Зображення обкладинки

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм

The influence of silicon nitride deposition condition on parameters of the obtained films has been investigated. It has been found that the deposition rate of silicon nitride films decreases with deposition temperature decreasing, and at the same time the within wafer thickness uniformity improves....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2012
Автори:	Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2012
Теми:	нитрид кремния конденсаторный диэлектрик осаждение тонких пленок
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.34
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат
за авторством: Turtsevich, A. S., та інші
Опубліковано: (2015)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
за авторством: Alieva, Kh. S., та інші
Опубліковано: (2010)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
за авторством: Sakhno, E. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
за авторством: Panfilov, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2005)

Поглотители СВЧ-энергии с высокой теплопроводностью на основе AlN и SiC с добавками молибдена
за авторством: Chasnyk, V. I., та інші
Опубліковано: (2014)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Оптимизация конструкции мембранных датчиков
за авторством: Rubcevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)

Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
за авторством: Lopin, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)

Прогнозирование параметров стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей для разных соотношений компонентов и режимов спекания
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)

Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
за авторством: Костановский, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Двухпараметрические динамические солитоны в тонких упругих пластинах
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Зависимость диэлектрической проницаемости кристаллизующейся фазы стеклокерамики от времени спекания
за авторством: Dmitriyev, M. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Оценка параметров компонентов моноармированой стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)

Способ определения доли кристаллов в стеклокерамическом диэлектрике
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)

Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn
за авторством: Neimash, V. B., та інші
Опубліковано: (2018)

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
за авторством: Makara, V. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
за авторством: Денисова, З.Л., та інші
Опубліковано: (2013)

Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
за авторством: Головяшкин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2001)

Распределение дефектов в тонких полупроводниковых пластинах при низкотемпературной деформации
за авторством: Уколов, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
за авторством: Javadov, N. G.
Опубліковано: (2005)

Получение и свойства пористого карбида кремния
за авторством: Svetlichnaya, L. A., та інші
Опубліковано: (2005)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
за авторством: Semenov, A. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Способ электродугового восстановления кремния
за авторством: Solovyov, O. V., та інші
Опубліковано: (2005)

ЗАВИСИМОСТЬ ВОЗМУЩЕНИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В ДИЭЛЕКТРИКЕ ОТ ДИСПЕРСНОСТИ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ВОДНЫХ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ
за авторством: Щерба , М.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
за авторством: Moskovchenko, N. N., та інші
Опубліковано: (2006)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
за авторством: Djanghidze, L. B., та інші
Опубліковано: (2009)

Спектр поглощения тонких пленок KPb₂Cl₅
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2015)

Оптические свойства тонких плёнок TbSb₂
за авторством: Джабуа, З.У.
Опубліковано: (2016)

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
за авторством: Borisenko, A. G., та інші
Опубліковано: (2005)