Поліпшення параметрів кремнієвих варикапів при використанні лазерного гетерування

• Date: 2018
• Main Authors: Vikulin, I. M., Litvinenko, V. N., Shutov, S. V., Maronchuk, A. I., Demenskiy, A. N., Glukhova, V. I.
• Format: Article
• Language: English
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2018
• Subjects: гетерування; зворотний струм; кремній; домішки; варикап
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2018.2.29
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

The authors investigate how and why defects influence the inverse characteristics of varactors. The paper presents experimental results on the effect laser gettering has on the electrical parameters of varactors. The mechanisms of the laser gettering effect on the parameters of varactors are analyze...