Pilipenko, V. A., Gorushko, V. A., Petlitskiy, A. N., Ponaryadov, V. V., Turtsevich, A. S., & Shvedov, S. V. (2013). Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Pilipenko, V. A., V. A. Gorushko, A. N. Petlitskiy, V. V. Ponaryadov, A. S. Turtsevich, und S. V. Shvedov. Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2013.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Pilipenko, V. A., et al. Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2013.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.