Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления
The paper analyzes the temperature errors of pressure sensors and reveals the physical nature of their occurrence. Recommendations for designing pressure sensors with reduced temperature error are developed. Methods for reducing temperature errors are classified and considered, and examples of imple...
Saved in:
| Published in: | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Issue: | 4–5 |
| Pages: | 50-54 |
| ISSN: | 3083-6549 |
| Author Affiliations: |
|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | yo |
| Published: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.4-5.50 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Technology and design in electronic equipment |
| Download file: |
|
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1874002083702636544 |
|---|---|
| author | Vasilyev, V. A. |
| author_facet | Vasilyev, V. A. |
| author_institution_txt_mv | [
{
"author": "V. A. Vasilyev",
"institution": "Penza State University, Russia",
"orcid": ""
}
] |
| author_sort | Vasilyev, V. A. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| container_end_page | 54 |
| container_issue | 4–5 |
| container_start_page | 50 |
| container_title | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
| container_volume | |
| datestamp_date | 2026-08-19T09:54:56Z |
| description | The paper analyzes the temperature errors of pressure sensors and reveals the physical nature of their occurrence. Recommendations for designing pressure sensors with reduced temperature error are developed. Methods for reducing temperature errors are classified and considered, and examples of implementing these methods in pressure sensor designs are provided. |
| first_indexed | 2026-08-20T01:00:56Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
50
ÄÀÒ×ÈÊÈ
ÌÅÒÎÄÛ ÓÌÅÍÜØÅÍÈß ÒÅÌÏÅÐÀÒÓÐÍÎÉ ÏÎÃÐÅØÍÎÑÒÈ
ÄÀÒ×ÈÊΠÄÀÂËÅÍÈß
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
04.06 2002 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Å. Â. ÁÎÍÄÀÐÅÍÊÎ
(ÍÈÈ "Øòîðì", ã. Îäåññà)
Ê. ô.-ì. í. Â. À. ÂÀÑÈËÜÅÂ
Ðîññèÿ, Ïåíçåíñêèé ãîñóäàðñòâåííûé óíèâåðñèòåò
Å-mail: paspen@rambler.ru
Êëàññèôèöèðîâàíû è ðàññìîòðåíû ìå-
òîäû óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ïî-
ãðåøíîñòè, ïðèâåäåíû ïðèìåðû ðåàëè-
çàöèè ìåòîäîâ â êîíñòðóêöèÿõ äàò÷è-
êîâ äàâëåíèÿ.
Ïðÿìûì íàçíà÷åíèåì äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ ÿâëÿåòñÿ
ðåãèñòðàöèÿ èçìåðÿåìîé âåëè÷èíû. Îäíàêî â áîëü-
øèíñòâå ñëó÷àåâ, íàðÿäó ñ ïîëåçíûì èíôîðìàòèâ-
íûì ñèãíàëîì èçìåðÿåìîé âåëè÷èíû, íà ÷óâñòâèòåëü-
íûé ýëåìåíò äàò÷èêà (ïåðâè÷íîãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ)
äåéñòâóåò íåèíôîðìàòèâíûé ñèãíàë (ñèãíàë ïîìåõè).
Âûäåëåíèå ïîëåçíîãî èíôîðìàòèâíîãî ñèãíàëà íå
âñåãäà áûâàåò ïðîñòîé çàäà÷åé, è ðåøàòü åå ïðèõî-
äèòñÿ ðàçëè÷íûìè ïóòÿìè [1,2].
Ê ÷èñëó íàèáîëåå ÷àñòî âñòðå÷àþùèõñÿ ôàêòîðîâ,
âûçûâàþùèõ ïîÿâëåíèå íåèíôîðìàòèâíîãî ñèãíàëà,
îòíîñèòñÿ òåìïåðàòóðà. Öåëüþ íàñòîÿùåé ñòàòüè ÿâ-
ëÿåòñÿ ïîëó÷åíèå ðåêîìåíäàöèé ïî ðàöèîíàëüíîìó
ïðîåêòèðîâàíèþ äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ ñ ó÷åòîì àíàëèçà
èõ òåìïåðàòóðíûõ ïîãðåøíîñòåé.
Ðàçëè÷àþò êâàçèñòàòè÷åñêîå è äèíàìè÷åñêîå
âîçäåéñòâèå òåìïåðàòóðû [1]. Äèíàìè÷åñêîå
âîçäåéñòâèå ÷àùå âñåãî îêàçûâàåòñÿ ñî ñòîðîíû èç-
ìåðÿåìîé ñðåäû. Ñî ñòîðîíû îêðóæàþùåé ñðåäû
îáû÷íî èìååò ìåñòî êâàçèñòàòè÷åñêîå âîçäåéñòâèå
òåìïåðàòóðû (ìåäëåííî ìåíÿþùååñÿ ñî âðåìåíåì).
Âåëè÷èíîé, õàðàêòåðèçóþùåé âëèÿíèå òåìïåðàòóðû
íà âûõîäíîé ñèãíàë ïåðâè÷íûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé,
ñëóæèò òåìïåðàòóðíàÿ ïîãðåøíîñòü.
Òåìïåðàòóðíûå ïîãðåøíîñòè äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ
îáóñëîâëåíû ìíîãèìè ôèçè÷åñêèìè ïðîöåññàìè,
ïðîòåêàþùèìè â íèõ ïðè òåïëîâîì âîçäåéñòâèè. Íàè-
áîëåå îáùèìè ïðè÷èíàìè âîçíèêíîâåíèÿ òåìïåðàòóð-
íûõ ïîãðåøíîñòåé ÿâëÿþòñÿ èçìåíåíèå ñîïðîòèâëå-
íèÿ, èçìåíåíèå êîýôôèöèåíòà ÷óâñòâèòåëüíîñòè, èç-
ìåíåíèå ìîäóëÿ óïðóãîñòè, èçìåíåíèå ëèíåéíûõ ðàç-
ìåðîâ [2]. Îäíàêî â êàæäîì îòäåëüíîì ñëó÷àå íåîá-
õîäèìî àíàëèçèðîâàòü âñå âèäû ïðè÷èí. Íàïðèìåð,
ïðè ðàçðàáîòêå äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ äëÿ äâèãàòåëåé
âíóòðåííåãî ñãîðàíèÿ è áàëëèñòè÷åñêèõ óñòàíîâîê
íåëüçÿ îñòàâëÿòü áåç âíèìàíèÿ òàêèå ÿâëåíèÿ êàê òåì-
ïåðàòóðíàÿ äåôîðìàöèÿ è ïîÿâëåíèå ãðàäèåíòà òåì-
ïåðàòóðû, êîòîðûå ìîãóò ñëóæèòü ïðè÷èíîé âîçíèê-
íîâåíèÿ çíà÷èòåëüíîé òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè.
