�.+��
/
���
���.�
������
/�
��
�
�����
�����
/
������� �
M
�
+�Q�
����]��
��2
���/.���
/�
�
����������
���������
5��+�����2
��
�
���5���������
���
��
�P�
����!
143$B�D$,C&&KF
14�$d&1-1
!
-�.�����
,!
1!�
4������
4!
C!
E������������
���2
��
��Q�+��
��������
��
������
/
�������
���
.��P
���.+P
��
'�.���
�
��+�
�L��L�
��
+�
�������!"
##�!"
�
�!"
4!
`" ��!
�!
~@U8<VYW
z!
~9=WU9�@WYV
Y:YfWUT<
f�f:TWUT<
UY=T<8<fY
UY8fWTU�;
�
�8�:Y
fT<fY>W
ATU
9<WYUXU8WYV
f9Uf@9W
YWf�9<X
��
w9fUTY:YfWUT<9f!
w8<@A8fW@U9<X
8<V
}Y=W9<X!"
#N#!"
i
�!"
�!
��"�N!
_!
&���� ��P�
4!
3!
3��.+���+�M�����
�������P
�
���
�+���
���������
J14
��
,��
�!
)��/����!
��2
�!
4��!
'�.�M���� !
G����
M��
��P�
��� !"
###!"
�
`�_�
�P�!
_!"
4!
� "�N!
`!
&���� ��P�
4!
3!
'�.���2
��������M�����
���2
L�����
�
���.+���+�M�����
���������
��L+��������
���
�+���
���������
J14
��
�����
�M����
����
��2
������!"
����!"
�
��!"
4!
� "��!
�!
&���� ����
4!
3!
3������+�����
���������
����2
����
5��+�����
��L+��������
���
��
��
�������
��
��2
���/���
���+
��
����P
�2�
E�Q�����!
���M!2����
!
���5!
S4����+���P�
��5��+������P�
�
����
����P�
����2
�����Z!"$�����!"
��� !"
4!
��_"��`!
�! &���� ��P�
4!
3!�
-�����
1!
,!
'�.���2��+�M��2
���
���L�����
�
��L+��������
��
�M�����
��
����2
5��
J14
��
,��
�!
&*
SB/������
����
������Z!
)�2
+� �
��������
��R��
�
�
��
���+������!"
����!"
�
_#�!"
4!
�N"N�!
�! r:87
~!
�!
}UY<V=
9<
>:8=78
=T@UfY=
8<V
YWf�9<X
��
aT:9V
aW8WY
}Yf�<T:TX�!"
## !"
�T:!
_`�
i
_!"
�!
̀ �"��!
N! &���� ��P�
4!�
1������
&!�
1������
,!
$��L����2
�
�
�
+�����
�������
�
��L+��������
���������
J14
��
,��
�!
&*
�B/������
����
������Z!
-�+�/�
���P�
���
�+P
�����
������� !
�����
�
����
���!"
����!g
�
̀ ``!"
4!
̀ N"��!
#! &���� ��P�
4!
3!
���������M�����
4C3I
��
����2
��
��
��P�
�
���
��
��
'�.���
�
��+�
�������
���!"
����!"�!
_�
�
�!"
4!
`N" �#!
��
�
���
������
�
��������
�`!�#
����
�!
$������
�������������������AR�
%,H�*�
�!
,������0
���������D�� ��D��� �S�;���������
���QT����;
���U��.�����AR�;�������A
A
�T
*�������
�!
,�������
&11
SH����Z
62789:;
fWYf?=�9WT<:9<Y!fT7
41B$,CG
E1-I$4)FEC
�BG
JB$-$,
*3IC,BF&1G
HCD$ICDIG�&KE1
14�$d&1-CE1
4,F�C
����!%+��#� $(��#� )�#�!���,� ��$%�%�
�%!"������������%�#��;�$%��#�#�$�!%�
�#,�����%$(��#��!,�E���K%$-���K#VF�&
��(����;� �#-%�#VF�&� �� $!%+��(��!��
�#��'�$��(� $!%��,(�
,
���
� R��
���+
�
�������L������R��
������
]�����
���+�� �
�
����
����P�
����L��.���
����
��L�
��R��
��
���+�
�
�P�������/
�P+�
�����
���2
+�
��
L�.�
E$32
���.��
����
[ \!
*��.����
���+�
����M��
�
��L
������
��
�
M��
�
��
��
��
�H�
�
�P�������/
�P�
%���
,0
��������
��
��P�
5��+���2
�
�P����P�
������P
�
���.��
��
��
+���
M
�
��.��2
� �
���/����M����
�� .�
/
���.��
��P
��������
�
�����P+�
���.��
���+�
�
�L����M�
/
��
��M����
5��2
�������������
����
�������
����L��.���
�� !
4�R��
���
���L��+�
�L����M���
����Q���
�
�
�������
����
����
����P�
����L��.���
����
�.2.�
��� �����
�55��
�
�.�R�������� �
�P����P�
���2
|
| id | oai:tkea.com.ua:article-1339 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| issn | 3083-6549 |
| keywords_txt_mv | |
| language | Welsh |
| last_indexed | 2026-08-12T01:01:27Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| resource_txt_mv | wwwtkeacomua/f7/7eeb4f229b44cfae8c6622d6c61d8bf7.pdf |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-13392026-08-11T15:29:27Z Plasma technology for the formation of submicron LSI structures Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС Novosiadlyi, S. P. plasma technology submicron structures LSI circuits deposition and etching homoepitaxy defect density плазменная технология субмикронные структуры БИС осаждение и травление гомоэпитаксия дефектность High-frequency plasma processes for the deposition and etching of functional layers during the formation of LSI structures with topological dimensions of 0.5–0.8 μm are investigated. The technology ensures minimal induced defect density of functional layers (&lt;0.05 cm⁻²), does not affect the charge state of the Si—SiO₂ interface, and creates favorable conditions for low-temperature (&lt;700°C) homoepitaxy of monosilicon and polysilicon on a Si substrate of any orientation type. Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (&lt;0,05 см–2), не влияет на зарядовое состояние границы раздела Si—SiO2&nbsp;и создает благоприятные условия для осуществления низкотемпературной (&lt;700°C) гомоэпитаксии монокремния и поликремния на Si-подложке любого типа ориентации. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 57-63 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 57-63 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57/1239 Copyright (c) 2002 Novosiadlyi S. P. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | плазменная технология субмикронные структуры БИС осаждение и травление гомоэпитаксия дефектность Novosiadlyi, S. P. Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_alt | Plasma technology for the formation of submicron LSI structures |
| title_full | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_fullStr | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_full_unstemmed | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_short | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_sort | плазменная технология формирования субмикронных структур бис |
| topic | плазменная технология субмикронные структуры БИС осаждение и травление гомоэпитаксия дефектность |
| topic_facet | plasma technology submicron structures LSI circuits deposition and etching homoepitaxy defect density плазменная технология субмикронные структуры БИС осаждение и травление гомоэпитаксия дефектность |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57 |
| work_keys_str_mv | AT novosiadlyisp plasmatechnologyfortheformationofsubmicronlsistructures AT novosiadlyisp plazmennaâtehnologiâformirovaniâsubmikronnyhstrukturbis |