Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триме­тил­борат

• Дата: 2015
• Автори: Turtsevich, A. S., Nalivaiko, O. Yu.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2015
• Теми: борофосфоросиликатное стекло; осаждение; планарность топологического рельефа
• Онлайн доступ: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2015.1.49
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

Modernization of horizontal low pressure deposition system has been performed. The liquid source delivery system using the bubblers has been developed. The PSG and BPSG film deposition processes and film properties using TEOS – Dimethylphosphite – TEB system have been studied. It is shown that the u...