 ïîñëåäíèå äåñÿòèëåòèÿ äëÿ òî÷íûõ èçìåðåíèé
äàâëåíèé äîñòàòî÷íî øèðîêîå ïðèìåíåíèå ïîëó÷èëè
òåíçîðåçèñòîðíûå ïðåîáðàçîâàòåëè íà îñíîâå ìåòàë-
ëîïëåíî÷íûõ òåíçîðåçèñòîðîâ, ÷òî ïîçâîëèëî ñîçäàòü
íîâûé êëàññ äàò÷èêîâ � ìåòàëëîïëåíî÷íûå èíòåãðàëü-
íûå äàò÷èêè. Îäíàêî ñóùåñòâóþùèå ìåòàëëîïëåíî÷-
íûå äàò÷èêè äàâëåíèÿ îáëàäàþò ðÿäîì íåäîñòàòêîâ,
êîòîðûå ñäåðæèâàþò èõ ïðèìåíåíèå â ìîùíûõ ýíåð-
ãåòè÷åñêèõ óñòàíîâêàõ. Ê òàêèì íåäîñòàòêàì ñëåäóåò
îòíåñòè âûñîêóþ òåìïåðàòóðíóþ ïîãðåøíîñòü ïðè
ðàáîòå â óñëîâèÿõ äåéñòâèÿ íåñòàöèîíàðíûõ òåìïå-
ðàòóð (òåðìîóäàðà), çíà÷èòåëüíóþ òåìïåðàòóðíóþ ïî-
ãðåøíîñòü íóëÿ è ÷óâñòâèòåëüíîñòè.
Ìîæíî âûäåëèòü òðè îñíîâíûõ ãðóïïû ìåòîäîâ
óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè � êîíñò-
ðóêòèâíóþ, ñõåìíóþ è êîíñòðóêòèâíî-ñõåìíóþ.
Êîíñòðóêòèâíûå ìåòîäû. Îäíîé èç ñóùåñòâåí-
íûõ ïðè÷èí âîçíèêíîâåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ïî-
ãðåøíîñòè ïåðâè÷íûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé, ïîñòðîåí-
íûõ íà îñíîâå ìåòàëëîïëåíî÷íûõ òåíçîðåçèñòîðîâ,
ÿâëÿåòñÿ íàëè÷èå ãðàäèåíòà òåìïåðàòóðû â ýëåìåíòàõ
êîíñòðóêöèè äàò÷èêà. Îñîáåííî ñèëüíîå äåéñòâèå
ãðàäèåíòà òåìïåðàòóðû ïðîÿâëÿåòñÿ â âûõîäíîì ñèã-
íàëå äàò÷èêà èç-çà âîçäåéñòâèÿ íà åãî ÷óâñòâèòåëü-
íûé ýëåìåíò.
Ýôôåêòèâíûì ìåòîäîì óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóð-
íûõ ïîãðåøíîñòåé, îáóñëîâëåííûõ ãðàäèåíòîì òåì-
ïåðàòóðû, ÿâëÿåòñÿ ñîçäàíèå ðàâåíñòâà óñðåäíåííûõ
òåìïåðàòóð äëÿ ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ ïåðâè÷íûõ
ïðåîáðàçîâàòåëåé. Äàííûé ìåòîä ïðèìåíåí â äàò÷è-
êå äëÿ èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ [3], êîíñòðóêöèÿ êîòîðî-
ãî ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 1. Äàò÷èê ñîäåðæèò ìåìáðà-
íó ñ òåíçîðåçèñòîðàìè, ñôîðìèðîâàííûìè ïî ìåòàë-
ëîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè (ñì. ðèñ. 1, à) è îáúåäèíåí-
íûìè â ìîñòîâóþ èçìåðèòåëüíóþ öåïü (ðèñ. 1, á).
Ðèñ. 1. Äàò÷èê èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ ñ ðàâíîé óñðåäíåí-
íîé òåìïåðàòóðîé ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ:
à � ðàñïîëîæåíèå òåíçîðåçèñòîðîâ íà ìåìáðàíå; á � ìîñòîâàÿ
èçìåðèòåëüíàÿ öåïü
R1
R2 R4
R3
r0
r1
à) á)
R1
R2 R4
R3
+ Uïèò �
Uâûõ
51
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ñíèæåíèå âëèÿíèÿ òåðìîóäàðà íà âûõîäíîé ñèãíàë
äàò÷èêà äîñòèãàåòñÿ ïóòåì îïðåäåëåííîãî ðàçìåùå-
íèÿ òåíçîðåçèñòîðîâ íà ìåìáðàíå. Òåíçîðåçèñòîðû
R2 è R3, ðàñïîëîæåííûå â îêðóæíîì íàïðàâëåíèè,
óñòàíîâëåíû ïî îêðóæíîñòè, ðàäèóñ êîòîðîé ðàâåí
,
3
1
òð0 lrr −= (1)
Ïðè äåéñòâèè òåðìîóäàðà, íàïðèìåð, òåìïåðàòóðû
Ò= �196°Ñ (æèäêèé àçîò) òåìïåðàòóðà íà ïîâåðõíîñ-
òè âîñïðèíèìàþùåé ìåìáðàíû ðàñïðåäåëÿåòñÿ íåðàâ-
íîìåðíî, êàê ïîêàçàíî íà ðèñ. 2 (ýêñïåðèìåíòàëüíûå
äàííûå, rì � òåêóùèé ðàäèóñ ìåìáðàíû). Èç ðèñóí-
êà âèäíî, ÷òî çíà÷åíèå òåìïåðàòóðû, ñîîòâåòñòâóþ-
ùåå ñðåäíåìó çíà÷åíèþ òåìïåðàòóðû êðàåâ ðàäèàëü-
íûõ òåíçîðåçèñòîðîâ R1 è R4, íàõîäèòñÿ íà ðàññòîÿ-
íèè r îò öåíòðà ìåìáðàíû è ñîîòâåòñòâóåò âûðàæå-
íèþ (1). Èçìåíåíèå ñîïðîòèâëåíèé òåíçîðåçèñòîðîâ
R2 è R3 (îêðóæíûõ) ïîä äåéñòâèåì òåðìîóäàðà ðàâ-
íî èçìåíåíèþ ñîïðîòèâëåíèé òåíçîðåçèñòîðîâ R1 è
R4 (ðàäèàëüíûõ). À ïîñêîëüêó òåíçîðåçèñòîðû R1,
R2, R3 è R4 îáðàçóþò ïëå÷è ìîñòà, òî ñèãíàë íà âû-
õîäå èçìåðèòåëüíîé öåïè íå èçìåíÿåòñÿ ïðè âîçäåé-
ñòâèè òåðìîóäàðà. Òåìïåðàòóðíàÿ ïîãðåøíîñòü ñòà-
íîâèòñÿ ïðàêòè÷åñêè ðàâíîé íóëþ.
