Поліпшення параметрів кремнієвих варикапів при використанні лазерного гетерування

• Дата: 2018
• Автори: Vikulin, I. M., Litvinenko, V. N., Shutov, S. V., Maronchuk, A. I., Demenskiy, A. N., Glukhova, V. I.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2018
• Теми: гетерування; зворотний струм; кремній; домішки; варикап
• Онлайн доступ: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2018.2.29
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

The authors investigate how and why defects influence the inverse characteristics of varactors. The paper presents experimental results on the effect laser gettering has on the electrical parameters of varactors. The mechanisms of the laser gettering effect on the parameters of varactors are analyze...