Pilipenko, V. A., Gorushko, V. A., Petlitskiy, A. N., Ponaryadov, V. V., Turtsevich, A. S., & Shvedov, S. V. (2013). Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Pilipenko, V. A., V. A. Gorushko, A. N. Petlitskiy, V. V. Ponaryadov, A. S. Turtsevich, та S. V. Shvedov. Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2013.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Pilipenko, V. A., et al. Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2013.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.