Микросборка на кремниевой плате для акселерометра

The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2013
1. Verfasser: Spirin, V. G.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2013
Schlagworte:
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2023.5.24
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment
id oai:tkea.com.ua:article-352
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-3522025-05-30T19:35:24Z Microassembly on silicon board for accelerometer Микросборка на кремниевой плате для акселерометра Spirin, V. G. multilevel circuit board thin-film micromodule многоуровневая плата тонкопленочная микросборка The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces. Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2013-10-14 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2023.5.24 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2013): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 24-27 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2013): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 24-27 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2023.5.24/314 Copyright (c) 2013 Spirin V. G. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
institution Technology and design in electronic equipment
baseUrl_str
datestamp_date 2025-05-30T19:35:24Z
collection OJS
language Ukrainian
topic многоуровневая плата
тонкопленочная микросборка
spellingShingle многоуровневая плата
тонкопленочная микросборка
Spirin, V. G.
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
topic_facet multilevel circuit board
thin-film micromodule
многоуровневая плата
тонкопленочная микросборка
format Article
author Spirin, V. G.
author_facet Spirin, V. G.
author_sort Spirin, V. G.
title Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
title_short Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
title_full Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
title_fullStr Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
title_full_unstemmed Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
title_sort микросборка на кремниевой плате для акселерометра
title_alt Microassembly on silicon board for accelerometer
description The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces.
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
publishDate 2013
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2023.5.24
work_keys_str_mv AT spirinvg microassemblyonsiliconboardforaccelerometer
AT spirinvg mikrosborkanakremnievojplatedlâakselerometra
first_indexed 2025-09-24T17:30:48Z
last_indexed 2025-09-24T17:30:48Z
_version_ 1850410242572025856