Buchumschlag

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм

The influence of silicon nitride deposition condition on parameters of the obtained films has been investigated. It has been found that the deposition rate of silicon nitride films decreases with deposition temperature decreasing, and at the same time the within wafer thickness uniformity improves....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2012
Schlagworte:	нитрид кремния конденсаторный диэлектрик осаждение тонких пленок
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.34
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат
von: Turtsevich, A. S., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
von: Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht: (2008)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
von: Alieva, Kh. S., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
von: Sakhno, E. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
von: Najafov, B. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
von: Panfilov, Yu. V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Поглотители СВЧ-энергии с высокой теплопроводностью на основе AlN и SiC с добавками молибдена
von: Chasnyk, V. I., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
von: Najafov, B. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Оптимизация конструкции мембранных датчиков
von: Rubcevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
von: Alieva, Kh. S.
Veröffentlicht: (2012)

Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
von: Lopin, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Прогнозирование параметров стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей для разных соотношений компонентов и режимов спекания
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
von: Костановский, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Двухпараметрические динамические солитоны в тонких упругих пластинах
von: Ковалев, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Мiкроструктура тонких композитних плiвок Si–Sn
von: Neimash, V. B., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
von: Makara, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Зависимость диэлектрической проницаемости кристаллизующейся фазы стеклокерамики от времени спекания
von: Dmitriyev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Оценка параметров компонентов моноармированой стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Способ определения доли кристаллов в стеклокерамическом диэлектрике
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС
von: Pilipenko, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Venger, E. F., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Венгер, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
von: Денисова, З.Л., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
von: Головяшкин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
von: Javadov, N. G.
Veröffentlicht: (2005)

Распределение дефектов в тонких полупроводниковых пластинах при низкотемпературной деформации
von: Уколов, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Получение и свойства пористого карбида кремния
von: Svetlichnaya, L. A., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
von: Semenov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Способ электродугового восстановления кремния
von: Solovyov, O. V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Получение кремния электродным восстановлением продуктов пиролиза рисовой лузги
von: Maronchuk, I. E., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
von: Moskovchenko, N. N., et al.
Veröffentlicht: (2006)

ЗАВИСИМОСТЬ ВОЗМУЩЕНИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В ДИЭЛЕКТРИКЕ ОТ ДИСПЕРСНОСТИ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ВОДНЫХ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ
von: Щерба , М.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

ЗАВИСИМОСТЬ ВОЗМУЩЕНИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В ДИЭЛЕКТРИКЕ ОТ ДИСПЕРСНОСТИ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ВОДНЫХ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ
von: Щерба , М.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
von: Djanghidze, L. B., et al.
Veröffentlicht: (2009)