Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
Increasing the degree of integration of hardware components imposes more stringent requirements for the reduction of the concentration of contaminants and oxidation stacking faults in the original silicon wafers with its preservation in the IC manufacturing process cycle. This causes high relevance...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.2-3.43 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством: Пилипенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Пилипенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Перспективы развития тонкопленочных микросборок
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Повышение радиационной устойчивости кремниевых монокристаллических эпитаксиальных слоев
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Створення вільних економічних зон та удосконалення функціоування житлово-комунального господарства міста
за авторством: Строкань, Т.М.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Строкань, Т.М.
Опубліковано: (2001)
Эколого-экономические аспекты рекреационного природопользования в Крыму
за авторством: Яковенко, И.М.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Яковенко, И.М.
Опубліковано: (2001)
Качество природы как потребительская стоимость. (Основы инвайронментальной экономики)
за авторством: Черванев, И.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Черванев, И.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
ОБОСНОВАНИЕ РАСЧЕТНЫХ СХЕМ ЗАМЕЩЕНИЯ АСИНХРОННЫХ ДВИГАТЕЛЕЙ
за авторством: Родькин, Д.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Родькин, Д.И., та інші
Опубліковано: (2012)
Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть вторая: эксперимент
за авторством: Garkavenko, A. S., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Garkavenko, A. S., та інші
Опубліковано: (2014)
Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Часть первая: Теоретические предпосылки
за авторством: Garkavenko, A. S., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Garkavenko, A. S., та інші
Опубліковано: (2014)
Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits
за авторством: V. A. Pilipenko, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: V. A. Pilipenko, та інші
Опубліковано: (2013)
Скоростные уравнения экситонного лазера
за авторством: Garkavenko, A. S.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Garkavenko, A. S.
Опубліковано: (2011)
ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ОЧИСТКИ ВОДЫ ОТ ОРГАНИЧЕСКИХ ПРИМЕСЕЙ ИМПУЛЬСНЫМИ РАЗРЯДАМИ
за авторством: Божко, И.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Божко, И.В., та інші
Опубліковано: (2013)
ВІДНОВЛЕННЯ ТА МОДЕРНІЗАЦІЯ ТУРБОГЕНЕРАТОРІВ ЕЛЕКТРОСТАНЦІЙ УКРАЇНИ В ПОВОЄННИЙ ПЕРІОД
за авторством: Кенсицький, О.Г., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Кенсицький, О.Г., та інші
Опубліковано: (2023)
Детекторы оптического сигнала на основе структур Au-nSi-Al, Au-nSi
за авторством: Yodgorova, D. M., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Yodgorova, D. M., та інші
Опубліковано: (2005)
Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
за авторством: Mokritskij, V. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Mokritskij, V. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
ПРОГНОЗУВАННЯ ЩІЛЬНОСТІ УПАКОВКИ БІНАРНОЇ СУМІШІ ПОЛІДИСПЕРСНИХ ПОРОШКІВ ТУГОПЛАВКИХ СПОЛУК
за авторством: Кущ, Володимир, та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Кущ, Володимир, та інші
Опубліковано: (2025)
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
за авторством: Rodionov, I. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Rodionov, I. A., та інші
Опубліковано: (2007)
Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
за авторством: Belous, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Belous, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
Физические основы проектирования зеркал оптических резонаторов полихромных лазеров
за авторством: Bondarchuk, Jа. M., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Bondarchuk, Jа. M., та інші
Опубліковано: (2009)
Індуковані вакуумний струм та магнітний потік у кван-тованій скалярній матерії в присутності вихрового де-фекту з граничною умовою типу Неймана
за авторством: Gorkavenko, V.M., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Gorkavenko, V.M., та інші
Опубліковано: (2022)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Природа переходов и механизмы генерации в лазерах на основе радиационно легированных кристаллов CdS
за авторством: Garkavenko, A. S.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Garkavenko, A. S.
Опубліковано: (2012)
Проектирование биполярных микросхем широкополосных усилителей диапазона 40 МГц
за авторством: Popov, V. P., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Popov, V. P., та інші
Опубліковано: (2005)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
за авторством: Ninidze, G. K., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Ninidze, G. K., та інші
Опубліковано: (2005)
СУЧАСНИЙ СТАН ТА ОСОБЛИВОСТІ РОЗВИТКУ ТЕХНОПАРКІВ В УКРАЇНІ
за авторством: ZIANKO, V., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: ZIANKO, V., та інші
Опубліковано: (2023)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
за авторством: Krapivko, H. I.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Krapivko, H. I.
Опубліковано: (2005)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
за авторством: Plis, N. I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Plis, N. I., та інші
Опубліковано: (2010)