Buchumschlag

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат

Modernization of horizontal low pressure deposition system has been performed. The liquid source delivery system using the bubblers has been developed. The PSG and BPSG film deposition processes and film properties using TEOS – Dimethylphosphite – TEB system have been studied. It is shown that the u...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	Turtsevich, A. S., Nalivaiko, O. Yu.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2015
Schlagworte:	борофосфоросиликатное стекло осаждение планарность топологического рельефа
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2015.1.49
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
von: Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht: (2008)

Применение бессвинцового стекла в толстопленочных терморезистивных материалах
von: Vakiv, M. M., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
von: Najafov, B. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
von: Djanghidze, L. B., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
von: A. S. Turtsevich, et al.
Veröffentlicht: (2015)

Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
von: Turtsevich, A.S., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Осаждение в теплообменных аппаратах: новый взгляд на проблему
von: Морозюк, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Электрохимическое осаждение серебра в присутствии детонационных алмазосодержащих добавок
von: Буркат, Г.К., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
von: Григорьянц, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
von: Grigorjantz, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Осаждение ЭДТА из комплексных растворов тяжелых металлов и его регенерирование
von: Гилене, О., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
von: Пашнев, В.К, et al.
Veröffentlicht: (2003)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
von: Voronin, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы
von: Бевза, О.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Осаждение из газовой фазы оксидных и металлооксидных покрытий на топливные частицы
von: Патокин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
von: Воронин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Діяльність партійних організацій по створенню умов для роботи працівникам науки, вищої школи та культури, евакуйованим у радянський тил (1941—1945 рр.)
von: Король, В.Ю.
Veröffentlicht: (1988)

Осаждение жидких частиц газового потока в треугольных каналах под действием градиента температур
von: Басок, Б.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Низкотемпературное магнетронное осаждение наноструктурных пленок Ni–C: синтез, структура и магнитные свойства
von: Прудников, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
von: Lopin, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
von: Panfilov, Yu. V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Осаждение платины в виде покрытий или порошков макро- и наноструктуры из низкотемпературных расплавов
von: Кочетова, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Осаждение из паровой фазы в вакууме дисперсно-упрочненных фольг меди с субмикрозернистой структурой
von: Зубков, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Костин, Е.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Принципиально новый подход к изготовлению СВЧ-элементов и узлов систем связи и навигации
von: Yatsunenko, A. G.
Veröffentlicht: (2005)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Kostin, E. G., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Oбернено-фазне ВЕРХ-дослідження комплексоутворення 5,17-біс-(N-тoлілiмiнoмeтил)-25,27-дипропоксикалікс[4]aрену з ароматичними карбоновими кислотами
von: Kalchenko, O. I., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Leonid Mykolaiovych Berkut: Stages of Scholar&#039;s Creative Path
von: A. Nalivaiko
Veröffentlicht: (2021)

Металлические стёкла
von: Вьюгов, П.Н., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Каталог изделий из стекла
von: Тесленко, И.Б., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Разрушение стекла при краевом скалывании
von: Гогоци, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Результаты оптико-эмиссионной спектрографии стекла
von: Егорьков, А.Н.
Veröffentlicht: (2015)

Радиационная модификация структурной сетки халькогенидного стекла
von: Kavetskyy, T. S., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Люминесценция кварцевого стекла, индуцированная рентгеновским излучением
von: Мисюра, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2016)