Àääèòèâíàÿ òåìïåðàòóðíàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü äàò-
÷èêà äàâëåíèÿ, õàðàêòåðèçóþùàÿ òåìïåðàòóðíóþ ïî-
ãðåøíîñòü, îïðåäåëÿåòñÿ âûðàæåíèåì
( ) ( )
,
4
1
3241
0
∑
=
ε
α+α−α+α=
i
Ri
TS
(2)
Äëÿ ðàññìîòðåííîé êîíñòðóêöèè äàò÷èêà äàâëå-
íèÿ α1=α2=α3=α4, ïîýòîìó èç âûðàæåíèÿ (2) ñëåäó-
åò, ÷òî S0T=0.
Íà ðèñ. 3 ïðåäñòàâëåíû ãðàôèêè èçìåíåíèÿ íà-
÷àëüíîãî âûõîäíîãî ñèãíàëà äàò÷èêà äàâëåíèÿ â ñðàâ-
íåíèè ñ ïðîòîòèïîì ïðè âîçäåéñòâèè íà ïðèåìíóþ
ïîëîñòü æèäêîãî àçîòà (òåðìîóäàð). Èç ðèñóíêà âèä-
íî, ÷òî ñêà÷êîîáðàçíîå èçìåíåíèå íà÷àëüíîãî âûõîä-
íîãî ñèãíàëà (à ñëåäîâàòåëüíî, è âåëè÷èíà ïîãðåø-
íîñòè) â ïðåäëàãàåìîé êîíñòðóêöèè ïðàêòè÷åñêè îò-
ñóòñòâóåò, à òåìïåðàòóðíàÿ ïîãðåøíîñòü íå ïðåâûøàåò
ïîãðåøíîñòè â ñòàöèîíàðíîì òåìïåðàòóðíîì ðåæè-
ìå. Ìåòîä ñîçäàíèÿ ðàâåíñòâà óñðåäíåííûõ òåìïåðà-
òóð ïðèìåíåí â ðàçëè÷íûõ êîíñòðóêöèÿõ äàò÷èêîâ
äàâëåíèÿ [4 è äð.].
Ñõåìíûå ìåòîäû óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíûõ
ïîãðåøíîñòåé äàò÷èêîâ äîñòàòî÷íî õîðîøî
îïèñàíû â [5, ñ. 48�68].
 êà÷åñòâå ïðèìåðà ñõåìíîãî ðåøåíèÿ çàäà÷è âîñ-
ñòàíîâëåíèÿ èíôîðìàöèè î äàâëåíèè è óìåíüøåíèÿ
òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè íà ðèñ. 4 ïðåäñòàâëåí
äàò÷èê äàâëåíèÿ, âõîäÿùèé â óñòðîéñòâî [6].  íåì
÷óâñòâèòåëüíûå ê äåôîðìàöèè ìåòàëëîïëåíî÷íûå òåí-
çîðåçèñòîðû ñôîðìèðîâàíû íà ïëîñêîé ãðàíè ñòåð-
æíåâîãî óïðóãîãî ýëåìåíòà 2. Òåíçîðåçèñòîðû 1 è 6
èñïûòûâàþò ïðîäîëüíóþ, à òåíçîðåçèñòîðû 4 è 7 �
ïîïåðå÷íóþ äåôîðìàöèè.
ðàññòîÿíèå îò öåíòðà ìåìáðàíû äî ñåðåäèíû
ðàäèàëüíûõ òåíçîðåçèñòîðîâ R1 è R4;
äëèíà ðàäèàëüíîãî òåíçîðåçèñòîðà.
ãäå r0 �
lòð �
T, °C
r0
rR2
R1 R3
R4lòð
rì
�153
�196
�240
Ðèñ. 2. Ðàñïðåäåëåíèå
òåìïåðàòóð íà ïîâåð-
õíîñòè ìåìáðàíû ïðè
òåðìîóäàðå
U0, %
30
15
0
0 5 10 15 t, ìèí
Ïðîòîòèï
Ïðåäëàãàåìàÿ êîíñòðóêöèÿ
Ðèñ. 3. Èçìåíåíèå íà÷àëüíîãî âûõîäíîãî ñèãíàëà äàò÷è-
êà äàâëåíèÿ ñî âðåìåíåì â ñðàâíåíèè ñ ïðîòîòèïîì
2
8
1
À
11 7 10
6
94
1
À
2
3
Ð
4 5
7 6
Ðèñ. 4. Äàò÷èê äàâëåíèÿ ñî ñòåðæíåâûì óïðóãèì
ýëåìåíòîì:
1, 4, 6, 7 � ìåòàëëîïëåíî÷íûå òåíçîðåçèñòîðû; 2 �ñòåðæíåâîé
óïðóãèé ýëåìåíò; 3 � ìåìáðàíà; 5 � êîðïóñ äàò÷èêà; 8�11 �
êîíòàêòíûå ïëîùàäêè
òåìïåðàòóðíûå êîýôôèöèåíòû ñîïðî-
òèâëåíèÿ òåíçîðåçèñòîðîâ R1, R2, R3, R4
(ñîîòâåòñòâåííî) ñ ó÷åòîì òåìïåðàòóð-
íîãî ïîëÿ;
îòíîñèòåëüíîå èçìåíåíèå ñîïðîòèâëå-
íèÿ âñåõ ïëå÷ ìîñòîâîé öåïè îò íîìè-
íàëüíîãî äàâëåíèÿ.
ãäå α1, ..., α4 �
�∑
=
ε
4
1i
Ri
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
52
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ïðè ïîäà÷å èçìåðÿåìîãî äàâëåíèÿ (Ð) ñî ñòîðîíû
ìåìáðàíû 3 (ðèñ. 4) íà âûõîäå ìîñòîâîé èçìåðèòåëü-
íîé öåïè èç òåíçîðåçèñòîðîâ 1, 4, 6, 7 ïîÿâëÿåòñÿ
ñèãíàë, ïðîïîðöèîíàëüíûé èçìåðÿåìîìó äàâëåíèþ.
