Зображення обкладинки

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем

Increasing the degree of integration of hardware components imposes more stringent requirements for the reduction of the concentration of contaminants and oxidation stacking faults in the original silicon wafers with its preservation in the IC manufacturing process cycle. This causes high relevance...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2013
Автори:	Pilipenko, V. A., Gorushko, V. A., Petlitskiy, A. N., Ponaryadov, V. V., Turtsevich, A. S., Shvedov, S. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2013
Теми:	кремний геттер лазер быстродиффундирующая примесь центр геттерирования дислокация дефект упаковки
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.2-3.43
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
за авторством: Mokritskij, V. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
за авторством: Shangereeva, B. A.
Опубліковано: (2008)

ПРОГНОЗУВАННЯ ЩІЛЬНОСТІ УПАКОВКИ БІНАРНОЇ СУМІШІ ПОЛІДИСПЕРСНИХ ПОРОШКІВ ТУГОПЛАВКИХ СПОЛУК
за авторством: Кущ, Володимир, та інші
Опубліковано: (2025)

ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ОЧИСТКИ ВОДЫ ОТ ОРГАНИЧЕСКИХ ПРИМЕСЕЙ ИМПУЛЬСНЫМИ РАЗРЯДАМИ
за авторством: Божко, И.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
за авторством: Plis, N. I., та інші
Опубліковано: (2010)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
за авторством: Verbitskiy, V. G., та інші
Опубліковано: (2013)

Устройства для контроля качества сварных соединений выводов бескорпусных микросхем
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов
за авторством: Perevertaylo, V. L., та інші
Опубліковано: (2009)

Повышение радиационной устойчивости кремниевых монокристаллических эпитаксиальных слоев
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)

Природа переходов и механизмы генерации в лазерах на основе радиационно легированных кристаллов CdS
за авторством: Garkavenko, A. S.
Опубліковано: (2012)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
за авторством: Belous, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)

СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДИНАМИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ НЕЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМ РЕГУЛИРОВАНИЯ
за авторством: Верлань, Дмитро Анатолійович, та інші
Опубліковано: (2015)

Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhinin, А. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Взаимосвязь и особенности временной и частотной форм интегральных динамических моделей
за авторством: Дячук, Олександр Анатолійович, та інші
Опубліковано: (2015)

К идентификации ядер Вольтерры в нестационарных интегральных моделях динамических систем
за авторством: Солодуша, Светлана Витальевна
Опубліковано: (2017)

Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
за авторством: Gnilenko, A. B., та інші
Опубліковано: (2012)

Получение двухсторонних высоковольтных эпитаксиальных кремниевых p–i–n-структур методом ЖФЭ
за авторством: Vakiv, N. M., та інші
Опубліковано: (2013)

Измерения ВАХ импульсных кремниевых ЛПД на участке лавинного пробоя
за авторством: Kudryk, Ya. Ya.
Опубліковано: (2009)

Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Рассмотрены процессы получения микросварных соединений повышенной плотности в 3D интегральных схемах термозвуковой микросваркой, включающие использование повышенных частот ультразвука, применение микроинструмента с утонением рабочего торца и прецизион
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2014)

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат
за авторством: Turtsevich, A. S., та інші
Опубліковано: (2015)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
за авторством: Sоlоdukha, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование качества пайки кристаллов мощных транзисторов релаксационным импеданс-спектрометром
за авторством: Turtsevich, A. S., та інші
Опубліковано: (2012)

Низькотемпературна наномодифікація поверхні нержавіючої сталі іонними пучками
за авторством: Cherny, A. A., та інші
Опубліковано: (2014)

Fracture of Podolia caves in the aspect of rotational and tectonic causes of formation
за авторством: Pokalyuk, V. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Вуглецеві наностінки в автоемісійних катодах
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2017)

ORGANIZATIONAL PRINCIPLES OF THE OPERATION OF REG MICROGRIDS
за авторством: Hrytsenko , A. A., та інші
Опубліковано: (2024)

Метод гілок та меж у гамільтоновій задачі про сільського листоношу
за авторством: Morozov, A. V., та інші
Опубліковано: (2012)

СППР по формуванню кредитного портфеля комерційного банку
за авторством: Moskalenko, V. V., та інші
Опубліковано: (2019)

A HIGH SENSITIVE MICROWAVE MEASURING DEVICE OF THE MOISTURE CONTENT IN THE NON-POLAR DIELECTRIC LIQUIDS BASED ON AN INHOMOGENEOUS STEP COAXIAL RESONATOR
за авторством: Rudakov, V. V., та інші
Опубліковано: (2016)

Oscillations of Magnetized Grains in Complex Plasmas
за авторством: Yaroshenko, V. V., та інші
Опубліковано: (2013)

ПОЛЕ ШВИДКОСТІ ТА ВИХРОВИЙ РУХ УСЕРЕДИНІ НАПІВЦИЛІНДРИЧНОЇ ТРАНШЕЇ
за авторством: Voskoboinick, V.A, та інші
Опубліковано: (2016)