Cover Image

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления

The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established tha...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Date:	2010
Main Authors:	Brus, V. V., Kovaluk, Z. D., Maryanchuk, P. D., Orletsky, I. G., Maystruk, E. V.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010
Subjects:	диоксид титана пленки магнетронное распыление
Online Access:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Similar Items

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
by: Khoverko, Yu. N.
Published: (2010)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
by: Kostin, E. G., et al.
Published: (2008)

Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
by: Konakova, R. V., et al.
Published: (2010)

Структура полимерных композитов на основе диоксида ванадия и их диэлектрические свойства в диапазоне радиочастот
by: Kolbunov, V. R., et al.
Published: (2015)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
by: Maximenko, L. S., et al.
Published: (2013)

Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
by: Zhavzharov, E. L., et al.
Published: (2015)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
by: Ivanchykau, A. E., et al.
Published: (2009)

СТРУКТУРА КАРБіДОТИТАНОВИХ ТВЕРДИХ СПЛАВІВ, ЩО ОТРИМАНО ЕЛЕКТРОРОЗРЯДНИМ СИНТЕЗОМ
by: Липян, Є.В., et al.
Published: (2019)

Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2013)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
by: Venger, E. F., et al.
Published: (2014)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
by: Hladkovskiy, V. V., et al.
Published: (2014)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
by: Bobrenko, Yu. N., et al.
Published: (2009)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
by: Maksimchuk, N. V., et al.
Published: (2010)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
by: Rubtsevich, I. I., et al.
Published: (2011)

Формування антибактеріальних покриттів на хітозанових матрицях методом магнетронного напилення
by: Kalinkevich, O. V., et al.
Published: (2017)

Сопротивление контактов тонкопленочного резистора
by: Spirin, V. G.
Published: (2008)

Технология изготовления контактов к карбиду кремния
by: Kudryk, Ya. Ya., et al.
Published: (2013)

Свойства двойных гетеропереходов p+-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
by: Vakiv, N. M., et al.
Published: (2012)

Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-ТiО2:Mn/p-CdTe
by: Mostovyi, A. I., et al.
Published: (2013)

МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ РАЗВИТИЯ ПРОЦЕССОВ НА КАТОДЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ
by: Милых, В.И., et al.
Published: (2013)

Фотоорієнтація реактивного мезогену на полімерній поверхні целюлозо-циннамату
by: Kurioz, Yu. I.
Published: (2013)

КОМПЕНСАЦИЯ РЕАКТИВНОГО МОМЕНТА В ЭЛЕКТРОПРИВОДЕ СПУТНИКОВЫХ БОРТОВЫХ СИСТЕМ
by: Антонов, А.Е., et al.
Published: (2018)

Исследование температурной зависимости контактного сопротивления омических контактов к InP
by: Novitskyi, S. V.
Published: (2012)

НАЛАШТУВАННЯ РЕГУЛЯТОРА КУТОВОЇ ШВИДКОСТІ РЕАКТИВНОГО МАХОВИКА СИСТЕМИ ОРІЄНТАЦІЇ НАНОСУПУТНИКА
by: Акинін, К.П., et al.
Published: (2023)

ПРОЕКТУВАННЯ ВЕНТИЛЬНО–РЕАКТИВНОГО ДВИГУНА ЗІ ЗНИЖЕНИМИ ПУЛЬСАЦІЯМИ ЕЛЕКТРОМАГНІТНОГО МОМЕНТУ
by: Бібік , О.В., et al.
Published: (2014)

ВЛИЯНИЕ СЕЛЕКТИВНОСТИ ТЕПЛОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СПЛАВОВ НА МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОГРЕШНОСТИ ИХ КЛАССИЧЕСКОЙ И ДВУХЦВЕТОВОЙ КОМПЕНСАЦИОННОЙ ТЕРМОМЕТРИИ
by: Zhukov, L.F., et al.
Published: (2017)

ЕЛЕКТРОМАГНІТНЕ ПОЛЕ У ТОРЦЕВІЙ ЗОНІ ТУРБОГЕНЕРАТОРА ПРИ ЗМІНІ РЕАКТИВНОГО НАВАНТАЖЕННЯ
by: Кенсицький, О.Г., et al.
Published: (2018)

ОБГРУНТУВАННЯ РАЦІОНАЛЬНИХ РОЗМІРІВ МАГНІТОПРОВОДУ КІЛЬЦЕВОГО РОТОРА ВІТРОЕЛЕКТРИЧНОГО ВЕНТИЛЬНОГО РЕАКТИВНОГО ГЕНЕРАТОРА
by: Козирський, В.В., et al.
Published: (2018)

Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике
by: Hotra, Z. Yu., et al.
Published: (2008)

Физические свойства и зонная структура кристаллов (3HgTe)1–x(Al2Te3)x, легированных марганцем
by: Maryanchuk, P. D., et al.
Published: (2014)

РОЗШИРЕННЯ ДІАПАЗОНУ РЕГУЛЮВАННЯ ВХІДНОГО РЕАКТИВНОГО СТРУМУ МАТРИЧНИХ ПЕРЕТВОРЮВАЧІВ НА ОСНОВІ SVD-ПЕРЕТВОРЕННЯ
by: Михальський , В.М., et al.
Published: (2014)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
by: Katerynchuk, V. M., et al.
Published: (2010)

Анализ структурно-химического состояния и классификация оксидных и металлических фаз системы кремний−кальций−барий−кислород. Сплавы силикокальцийбария. Сообщение 2
by: Белов, Б.Ф., et al.
Published: (2018)

Вплив температури на оптичні властивості тонких плівок Cu2ZnSnSe4
by: Maystruk, E. V., et al.
Published: (2018)

ДОСЛІДЖЕННЯ ВПЛИВУ ФОРМИ СОПЛОВОГО ТРАКТУ НА ТЕРМОДИНАМІЧНІ ТА ГАЗОДИНАМІЧНІ ПАРАМЕТРИ ВИХЛОПУ МАЛОГО РЕАКТИВНОГО ДВИГУНА
by: Makarchuk, B. O., et al.
Published: (2025)

Исследование удельного сопротивления омических контактов Au–Ti–Pd–n-Si для лавинно-пролетных диодов
by: Basanets, V. V., et al.
Published: (2015)

Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
by: Aleksandrov, S. B., et al.
Published: (2011)

ВПЛИВ ДИСТАНЦІЙНОГО РОЗТАШУВАННЯ ПАЛИВНОГО КЛАПАНА НА ЗАТРИМКУ ЗАПУСКУ РЕАКТИВНОГО ДВИГУНА МАЛОЇ ТЯГИ НА «ЗЕЛЕНОМУ» ПАЛИВІ
by: KNYSHENKO, Yu. V., et al.
Published: (2025)

Магнитные и кинетические свойства кристаллов Hg1–x–yCdxDyySe
by: Kovalyuk, T. T., et al.
Published: (2014)

Электрические и фотоэлектрические свойства гетероструктур NiO/p-CdTe и NiO/n-CdTe
by: Parkhomenko, H. P., et al.
Published: (2016)