Ýòîò ñèãíàë (ñì. ðèñ. 5) óñèëèâàåòñÿ óñèëèòåëåì 12
è ïîäàåòñÿ ÷åðåç ðåãóëèðóþùèé ýëåìåíò (ðåãóëÿòîð
íàïðÿæåíèÿ) 13 íà âûõîä óñòðîéñòâà.
Ïðè âîçäåéñòâèè íà äàò÷èê íåñòàöèîíàðíûõ òåì-
ïåðàòóð, êîãäà èìååò ìåñòî ãðàäèåíò òåìïåðàòóðû ïî
äëèíå ñòåðæíåâîãî óïðóãîãî ýëåìåíòà, òåíçîðåçèñ-
òîðû 4 è 7 îêàçûâàþòñÿ â íåîäèíàêîâûõ òåìïåðàòóð-
íûõ óñëîâèÿõ. Â ðåçóëüòàòå íà âûõîäå óñèëèòåëåé 14
è 15 ñèãíàëû îêàçûâàþòñÿ íåðàâíûìè ïî âåëè÷èíå,
è ñ âûõîäà ñóììàòîðà 16 ðàçíîñòíûé ñèãíàë, îòëè÷-
íûé îò íóëÿ, ïîñòóïàåò íà âõîä óïðàâëåíèÿ ðåãóëÿòî-
ðà íàïðÿæåíèÿ 13. Ðåãóëÿòîð íàïðÿæåíèÿ, óïðàâëÿå-
ìûé ïîñòóïàþùèì íà âõîä óïðàâëåíèÿ ñèãíàëîì,
îáåñïå÷èâàåò âîññòàíîâëåíèå èíôîðìàòèâíîãî ñèã-
íàëà íà âûõîäå ìîñòîâîé èçìåðèòåëüíîé öåïè, óìåíü-
øàÿ òåìïåðàòóðíóþ ïîãðåøíîñòü.
Êîíñòðóêòèâíî-ñõåìíûå ìåòîäû. Â öåëÿõ óìåíü-
øåíèÿ òåìïåðàòóðíûõ ïîãðåøíîñòåé äàò÷èêîâ
äàâëåíèÿ ýòè ìåòîäû ïðåäñòàâëÿþò íåñîìíåííûé èí-
òåðåñ.
Ìåòîä ïî ïðèíöèïó äîïîëíèòåëüíîñòè ðåàëèçî-
âàí â óñòðîéñòâå äëÿ èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ [7], êîíñò-
ðóêöèÿ äàò÷èêà êîòîðîãî ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 6. Çà
ñ÷åò èçãîòîâëåííûõ â êîðïóñå äàò÷èêà 1 äâóõ ïðî-
äîëüíûõ ïîëóñôåðè÷åñêèõ ïàçîâ 8, âûïîëíåííûõ ñ
òîðöåâîé ñòîðîíû, îáðàçîâàíû êàíàëû äëÿ îõëàæäà-
þùåé æèäêîñòè, è ìåìáðàíà îõëàæäàåòñÿ ñî ñòîðî-
íû åå îñíîâàíèÿ. Âìåñòå ñ òåì ìåòàëëîïëåíî÷íûå òåí-
çîðåçèñòîðû, îáðàçóþùèå ìîñòîâóþ èçìåðèòåëüíóþ
öåïü, ðàñïîëîæåíû íà ìåìáðàíå îïðåäåëåííûì îá-
ðàçîì.  ÷àñòíîñòè (ñì. ðèñ. 7), òåíçîðåçèñòîðû 13 è
14 ñâîåé ñðåäèííîé ÷àñòüþ ðàçìåùåíû íà äâóõ îê-
ðóæíîñòÿõ ñ ðàäèóñàìè òð01 4
1
lrr += è òð02 4
1
lrr −= ,
ñîîòâåòñòâåííî. Ïðè òàêîì ðàñïîëîæåíèè òåíçîðåçè-
ñòîðîâ ïðîèñõîäèò êîìïåíñàöèÿ òåìïåðàòóðíîé ïî-
ãðåøíîñòè, âûçûâàåìîé íàëè÷èåì ãðàäèåíòà òåìïå-
ðàòóðû ïî ïîâåðõíîñòè ìåìáðàíû.
Ïðè ðàáîòå äàò÷èêà â óñëîâèÿõ âîçäåéñòâèÿ ñòà-
öèîíàðíûõ è íåñòàöèîíàðíûõ òåìïåðàòóð íà âûõîäå
ìîñòîâîé èçìåðèòåëüíîé öåïè èç òåíçîðåçèñòîðîâ
11�16 (ñì. ðèñ. 8) áóäåò âîçíèêàòü òåìïåðàòóðíàÿ
ïîãðåøíîñòü, îáóñëîâëåííàÿ èçìåíåíèåì ÷óâñòâè-
òåëüíîñòè. Îäíàêî íà âûõîäå óñòðîéñòâà ýòà ïîãðåø-
íîñòü çíà÷èòåëüíî ñíèæåíà. Âûõîäíîé ñèãíàë ñ ìîñ-
òîâîé èçìåðèòåëüíîé öåïè U, ñîäåðæàùèé ñîñòàâëÿ-
þùóþ òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè ∆U(t), óñèëèâà-
åòñÿ óñèëèòåëåì 18 â K ðàç. Îäíîâðåìåííî ñ ïîëåç-
íûì ñèãíàëîì óñèëèâàåòñÿ è ñîñòàâëÿþùàÿ òåìïå-
ðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè ∆U(t). Äàëåå óñèëåííûé ñèã-
íàë äåëèòñÿ íà íàïðÿæåíèå U0 â òî÷êå ñîåäèíåíèÿ
ìîñòîâîé èçìåðèòåëüíîé öåïè ñ ïîñòîÿííûì ðåçèñ-
òîðîì 17, êîòîðûé ïîäêëþ÷åí ê ñòàáèëèçàòîðó íà-
ïðÿæåíèÿ 19. Íàïðÿæåíèå â ýòîé òî÷êå ïðîïîðöèî-
íàëüíî èçìåíåíèþ ÷óâñòâèòåëüíîñòè ìîñòà.
