Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range....
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | Druzhinin, A. A., Kutrakov, A. P., Maryamova, I. I. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.25 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2008)
Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Silicon whisker pressure sensors for noise reduction in silencers: Датчики тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію для зниження шумових параметрів автоглушників
за авторством: Druzhinin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Druzhinin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2021)
Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
за авторством: Kondratov, V. T., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kondratov, V. T., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2019)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Многоканальный измеритель деформации для исследования конструкционных материалов
за авторством: Druzhinin, А. А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhinin, А. А., та інші
Опубліковано: (2008)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)
Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2015)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Элементы твердотельной электроники на основе КНИ-структур и нитевидных кристаллов Si для криогенных температур
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2014)
Измерение температуры с использованием оптических датчиков на основе двулучепреломляющих кристаллов
за авторством: Gaba, V. M.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Gaba, V. M.
Опубліковано: (2009)
РОЗРОБКА ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРИ НА РІДКИХ КРИСТАЛАХ
за авторством: SKOSAR, V., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: SKOSAR, V., та інші
Опубліковано: (2023)
Технология изготовления гибких терморезисторов на полиимидной основе
за авторством: Dinev, D. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Dinev, D. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Применение беспроводных систем мониторинга и связи в энергетике
за авторством: Grechikhin, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Grechikhin, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Інформаційно-вимірювальна система на базі датчиків з тензорезисторами на основі мікрокристалів кремнію
за авторством: Druzhinin, A. O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Druzhinin, A. O., та інші
Опубліковано: (2018)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Безпровідна система моніторингу деформацій з використанням тензорезисторів на основі ниткоподібних кристалів кремнію
за авторством: Druzhinin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Druzhinin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2025)
Дифференциальный термометр с высокой разрешающей способностью
за авторством: Gotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Gotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование метрологических характеристик системы измерения малых изменений температуры
за авторством: Samynina, M. G., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Samynina, M. G., та інші
Опубліковано: (2014)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Пристрій для дослідження температурної сталості характеристик перетворювачів напруги в частоту
за авторством: Zavadsky, Viktor, та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Zavadsky, Viktor, та інші
Опубліковано: (2021)
УМЕНЬШЕНИЕ СИСТЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА БИЕНИЙ ВАЛА ЗА СЧЕТ ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ АКТИВНОГО ЭЛЕКТРОДА
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Выбор режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства (ТЭУ), обеспечивающего минимальную интенсивность отказов
за авторством: Zaikov, V. P., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Zaikov, V. P., та інші
Опубліковано: (2008)
Оцінювання обчислювальних моделей функціонування кіберфізичних систем
за авторством: Pankratova, Nataliya D., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Pankratova, Nataliya D., та інші
Опубліковано: (2020)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
Схожі ресурси
-
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008) -
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013) -
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2008) -
Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011) -
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)