Buchumschlag

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм

The influence of silicon nitride deposition condition on parameters of the obtained films has been investigated. It has been found that the deposition rate of silicon nitride films decreases with deposition temperature decreasing, and at the same time the within wafer thickness uniformity improves....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2012
Schlagworte:	нитрид кремния конденсаторный диэлектрик осаждение тонких пленок
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.34
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат
von: Turtsevich, A. S., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
von: Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht: (2008)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
von: Alieva, Kh. S., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
von: Sakhno, E. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Поглотители СВЧ-энергии с высокой теплопроводностью на основе AlN и SiC с добавками молибдена
von: Chasnyk, V. I., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Оптимизация конструкции мембранных датчиков
von: Rubcevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
von: Lopin, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
von: Alieva, Kh. S.
Veröffentlicht: (2012)

Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
von: Костановский, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Прогнозирование параметров стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей для разных соотношений компонентов и режимов спекания
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Двухпараметрические динамические солитоны в тонких упругих пластинах
von: Ковалев, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Venger, E. F., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
von: Денисова, З.Л., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Венгер, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Зависимость диэлектрической проницаемости кристаллизующейся фазы стеклокерамики от времени спекания
von: Dmitriyev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Оценка параметров компонентов моноармированой стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Способ определения доли кристаллов в стеклокерамическом диэлектрике
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
von: Makara, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
von: Semenov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
von: Moskovchenko, N. N., et al.
Veröffentlicht: (2006)

ЗАВИСИМОСТЬ ВОЗМУЩЕНИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В ДИЭЛЕКТРИКЕ ОТ ДИСПЕРСНОСТИ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ВОДНЫХ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ
von: Щерба , М.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Спектр поглощения тонких пленок KPb₂Cl₅
von: Юнакова, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
von: Djanghidze, L. B., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Гальваномагнитные свойства тонких пленок висмута, легированного теллуром
von: Орлова, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Структура и параметр решетки тонких пленок C₆₀
von: Пугачев, А.Т., et al.
Veröffentlicht: (1999)

ВПЛИВ ГРАНИЧНИХ УМОВ НА КОНЦЕНТРАЦІЮ НАПРУЖЕНЬ В ТОНКИХ ФУНКЦІОНАЛЬНО-ГРАДІЄНТНИХ ПЛАСТИНАХ З КРУГОВИМ ОТВОРОМ
von: TEROKHIN, B. I.
Veröffentlicht: (2025)

Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
von: Кузьмин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Оптимизация технологии “хлоридной” обработки тонких пленок халькогенидов кадмия
von: Харченко, Н.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Определение пластических свойств тонких пленок по данным индентирования
von: Валеева, И.К., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Исследование кристаллической структуры тонких пленок органического полупроводника - дигидродибензотетраазааннулена
von: Удовицкий, В.Г.
Veröffentlicht: (2008)

X Международная конференция «Физика и технология тонких пленок»
von: Харченко, Г.К.
Veröffentlicht: (2005)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
von: Bobrenko, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
von: Джабуа, З.У., et al.
Veröffentlicht: (2012)

ИК спектры тонких пленок криоконденсатов изотопической смеси воды
von: Алдияров, А., et al.
Veröffentlicht: (2002)