Uïèò
Uâûõ
13
14
15
16
128
1
9
4 6
10
11
7
Ðèñ. 5. Èçìåðèòåëüíàÿ ñõåìà óñòðîéñòâà äëÿ èçìåðåíèÿ
äàâëåíèÿ:
12, 14, 15 � óñèëèòåëè; 13 � ðåãóëÿòîð íàïðÿæåíèÿ; 16 �
ñóììàòîð
7
5 3
61
6
À�À 1À À
2
3
4
5
6
7
1
8
9
Ðèñ. 6. Êîíñòðóêöèÿ îõëàæäàå-
ìîãî äàò÷èêà äàâëåíèÿ:
1 � îñíîâàíèå ìåìáðàíû; 2 � âîñ-
ïðèíèìàþùàÿ ìåìáðàíà; 3 � êîëü-
öåâàÿ ïðîòî÷êà; 4 � êîíòàêòíàÿ êî-
ëîäêà; 5 � çàùèòíàÿ ãèëüçà; 6 �
ïðîäîëüíûé ïîëóñôåðè÷åñêèé ïàç;
7 � êîðïóñ äàò÷èêà; 8 � êàíàë äëÿ
ïîäâîäà è îòâîäà îõëàæäàþùåé æèä-
êîñòè; 9 � êàáåëüíàÿ ïåðåìû÷êà
13
10
11
16
2
15
10 10
12
Ðèñ. 7. Ðàñïîëîæåíèå òåíçîðåçèñòîðîâ íà ìåìáðàíå:
11, 12, 15, 16 � ðàäèàëüíûå òåíçîðåçèñòîðû; 13, 14 � îêðóæíûå
òåíçîðåçèñòîðû; 10 � êîíòàêòíûå ïëîùàäêè
14
r
0
r 1
r 2
r ì
53
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ðàñ÷åòû ïîêàçûâàþò, ÷òî
( )[ ]
( )[ ] .
1
1
0
1
0
1
âûõ U
KU
t
t
U
ε+
ε+= (3)
Èç (3) âèäíî, ÷òî îòíîñèòåëüíûå èçìåíåíèÿ íàïðÿ-
æåíèé âûõîäíîãî ñèãíàëà ε1(t) è íàïðÿæåíèÿ â òî÷êå
ñîåäèíåíèÿ ïîñòîÿííîãî ðåçèñòîðà ñ ìîñòîâîé èçìå-
ðèòåëüíîé öåïüþ ε0(t) îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíû,
ò. å. âêëþ÷åí ìåõàíèçì êîìïåíñàöèè äëÿ âîññòàíîâ-
ëåíèÿ èíôîðìàöèè î äàâëåíèè.
Îñîáåííîñòüþ ðàññìîòðåííîãî ìåòîäà ÿâëÿåòñÿ òî,
÷òî êîíñòðóêòèâíûå ðåøåíèÿ äîïîëíÿþòñÿ ñõåìíû-
ìè ðåøåíèÿìè, çà ñ÷åò ÷åãî äîñòèãàåòñÿ áîëüøèé
ïîëîæèòåëüíûé ýôôåêò.
Ìåòîä ïî ïðèíöèïó åäèíîãî öåëîãî ðåàëèçîâàí â
óñòðîéñòâå äëÿ èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ [8], ãäå ñ öåëüþ
óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè íà ìåìáðà-
íå ñôîðìèðîâàíû òåðìîðåçèñòèâíûé ìîñò è òåíçîðå-
çèñòèâíûé ìîñò, èìåþùèå îäèíàêîâóþ òîïîëîãèþ è
ðàçìåùåííûå äðóã íàä äðóãîì. Îáà ìîñòà ïîäêëþ-
÷àþòñÿ ê îáùåé èçìåðèòåëüíîé ñõåìå, èçîáðàæåí-
íîé íà ðèñ. 9. Â îäíó èç äèàãîíàëåé êàæäîãî ìîñòà
âêëþ÷åí ðåãóëèðóþùèé ýëåìåíò 9, à â ïðîòèâîïî-
ëîæíóþ äèàãîíàëü � äèôôåðåíöèàëüíûé óñèëèòåëü
11, ñ êîòîðîãî ïîñòóïàåò ñèãíàë íà ñóììàòîð 12.
Ïðè äåéñòâèè òåðìîóäàðà èçìåíÿåòñÿ òåíçî÷óâñòâè-
òåëüíîñòü òåíçîðåçèñòîðîâ 1�4, âìåñòå ñ ýòèì èçìå-
íÿåòñÿ ñîïðîòèâëåíèå òåðìîðåçèñòîðîâ 5�8 è, ñëå-
äîâàòåëüíî, âåëè÷èíà ñèãíàëà, ïîñòóïàþùåãî ñ óñè-
ëèòåëÿ 11 íà ñóììàòîð 12. Èçìåíåííûé ñèãíàë ñ ñóì-
ìàòîðà 12, âîçäåéñòâóÿ íà ýëåìåíò 9, ðåãóëèðóåò íà-
ïðÿæåíèå ïèòàíèÿ ìîñòà èç òåðìîðåçèñòîðîâ òàêèì
îáðàçîì, ÷òî ñèãíàë íà âûõîäå óñèëèòåëÿ 11 îñòàåòñÿ
íåèçìåííûì è ðàâíûì ïî àáñîëþòíîé âåëè÷èíå îïîð-
íîìó íàïðÿæåíèþ Uîï. Íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ ìîñòîâ
èçìåíÿåòñÿ îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíî èçìåíåíèþ
âûõîäíîãî ñèãíàëà ìîñòà èç òåðìîðåçèñòîðîâ 5�8.
Ïîñêîëüêó ìîñòîâàÿ èçìåðèòåëüíàÿ öåïü èç òåð-
ìîðåçèñòîðîâ ðàçìåùåíà íàä ìîñòîâîé èçìåðèòåëü-
íîé öåïüþ èç òåíçîðåçèñòîðîâ, çàêîíîìåðíîñòü èç-
ìåíåíèÿ ñèãíàëà ïðè âîçäåéñòâèè òåðìîóäàðà ñ ìîñ-
òà èç òåðìîðåçèñòîðîâ àäåêâàòíà èçìåíåíèþ ñèãíàëà
ñ ìîñòà èç òåíçîðåçèñòîðîâ. Â ðåçóëüòàòå ýòîãî âû-
õîäíîé èíôîðìàòèâíûé ñèãíàë óñèëèòåëÿ 10 âîññòà-
íàâëèâàåòñÿ è çàâèñèò òîëüêî îò èçìåíåíèÿ äàâëåíèÿ,
à òåðìîóäàð ïðàêòè÷åñêè íå âëèÿåò íà âûõîäíóþ õà-
ðàêòåðèñòèêó äàò÷èêà. Çäåñü, êàê è â ðàíåå ðàññìîò-
ðåííûõ ñëó÷àÿõ, âêëþ÷åíèå ìåõàíèçìà êîìïåíñàöèè
ïðèâîäèò ê âîññòàíîâëåíèþ èíôîðìàöèè.
