Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона

• Published in: Технологія та конструювання в електронній апаратурі
• Date: 2002
• Issue: 4–5
• Pages: 34-39
• ISSN: 3083-6549
• Author Affiliations: A. E. Krendelev — Scientific Research Institute "Scientific Center", Zelenograd, Russia
• Main Author: Krendelev, A. E.
• Format: Article
• Language: yo
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002
• Subjects: микрополосковые линии; гибридные интегральные схемы (ГИС); КВЧ-диапазон; полимерные подложки; ионное травление; магнетронное распыление
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.4-5.34
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

The paper shows that the main challenges in manufacturing film hybrid integrated circuits for microwave and extremely high frequencies consist in selecting the substrate material, methods for precise conductor formation, and techniques and regimes for depositing high-conductivity metals without an a...