Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
The influence of deposition conditions on composition of in-situ oxygen doped polysilicon films has been investigated. A kinetic model of adsorption-deposition process using concentrated silane and nitrous oxide has been developed. The range of optimal ratios of silane and nitrous oxide flows and de...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.2.37 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
за авторством: Makara, V. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Makara, V. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
за авторством: Alieva, Kh. S., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Alieva, Kh. S., та інші
Опубліковано: (2010)
Кинетика роста монокристаллов алмаза в шестипуансонном аппарате высокого давления
за авторством: Лысаковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Лысаковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Механизм и кинетика растворения и осаждения родия при электролизе расплава карбамид—NH4Cl
за авторством: Савчук, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Савчук, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Фотокаталитическая деструкция фульвокислот озоном и кислородом
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Магнетизм нанопорошков легированного диоксида циркония
за авторством: Янушкевич, К.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Янушкевич, К.И., та інші
Опубліковано: (2003)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
Фотокаталитическая деструкция анионных ПАВ озоном и кислородом
за авторством: Швадчина, Ю.О., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Швадчина, Ю.О., та інші
Опубліковано: (2013)
Магнитные свойства монокристалла BKBO, легированного свинцом
за авторством: Барило, С.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Барило, С.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Плазменная обработка экономно-легированного теплостойкого наплавленного металла
за авторством: Самотугин, С.С., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Самотугин, С.С., та інші
Опубліковано: (2001)
Фоторефрактивные кристаллы в запоминающих устройствах оптоэлектронных процессоров корреляционного типа
за авторством: Lipinskii, A. Yu., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Lipinskii, A. Yu., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)
Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Эксимерные соединения ксенона с кислородом в кристаллических матрицах инертных газов
за авторством: Белов, А.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Белов, А.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Влияние одноосного давления на магнитную восприимчивость интерметаллического соединения СеАl₂
за авторством: Десненко, В.А., та інші
Опубліковано: (1995)
за авторством: Десненко, В.А., та інші
Опубліковано: (1995)
Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Технологические особенности высокохромистого никелевого сплава, комплексно-легированного рением и танталом
за авторством: Максюта, И.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Максюта, И.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Использование микро- и нанодисперсного алмаза для осаждения поликристаллических алмазных пленок в тлеющем разряде
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Особенности плавления и кристаллизации наплавленного металла типа 20ХГС, легированного фосфором
за авторством: Кусков, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Кусков, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование качества восстановленного и легированного поверхностных слоев медных плит при ПДРП
за авторством: Кожемякин, В.Г., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Кожемякин, В.Г., та інші
Опубліковано: (2015)
Температурная зависимость пленок Pr₀,₆₅Ca₀,₃₅MnO₃, полученных методом импульсного лазеpного осаждения
за авторством: Прохоров, В.Г., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Прохоров, В.Г., та інші
Опубліковано: (1999)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
Повышение радиационной устойчивости кремниевых монокристаллических эпитаксиальных слоев
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)