Òîò æå ìåòîä ðåàëèçîâàí è â óñòðîéñòâàõ äëÿ èç-
ìåðåíèÿ äàâëåíèÿ ñ äðóãèìè òèïàìè äàò÷èêîâ � äàò-
÷èêîâ ñî ñòåðæíåâûì óïðóãèì ýëåìåíòîì [9].
 êàæäîì èç ðàññìîòðåííûõ âàðèàíòîâ òåõíè÷åñ-
êèõ ðåøåíèé çàäåéñòâîâàí ìåõàíèçì êîìïåíñàöèè
äåñòàáèëèçèðóþùåãî ôàêòîðà (òåìïåðàòóðû). Ïðè
ýòîì âíà÷àëå óñòàíàâëèâàåòñÿ çàêîí äåãðàäàöèè, à
çàòåì âûáèðàåòñÿ çàêîí èçìåíåíèÿ ôàêòîðà, íåîáõî-
äèìûé äëÿ êîìïåíñàöèè [10].
Îñíîâíûå ðåêîìåíäàöèè, êîòîðûå ñëåäóåò âû-
ïîëíÿòü â öåëÿõ óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíûõ
ïîãðåøíîñòåé ïðè ðàçðàáîòêå âûñîêîòåìïåðàòóðíûõ
è òåðìîóñòîé÷èâûõ äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ, ñâîäÿòñÿ ê
ñëåäóþùåìó:
� êîíñòðóêöèþ ñëåäóåò âûïîëíÿòü òàê, ÷òîáû òåï-
ëîâîå âîçäåéñòâèå íà ýëåìåíòû â öåïè ïðåîáðàçîâà-
íèÿ äàò÷èêà áûëî ðàâíîìåðíûì;
� íå äîïóñêàòü âîçìîæíîñòè íàãðåâà ýëåìåíòîâ
êîíñòðóêöèè äàò÷èêà âûøå äîïóñòèìîé;
� ñòðåìèòüñÿ èñïîëüçîâàòü â ýëåêòðè÷åñêèõ è êîí-
òàêòíûõ ñîåäèíåíèÿõ èçìåðèòåëüíûõ öåïåé äàò÷èêà
îäíîðîäíûå ìåòàëëû è ñïëàâû, äëÿ êîíòàêòíûõ ñî-
åäèíåíèé � ìåòàëëû è ñïëàâû ñ âûñîêîé ýëåêòðî-
ïðîâîäíîñòüþ;
� ñòðåìèòüñÿ ê óìåíüøåíèþ ÷èñëà êîíòàêòíûõ
ñîåäèíåíèé èç ðàçíîðîäíûõ ìàòåðèàëîâ;
� êîíöåíòðèðîâàòü ýëåìåíòû èçìåðèòåëüíîé öåïè
äàò÷èêà â çîíàõ ðàâíûõ òåìïåðàòóð, ñòðåìèòüñÿ ê êîí-
öåíòðàöèè èõ â îäíîé òî÷êå;
� âûáèðàòü ìàòåðèàëû ñ òåìïåðàòóðíî-íåçàâèñè-
ìûì ìîäóëåì óïðóãîñòè èëè íåçíà÷èòåëüíî ìåíÿþ-
ùèìñÿ â ðàáî÷åì èíòåðâàëå òåìïåðàòóð;
� ïðèìåíÿòü ìàòåðèàëû ñ íèçêèì òåìïåðàòóðíûì
êîýôôèöèåíòîì ñîïðîòèâëåíèÿ;
� âûáèðàòü ìàòåðèàëû ñîïðÿãàåìûõ ýëåìåíòîâ
äàò÷èêà ïî êîýôôèöèåíòó òåïëîâîãî ðàñøèðåíèÿ òàê,
20
11
15
12
16
13
17
14
18
Uïèò
19
Uâûõ
U0
KU1
Ðèñ. 8. Èçìåðèòåëüíàÿ ñõåìà óñòðîéñòâà äëÿ èçìåðåíèÿ
äàâëåíèÿ:
17 � ïîñòîÿííûé ðåçèñòîð; 18 � óñèëèòåëü; 19 � ñòàáèëèçàòîð
íàïðÿæåíèÿ; 20 � àíàëîãîâûé äåëèòåëü íàïðÿæåíèÿ
U1
Ðèñ. 9. Èçìåðèòåëüíàÿ ñõåìà äàò÷èêà äàâëå-
íèÿ ñ òåðìîðåçèñòèâíûì è òåíçîðåçèñòèâ-
íûì ìîñòàìè
Uâûõ
9
Uïèò
12
10
11
Uîï
5
1
3
2
4
7
6
8
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
54
ÄÀÒ×ÈÊÈ
÷òîáû ïðè òåïëîâîì âîçäåéñòâèè íà ýòè ýëåìåíòû íå
âîçíèêàëî äåôîðìàöèé (íåîáõîäèìî, ÷òîáû âûïîë-
íÿëîñü óñëîâèå îáåñïå÷åíèÿ ðàâåíñòâà àáñîëþòíûõ
èçìåíåíèé ëèíåéíûõ ðàçìåðîâ ñîïðÿãàåìûõ äåòàëåé);
� ïðèìåíÿòü ìàòåðèàëû è âåùåñòâà ñ íèçêèì êî-
ýôôèöèåíòîì îáúåìíîãî ðàñøèðåíèÿ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Âàñèëüåâ Â. À. Êëàññèôèêàöèÿ è ìåòîäû óìåíüøå-
íèÿ òåìïåðàòóðíûõ ïîãðåøíîñòåé äàò÷èêîâ íà îñíîâå
òâåðäîòåëüíûõ ñòðóêòóð // Äàò÷èêè è ñèñòåìû.� 2001.�
¹ 12.� Ñ. 6�7.
2. Âàñèëüåâ Â. À. Óìåíüøåíèå âëèÿíèÿ äåñòàáèëèçè-
ðóþùèõ ôàêòîðîâ íà èíôîðìàòèâíûé ñèãíàë äàò÷èêîâ
// Òàì æå.� 2002.� ¹ 4.� Ñ. 12�15.
3. À. ñ. 1337691 ÑÑÑÐ. Äàò÷èê äàâëåíèÿ / À. È. Òèõî-
íîâ, Â. À. Òèõîíåíêîâ, À. È. Æó÷êîâ, Â. À. Âàñèëüåâ.�
Îïóáë. â Á. È.� 1987, ¹ 48.
