Зображення обкладинки

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок

The paper presents the research results on the device for obtaining diamond-like films from gas phase, constructed and tested in the Institute for Nuclear Research of the National Academy of Sciences. The device is based on a high-frequency (HF) discharge (13,56 MHz) into controlled crossed magnetic...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2014
Автори:	Hladkovskiy, V. V., Kostin, E. G., Polozov, B. P., Fedorovich, O. A., Petriakov, V. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2014
Теми:	углеродные алмазоподобные пленки плазмохимический реактор подложка температура нагрева
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2014.5-6.39
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники
за авторством: Завьялов, С.В.
Опубліковано: (2000)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)

Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Study of plasma potential, its fluctuations and turbulence rotation in the T-10 tokamak
за авторством: Melnikov, A.V., та інші
Опубліковано: (2010)

ICRF heating of hydrogen plasmas with two mode conversion layers
за авторством: Kazakov, Ye.O., та інші
Опубліковано: (2010)

Influence of magnetic field directions inhomogeneity on longitudinal propagation of wave beams in axisymmetrical magnetic trap
за авторством: Gospodchikov, E.D., та інші
Опубліковано: (2010)

RF heating below ion-cyclotron frequencies in Uragan torsatrons
за авторством: Moiseenko, V.E., та інші
Опубліковано: (2010)

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
за авторством: Borisenko, A. G., та інші
Опубліковано: (2005)

Конструкторско-технологические варианты коммутационных плат с подложкой из кремния
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2006)

ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ РАЗРЯДНОИМПУЛЬСНОГО СИНТЕЗА УГЛЕРОДНЫХ НАНОМАТЕРИАЛОВ С РАЗЛИЧНЫМИ МАГНИТНЫМИ СВОЙСТВАМИ
за авторством: Богуславский, Л.З., та інші
Опубліковано: (2012)

Особенности конденсации фуллеренов из молекулярного пучка в вакууме
за авторством: Neluba, P. L.
Опубліковано: (2011)

Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
за авторством: Andronova, О. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
за авторством: Dranchuk, S. M., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование режимов теплообмена в пульсационной тепловой трубе
за авторством: Kravets, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2010)

Перспективы развития тонкопленочных микросборок
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)

Фрактальные структуры и перколяция в ядерном реакторе
за авторством: Рязанов, В.В.
Опубліковано: (2014)

Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок
за авторством: Rotner, S. M., та інші
Опубліковано: (2006)

Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок
за авторством: Ротнер, С.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Перспективы синтеза новых алмазоподобных фаз в системе B–C–N
за авторством: Филоненко, В.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование алмазоподобных углеродных плёнок методами комбинационного рассеяния света и наноиндентирования
за авторством: Кириченко, А.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)

Кинетика распада озона в реакторе для разложения шин
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)

Методика нанесения тонких фуллереновых пленок на циркониевые подложки
за авторством: Щур, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Теплоперенос в монолитном каталитическом реакторе (МКР) при окислении СО
за авторством: Снапкаускене, В., та інші
Опубліковано: (2005)

Нейтронные поля в подкритическом реакторе, генерируемом пучком ускоренных протонов
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Исследование переходного процесса нагрева слоя воздуха между нагревателем и изделием при изменении температуры нагревателя по периодическому закону
за авторством: Себко, В.В.
Опубліковано: (2007)

Влияние низкочастотного акустического излучения на температуру нагретого тела
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Вплив термочутливості матеріалів на температуру під час тертя
за авторством: Євтушенко, О., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние низкочастотного акустического излучения на температуру нагретого тела
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Конструктивно-технологические особенности автодинных ГИС КВЧ на диодах Ганна
за авторством: Votoropin, S. D.
Опубліковано: (2006)

Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2009)

Физико-аналитическая модель нагрева газа в проточном термохимическом реакторе I
за авторством: Широков, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Физико-аналитическая модель нагрева газа в проточном термохимическом реакторе II
за авторством: Широков, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)

О влиянии дислокационных скоплений на критическую температуру высокотемпературных сверхпроводников
за авторством: Гуревич, А.В., та інші
Опубліковано: (1998)