APA (7th ed.) Citation

Pilipenko, V. A., Gorushko, V. A., Petlitskiy, A. N., Ponaryadov, V. V., Turtsevich, A. S., & Shvedov, S. V. (2013). Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Pilipenko, V. A., V. A. Gorushko, A. N. Petlitskiy, V. V. Ponaryadov, A. S. Turtsevich, and S. V. Shvedov. Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2013.

MLA (8th ed.) Citation

Pilipenko, V. A., et al. Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2013.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.