4. À. ñ. 1486766 ÑÑÑÐ. Ñïîñîá íàñòðîéêè èíòåãðàëü-
íûõ òåíçîìåòðè÷åñêèõ ìîñòîâ äàò÷èêîâ ìåìáðàííîãî
òèïà ñ ðàäèàëüíûìè è îêðóæíûìè òåíçîðåçèñòîðàìè /
Â. À. Çèíîâüåâ, Â. À. Âàñèëüåâ, À. È. Òèõîíîâ, Â. À. Òèõî-
íåíêîâ.� Îïóáë. â Á. È.� 1989, ¹ 8.
5. Ïðîåêòèðîâàíèå äàò÷èêîâ äëÿ èçìåðåíèÿ ìåõàíè-
÷åñêèõ âåëè÷èí / Ïîä ðåä. Å. Ï. Îñàä÷åãî.� Ì.: Ìàøèíî-
ñòðîåíèå, 1979.
6. À. ñ. 1490515 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ èçìåðåíèÿ äàâ-
ëåíèÿ / Â. À. Âàñèëüåâ, À. È. Òèõîíîâ.� Îïóáë. â Á. È.�
1989, ¹ 24.
7. À. ñ. 1597623 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ èçìåðåíèÿ äàâ-
ëåíèÿ / Â. À. Âàñèëüåâ, À. È. Òèõîíîâ.� Îïóáë. â Á. È.�
1990, ¹ 37.
8. À. ñ. 1377633 ÑÑÑÐ. Äàò÷èê äàâëåíèÿ / Â. À. Âàñèëü-
åâ.� Îïóáë. â Á. È.� 1988, ¹ 8.
9. À. ñ. 1515081 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ èçìåðåíèÿ äàâ-
ëåíèÿ / Â. À. Âàñèëüåâ, Å. Ï. Îñàä÷èé, À. È. Òèõîíîâ.�
Îïóáë. â Á. È.� 1989, ¹ 38.
10. Âàñèëüåâ Â. À. Èíôîðìàöèîííûé ðåñóðñ ðåãèñò-
ðèðóþùèõ òâåðäîòåëüíûõ ñòðóêòóð // Èçìåðèòåëüíàÿ òåõ-
íèêà.� 2002.� ¹ 7.� Ñ. 22�24.
ÂÛÑÒÀÂÊÈ. ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈÈ. ÑÈÌÏÎÇÈÓÌÛ
1-ÿ ÓÊÐÀÈÍÑÊÀß ÍÀÓ×ÍÀß
ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈß ÏÎ ÔÈÇÈÊÅ
ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂ
ïðîõîäèëà c 9 ïî14 ñåíòÿáðÿ 2002 ã.
íà áàçå Îäåññêîãî íàöèîíàëüíîãî
óíèâåðñèòåòà èì. È. È. Ìå÷íèêîâà.
Êîíôåðåíöèÿ ñ ìåæäóíàðîäíûì
ó÷àñòèåì ïðîõîäèëà ïîä ýãèäîé Íà-
öèîíàëüíîé àêàäåìèè íàóê Óêðàèíû,
Ìèíèñòåðñòâà îáðàçîâàíèÿ è íàóêè
Óêðàèíû, Óêðàèíñêîãî ôèçè÷åñêîãî
îáùåñòâà, Èíñòèòóòà ôèçèêè ïîëó-
ïðîâîäíèêîâ ÍÀÍÓ è ÎÍÓ èì. È. È.
Ìå÷íèêîâà.  êîíôåðåíöèè ïðèíÿ-
ëè ó÷àñòèå áîëåå 300 ïðåäñòàâèòåëåé
àêàäåìè÷åñêèõ ó÷ðåæäåíèé, âóçîâ,
ÍÈÈ è ÊÁ Óêðàèíû, ïðåäñòàâèòåëè
óíèâåðñèòåòîâ, íàó÷íûõ îðãàíèçà-
öèé è ôèðì Áåëàðóñè, Âåíãðèè, Ãåð-
ìàíèè, Ãîëëàíäèè, Èçðàèëÿ, Ìîëäî-
âû, Ïîëüøè, Ðîññèè, ÑØÀ, ×åõèè.
Åùå áîëåå âíóøèòåëüíûì áûë ñî-
ñòàâ àâòîðîâ äîêëàäîâ � ïðåäñòàâè-
òåëåé 29 ãîñóäàðñòâ.
Ðàáîòà êîíôåðåíöèè ïðîõîäèëà â
ñëåäóþùèõ ñåêöèÿõ:
1. Òåîðåòè÷åñêèå ïðîáëåìû ôèçè-
êè ïîëóïðîâîäíèêîâ.
2. Ýëåêòðîííûå è ôîíîííûå ÿâëå-
íèÿ â îáúåìå è íà ïîâåðõíîñòè ïî-
ëóïðîâîäíèêîâ.
3. Íàíîñòðóêòóðû è êâàíòîâî-ðàç-
ìåðíûå ýôôåêòû.
4. Ôèçèêà ñîâðåìåííûõ ïîëóïðî-
âîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ è ñåíñîðîâ.
5. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ìàòåðèàëû
è òåõíîëîãèè.
Áûëî çàñëóøàíî 17 ïëåíàðíûõ äîê-
ëàäîâ, ïîñâÿùåííûõ àêòóàëüíûì
ôóíäàìåíòàëüíûì è ïðèêëàäíûì
ïðîáëåìàì, ñâÿçàííûì ñ êâàíòîâî-
ðàçìåðíûìè ÿâëåíèÿìè, ôèçèêîé
ïîâåðõíîñòè, ðàçðàáîòêîé ôóíêöèî-
íàëüíûõ ìàòåðèàëîâ äëÿ ìèêðî- è îï-
òîýëåêòðîíèêè, ÈÊ-òåõíèêè. Áîëü-
øîé èíòåðåñ âûçâàëè ïðîáëåìíûå
äîêëàäû ÷ë.-êîðð. ÍÀÍÓ Ëèòîâ÷åí-
êî Â. Ã. "Àíàëèç ôóíäàìåíòàëüíûõ
ïàðàìåòðîâ àëìàçîïîäîáíûõ êðèñ-
òàëëîâ è íèçêîðàçìåðíûõ ñòðóêòóð"
(Êèåâ), ïðîôåññîðà èç Íèæíåãî Íîâ-
ãîðîäà Êðàñèëüíèêà Ç. Ô. "Êðåìíè-
åâàÿ îïòîýëåêòðîíèêà íà íàíîñòðóê-
òóðàõ", ÷ë.-êîðð. ÐÀÍ Íåèçâåñòíîãî
È. Ã. ( Èí-ò ôèçèêè ïîëóïðîâîäíè-
êîâ ÑÎ ÐÀÍ, Íîâîñèáèðñê) "Ïðîáëå-
ìû ïîëóïðîâîäíèêîâîé ýëåìåíòíîé
áàçû êâàíòîâîãî êîìïüþòåðà è êâàí-
òîâîé òåëåïîðòàöèè", ÷ë.-êîðð.
