Роль пластической деформации в получении нанокремния
The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consist...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | Smyntyna, V. A., Kulinich, O. A., Yatsunkiy, I. R., Marchuk, I. A. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO2–Si»
за авторством: Kulinich, О. А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kulinich, О. А., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Синергетика пластической деформации
за авторством: Олемской, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Олемской, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Макроскопическая физика пластической деформации металлов
за авторством: Зуев, Л.Б.
Опубліковано: (2015)
за авторством: Зуев, Л.Б.
Опубліковано: (2015)
Структурные механизмы пластической деформации керамических материалов
за авторством: Олейник, Г.С.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Олейник, Г.С.
Опубліковано: (2014)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Локализация пластической деформации в форме ограниченной полосы разрыва перемещений
за авторством: Черняков, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Черняков, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Влияние пластической деформации на структуру и свойства газаров
за авторством: Карпов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Карпов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)
Нанокристаллизация металлических поверхностей методами интенсивной пластической деформации (обзор)
за авторством: Васильев, М.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Васильев, М.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние пластической деформации на анизотропию электропроводности трансформаторной стали
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Моделирование кинетики режимов фрагментации материалов при интенсивной пластической деформации
за авторством: Хоменко, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Хоменко, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Кинетика сегрегации в хромоникелевых сталях при интенсив-ной пластической деформации
за авторством: Стефанович, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Стефанович, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)
О залечивании дефектов в металлах при пластической деформации (аналитический обзор)
за авторством: Мацевитый, В.М., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Мацевитый, В.М., та інші
Опубліковано: (2012)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Особенности пластической деформации меди под влиянием комбинированного нагружения «кручение-растяжение»
за авторством: Пашинская, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Пашинская, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
Влияние водорода на локализацию пластической деформации при растяжении низкоуглеродистой стали
за авторством: Баранникова, С.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Баранникова, С.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Пространственное изменение модуля магнитного вектора в кристаллах при интенсивной пластической деформации кручением
за авторством: Заворонев, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Заворонев, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2017)
Обнаружение и исследование акустоэмиссионных эффектов при пластической деформации сталей в магнитном поле
за авторством: Папиров, И.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Папиров, И.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Повышение радиационной устойчивости кремниевых монокристаллических эпитаксиальных слоев
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Эволюция структуры и фазовых превращений в метастабильной аустенитной стали при интенсивной пластической деформации
за авторством: Мальцева, Л.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Мальцева, Л.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Развитие технологических методов формирования наноструктуры и высокопрочного состояния в процессах интенсивной пластической деформации
за авторством: Шундалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Шундалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Повышение долговечности сплава АМг6М за счет введения промежуточной пластической деформации
за авторством: Борщевская, Д.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Борщевская, Д.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
Микроструктура и механические свойства заэвтектического сплава Al—Si после интенсивной пластической деформации
за авторством: Спусканюк, В.З., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Спусканюк, В.З., та інші
Опубліковано: (2014)
Влияние скорости циклического нагружения на глубину зоны пластической деформации сплава ВНС-25
за авторством: Яковлева, Т.Ю., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Яковлева, Т.Ю., та інші
Опубліковано: (2002)
Температурные аномалии электрического сопротивления и термоэлектродвижущей силы поликристаллической меди, подвергнутой пластической деформации
за авторством: Дмитриев, В.М., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Дмитриев, В.М., та інші
Опубліковано: (2005)
Процессы струкурообразования в сплаве НТ-50 при комбинированном воздействии различных видов интенсивной пластической деформации
за авторством: Сторожилов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Сторожилов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2011)
О структуре очагов локализации пластической деформации в сверхпроводящем кабеле на основе сплава Nb—Ti
за авторством: Шляхова, Г.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Шляхова, Г.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Особенности ползучести и механизмы пластической деформации поликристаллического гафния в интервале температур 77…650 К
за авторством: Карасёва, Е.В., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Карасёва, Е.В., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние интенсивной пластической деформации на образование α-мартенсита в метастабильных и стабильных аустенитных сталях
за авторством: Дерягин, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Дерягин, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)
Явление механо-индуцированного атомного расслоения в Fe-Cr-Ni-сплавах при интенсивной пластической деформации
за авторством: Дерягин, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Дерягин, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Особенности пластической деформации облученных аустенитных коррозионно-стойких сталей в температурном интервале 20…450° С
за авторством: Петкова, А.П.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Петкова, А.П.
Опубліковано: (2003)
Сравнительный анализ структуры и свойств бескислородной меди после различных способов интенсивной пластической деформации
за авторством: Добаткин, С.В., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Добаткин, С.В., та інші
Опубліковано: (2006)
Схожі ресурси
-
Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO2–Si»
за авторством: Kulinich, О. А., та інші
Опубліковано: (2012) -
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008) -
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011) -
Синергетика пластической деформации
за авторством: Олемской, А.И., та інші
Опубліковано: (2001) -
Макроскопическая физика пластической деформации металлов
за авторством: Зуев, Л.Б.
Опубліковано: (2015)