Зображення обкладинки

Роль пластической деформации в получении нанокремния

The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consist...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2011
Автори:	Smyntyna, V. A., Kulinich, O. A., Yatsunkiy, I. R., Marchuk, I. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011
Теми:	наноструктурированный кремний пластическая деформация
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO2–Si»
за авторством: Kulinich, О. А., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Повышение радиационной устойчивости кремниевых монокристаллических эпитаксиальных слоев
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)

Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)

Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)

Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством: Pilipenko, V. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Многоканальный измеритель деформации для исследования конструкционных материалов
за авторством: Druzhinin, А. А., та інші
Опубліковано: (2008)

Кинетика деформации ВАХ оксидных варисторных структур, обусловленная перезарядкой локализованных состояний
за авторством: Tonkoshkur, A. S., та інші
Опубліковано: (2014)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Симметричный двухкоординатный фотодиод
за авторством: Dobrovolskiy, Yu. G., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)

Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)

Малошумящие усилители на основе SiGe-HBT для сверхширокополосных систем
за авторством: Popov, V. P., та інші
Опубліковано: (2013)

РОЛЬ РИБОНУКЛЕАЗ У РЕГУЛЯЦІЇ ІМУННОЇ ВІДПОВІДІ
за авторством: SHLYAKHOVENKO, V., та інші
Опубліковано: (2024)

Роль цеоліту в наданні паперу бактеріостатичних властивостей
за авторством: Tsitsishvili, V. G., та інші
Опубліковано: (2024)

РОЛЬ МЕНЕДЖЕРА В РЕАЛІЗАЦІЇ ЗМІН
за авторством: Kaschuck, Kateryna
Опубліковано: (2025)

Енергозбереження: роль і місце в енергетичній стратегії України
за авторством: Zhovtyansky V.A.
Опубліковано: (2001)

ПЕРСПЕКТИВИ РОЗВИТКУ ПІДПРИЄМНИЦЬКОЇ ДІЯЛЬНОСТІ: РОЛЬ УНІВЕРСИТЕТІВ
за авторством: LIGONENKO, L., та інші
Опубліковано: (2023)

Роль складових у агрегато- та структуроутворенні в багатокомпонентних дисперсіях «Коагулокс_N»
за авторством: Prokopenko, V.A., та інші
Опубліковано: (2025)

РОЛЬ ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ В УПРАВЛІННІ ПІДПРИЄМСТВОМ
за авторством: Пчелянська, Г. Б., та інші
Опубліковано: (2018)

Роль хімічного дизайну поверхні в сорбційній специфічності функціоналізованих силікагелів
за авторством: Belyakova, L. A., та інші
Опубліковано: (2022)

ЦІНА І ЇЇ РОЛЬ В МАРКЕТИНГОВОМУ КОМПЛЕКСІ
за авторством: Kalinichenko, Olena
Опубліковано: (2024)

РОЛЬ СТРАТЕГІЙ В УПРАВЛІННІ МАРКЕТИНГОВОЮ ДІЯЛЬНІСТЮ ПІДПРИЄМСТВА
за авторством: Poita, Iryna, та інші
Опубліковано: (2022)

ГІДРОЛОГІЧНА РОЛЬ ЛІСИСТОСТІ ВОДОЗБОРІВ ПЕРЕДКАРПАТТЯ
за авторством: Oliynyk, V. S., та інші
Опубліковано: (2018)

Роль іонізованих станів молекул води в гідролізі сахарози на поверхні кремнезему
за авторством: Tsendra, O. M., та інші
Опубліковано: (2010)