Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат

Modernization of horizontal low pressure deposition system has been performed. The liquid source delivery system using the bubblers has been developed. The PSG and BPSG film deposition processes and film properties using TEOS – Dimethylphosphite – TEB system have been studied. It is shown that the u...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	Turtsevich, A. S., Nalivaiko, O. Yu.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2015
Теми:	борофосфоросиликатное стекло осаждение планарность топологического рельефа
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2015.1.49
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
за авторством: Djanghidze, L. B., та інші
Опубліковано: (2009)

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Осаждение в теплообменных аппаратах: новый взгляд на проблему
за авторством: Морозюк, Т.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Электрохимическое осаждение серебра в присутствии детонационных алмазосодержащих добавок
за авторством: Буркат, Г.К., та інші
Опубліковано: (2011)

Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
за авторством: A. S. Turtsevich, та інші
Опубліковано: (2015)

Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
за авторством: Turtsevich, A.S., та інші
Опубліковано: (2015)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
за авторством: Григорьянц, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Осаждение ЭДТА из комплексных растворов тяжелых металлов и его регенерирование
за авторством: Гилене, О., та інші
Опубліковано: (2004)

Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
за авторством: Пашнев, В.К, та інші
Опубліковано: (2003)

Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы
за авторством: Бевза, О.М., та інші
Опубліковано: (2016)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
за авторством: Воронин, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Осаждение из газовой фазы оксидных и металлооксидных покрытий на топливные частицы
за авторством: Патокин, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Осаждение жидких частиц газового потока в треугольных каналах под действием градиента температур
за авторством: Басок, Б.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Низкотемпературное магнетронное осаждение наноструктурных пленок Ni–C: синтез, структура и магнитные свойства
за авторством: Прудников, А.М., та інші
Опубліковано: (2015)

Осаждение из паровой фазы в вакууме дисперсно-упрочненных фольг меди с субмикрозернистой структурой
за авторством: Зубков, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)

Осаждение платины в виде покрытий или порошков макро- и наноструктуры из низкотемпературных расплавов
за авторством: Кочетова, С.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Костин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Oбернено-фазне ВЕРХ-дослідження комплексоутворення 5,17-біс-(N-тoлілiмiнoмeтил)-25,27-дипропоксикалікс[4]aрену з ароматичними карбоновими кислотами
за авторством: Kalchenko, O. I., та інші
Опубліковано: (2015)

Leonid Mykolaiovych Berkut: Stages of Scholar's Creative Path
за авторством: A. Nalivaiko
Опубліковано: (2021)

Металлические стёкла
за авторством: Вьюгов, П.Н., та інші
Опубліковано: (2004)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Каталог изделий из стекла
за авторством: Тесленко, И.Б., та інші
Опубліковано: (2015)

Разрушение стекла при краевом скалывании
за авторством: Гогоци, Г.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Результаты оптико-эмиссионной спектрографии стекла
за авторством: Егорьков, А.Н.
Опубліковано: (2015)

Получение и основные свойства натрийборосиликатного стекла
за авторством: Пархомей, А.Р., та інші
Опубліковано: (2015)

Люминесценция кварцевого стекла, индуцированная рентгеновским излучением
за авторством: Мисюра, И.Н., та інші
Опубліковано: (2016)

К статистической теории длительной прочности стекла
за авторством: Марголин, А.М., та інші
Опубліковано: (2005)

Радиационная модификация структурной сетки халькогенидного стекла
за авторством: Кавецкий, Т.С., та інші
Опубліковано: (2008)

Изделия из металла, стекла и камня
за авторством: Тесленко, И.Б.
Опубліковано: (2015)

Радиационная модификация структурной сетки халькогенидного стекла
за авторством: Kavetskyy, T. S., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние свойств стекла на вакуумные светопрозрачные конструкции
за авторством: Шеповалова, О.В.
Опубліковано: (2009)

Стекла на основі пісків та нерудних мінералів
за авторством: Горбачев, Г.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Технологии соединения стекла и примеры их применения
за авторством: Кёлер, Г., та інші
Опубліковано: (2006)

Применение бессвинцового стекла в толстопленочных терморезистивных материалах
за авторством: Вакив, Н.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Стеклокерамика с продуктом взаимодействия стекла и наполнителя: электросопротивление
за авторством: Дмитриев, М.В.
Опубліковано: (1998)