Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range....
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.25 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2008)
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
Датчик для измерения криогенных температур на основе нитевидных кристаллов Si-Ge
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Датчики приближения и положения на основе индуктивных балансных сенсоров
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
за авторством: Голуб, В.С.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Голуб, В.С.
Опубліковано: (2001)
Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
за авторством: Адарчин, С.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Адарчин, С.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Silicon whisker pressure sensors for noise reduction in silencers: Датчики тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію для зниження шумових параметрів автоглушників
за авторством: Druzhinin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Druzhinin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2021)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2019)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Многоканальный измеритель деформации для исследования конструкционных материалов
за авторством: Druzhinin, А. А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhinin, А. А., та інші
Опубліковано: (2008)
Функциональные возможности фотоприемников на основе низкоомных полупроводниковых пленок
за авторством: Клюканов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Клюканов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Механические свойства нитевидных кристаллов HfB₂
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2016)
Элементы твердотельной электроники на основе КНИ-структур и нитевидных кристаллов Si для криогенных температур
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2014)
Преобразование низкочастотных флуктуаций электропроводности в датчиках с нелинейной ВАХ
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)
Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
за авторством: Гусейнов, Я.Ю.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Гусейнов, Я.Ю.
Опубліковано: (2001)
Оптоэлектронный люминесцентный газоанализатор
за авторством: Плавинский, Е.Б., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Плавинский, Е.Б., та інші
Опубліковано: (2001)
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
Інформаційно-вимірювальна система на базі датчиків з тензорезисторами на основі мікрокристалів кремнію
за авторством: Druzhinin, A. O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Druzhinin, A. O., та інші
Опубліковано: (2018)
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
за авторством: Lopin, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Lopin, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
Применение эволюционных методов для оценки параметров узлов газотурбинных двигателей на основе данных измерений в процессе эксплуатации
за авторством: Угрюмова, Е.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Угрюмова, Е.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
за авторством: Kondratov, V. T., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kondratov, V. T., та інші
Опубліковано: (2008)
Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2015)
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
за авторством: Карапетьян, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Карапетьян, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2008)