Роль пластической деформации в получении нанокремния
The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consist...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO2–Si»
за авторством: Kulinich, О. А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kulinich, О. А., та інші
Опубліковано: (2012)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Синергетика пластической деформации
за авторством: Олемской, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Олемской, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Самоорганизация кристаллов при пластической деформации
за авторством: Засимчук, Е.Э., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Засимчук, Е.Э., та інші
Опубліковано: (2013)
Макроскопическая физика пластической деформации металлов
за авторством: Зуев, Л.Б.
Опубліковано: (2015)
за авторством: Зуев, Л.Б.
Опубліковано: (2015)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Структурные механизмы пластической деформации керамических материалов
за авторством: Олейник, Г.С.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Олейник, Г.С.
Опубліковано: (2014)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Автоволны локализованной пластической деформации и вязкое разрушение
за авторством: Данилов, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Данилов, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Об одном методе определения зоны пластической деформации
за авторством: Семенов, Я.С., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Семенов, Я.С., та інші
Опубліковано: (2003)
Релаксационные процессы при пластической деформации металлических материалов
за авторством: Засимчук, О.Е., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Засимчук, О.Е., та інші
Опубліковано: (2015)
Деформирующий блок для реализации сдвиговой пластической деформации
за авторством: Белошенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Белошенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Повышение радиационной устойчивости кремниевых монокристаллических эпитаксиальных слоев
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2014)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Локализация пластической деформации в форме ограниченной полосы разрыва перемещений
за авторством: Черняков, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Черняков, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Влияние пластической деформации на температурную зависимость термоэдс в меди
за авторством: Светлов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Светлов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
Нанокристаллизация металлических поверхностей методами интенсивной пластической деформации (обзор)
за авторством: Васильев, М.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Васильев, М.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние пластической деформации на анизотропию электропроводности трансформаторной стали
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
Влияние интенсивной пластической деформации на термическое расширение полиамида
за авторством: Борзенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Борзенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние пластической деформации на структуру и свойства газаров
за авторством: Карпов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Карпов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)
Эффекты пластической деформации гетерофазных материалов с метастабильной структурой
за авторством: Эфрос, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Эфрос, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)
Моделирование кинетики режимов фрагментации материалов при интенсивной пластической деформации
за авторством: Хоменко, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Хоменко, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Особенности фазовой кинетики фрагментации металлов при интенсивной пластической деформации
за авторством: Хоменко, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Хоменко, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Роль пластической деформации в процессах уплотнения и разуплотнения при спекании материалов на основе вюртцитного нитрида бора
за авторством: Олейник, Г.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Олейник, Г.С., та інші
Опубліковано: (2010)
О залечивании дефектов в металлах при пластической деформации (аналитический обзор)
за авторством: Мацевитый, В.М., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Мацевитый, В.М., та інші
Опубліковано: (2012)
Природа упрочнения аустенита высокоазотистой стали в процессе накопления пластической деформации
за авторством: Варюхин, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Варюхин, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
Образование наноразмерных кластеров в ГЦК-сплавах при интенсивной пластической деформации
за авторством: Эфрос, Б.М., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Эфрос, Б.М., та інші
Опубліковано: (2013)
Кинетика сегрегации в хромоникелевых сталях при интенсив-ной пластической деформации
за авторством: Стефанович, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Стефанович, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Условия совместности пластической деформации и предельного измельчения зерен в металлах
за авторством: Утяшев, Ф.З.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Утяшев, Ф.З.
Опубліковано: (2010)
Структура меди, подвергнутой криогенному размолу и интенсивной пластической деформации
за авторством: Исламгалиев, Р.К., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Исламгалиев, Р.К., та інші
Опубліковано: (2011)
Модель зернограничного проскальзывания при комбинированной пластической деформации со сдвигом
за авторством: Пашинская, Е.Г.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Пашинская, Е.Г.
Опубліковано: (2008)
Влияние пластической деформации на структуру и свойства высокоэнтропийных сплавов
за авторством: Фирстов, С.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Фирстов, С.А., та інші
Опубліковано: (2015)