ÍÀÍÓ Áëîíñêîãî È. Â. (Êèåâ) "Êîì-
áèíèðîâàííîå âëèÿíèå ðàçìåðíîãî
ôàêòîðà è ôàêòîðà òîêîâîé íåîäíî-
ðîäíîñòè â ôîðìèðîâàíèè ñâîéñòâ
èçëó÷àþùèõ ñòðóêòóð íà îñíîâå
íàíî-Si", Ô. Êîõà (F. Koch) (Ìþíõåí)
"Ôèçèêà è õèìèÿ íàíîêðèñòàëëè÷åñ-
êîãî êðåìíèÿ" è Ñ. À. Äæ. Àììåðëà-
àíà (Ñ. A. J. Ammerlaan) (Àìñòåðäàì)
�Ñïåêòðîñêîïè÷åñêèå õàðàêòåðèñòè-
êè ðåäêîçåìåëüíûõ ïðèìåñåé â ïî-
ëóïðîâîäíèêîâûõ êðèñòàëëàõ�.
 õîäå êîíôåðåíöèè áûë îðãàíè-
çîâàí êîíêóðñ äîêëàäîâ ìîëîäûõ
ó÷åíûõ. Áûëè îòìå÷åíû äîêëàäû Ñà-
ðèêîâà À. Â. "Ñîëíå÷íûå ýëåìåíòû
íà îñíîâå ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî
êðåìíèÿ. Òåîðèÿ è ýêñïåðèìåíò"
(Êèåâ), Áàëàáàíà À. Ï. "Íàñûùåíèå
ñèãíàëà â ñåíñîðàõ îïòè÷åñêîãî èçîá-
ðàæåíèÿ íà îñíîâå íåèäåàëüíîãî ãå-
òåðîïåðåõîäà" (Îäåññà) è äðóãèå.
Êîíôåðåíöèÿ çàâåðøèëàñü ïðèíÿ-
òèåì ðåøåíèÿ, â êîòîðîì, â ÷àñòíî-
ñòè, îòìå÷åíû çíà÷èòåëüíûå óñïåõè
â ðàçâèòèè íàïðàâëåíèÿ "Ïîëóïðî-
âîäíèêîâûå ôîòîýëåêòðè÷åñêèå ïðå-
îáðàçîâàòåëè ñîëíå÷íîé ýíåðãèè" è
ïðèçíàíî öåëåñîîáðàçíûì ñîçäàíèå
ïîëèãîíà ïî ãåëèîýíåðãåòèêå â þæ-
íîì ðåãèîíå Óêðàèíû íà áàçå ÎÍÓ
èì. È. È. Ìå÷íèêîâà ñ ïðèâëå÷åíè-
åì ñîîòâåòñòâóþùèõ îðãàíèçàöèé
Óêðàèíû.
Èçäàí ñáîðíèê òåçèñîâ äîêëàäîâ
êîíôåðåíöèè â äâóõ òîìàõ � ïëåíàð-
íûå è ñåêöèîííûå äîêëàäû, ñòåíäî-
âûå äîêëàäû. Ïî ðåêîìåíäàöèè
Ïðîãðàììíîãî êîìèòåòà ìàòåðèàëû
äîêëàäîâ áóäóò îïóáëèêîâàíû â
æóðíàëàõ "Ôîòîåëåêòðîí³êà" (ÎÍÓ
èì. È. È. Ìå÷íèêîâà), "Semicond.
Phys. Quant. Electron.Optoelectron."
(ÈÔÏÏ ÍÀÍÓ), "Óêðà¿íñüêèé ô³çè÷-
íèé æóðíàë" (ÍÀÍÓ), "Æóðíàë ô³-
çè÷íèõ äîñë³äæåíü" (Óêð. ôèçè÷åñêîå
îáùåñòâî), Funktionàl Materials (Èí-ò
ìîíîêðèñòàëëîâ ÍÀÍÓ), �Òåõíîëî-
ãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîí-
íîé àïïàðàòóðå�.
Ïðèíÿòî òàêæå ðåøåíèå î ðåãóëÿð-
íîì ïðîâåäåíèè òàêîé êîíôåðåíöèè
ñ ïåðèîäè÷íîñòüþ â 2�3 ãîäà.
Ä. ô.-ì. í. ß. È. Ëåïèõ
|
| id | oai:tkea.com.ua:article-1356 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| issn | 3083-6549 |
| keywords_txt_mv | |
| language | yo |
| last_indexed | 2026-08-20T01:00:56Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| resource_txt_mv | wwwtkeacomua/f2/5c340df7fdee1f943965ce01ca0e70f2.pdf |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-13562026-08-19T09:54:56Z Methods for reducing the temperature error of pressure sensors Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления Vasilyev, V. A. temperature error pressure sensors physical nature sensor design error reduction methods температурная погрешность датчики давления физическая природа конструирование датчиков методы уменьшения погрешности The paper analyzes the temperature errors of pressure sensors and reveals the physical nature of their occurrence. Recommendations for designing pressure sensors with reduced temperature error are developed. Methods for reducing temperature errors are classified and considered, and examples of implementing these methods in pressure sensor designs are provided. Проведен анализ температурных погрешностей датчиков давления, выявлена физическая природа их возникновения. Выработаны рекомендации по конструированию датчиков давления с уменьшенной температурной погрешностью. Классифицированы и рассмотрены методы уменьшения температурных погрешностей, приведены примеры реализации методов в конструкциях датчиков давления. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002-10-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.4-5.50 Technology and design in electronic equipment; No. 4–5 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature ; 50-54 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 4–5 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 50-54 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.4-5.50/1255 Copyright (c) 2002 Vasilyev V. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | температурная погрешность датчики давления физическая природа конструирование датчиков методы уменьшения погрешности Vasilyev, V. A. Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_alt | Methods for reducing the temperature error of pressure sensors |
| title_full | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_fullStr | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_full_unstemmed | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_short | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_sort | методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| topic | температурная погрешность датчики давления физическая природа конструирование датчиков методы уменьшения погрешности |
| topic_facet | temperature error pressure sensors physical nature sensor design error reduction methods температурная погрешность датчики давления физическая природа конструирование датчиков методы уменьшения погрешности |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.4-5.50 |
| work_keys_str_mv | AT vasilyevva methodsforreducingthetemperatureerrorofpressuresensors AT vasilyevva metodyumenʹšeniâtemperaturnojpogrešnostidatčikovdavleniâ |