Cover Image

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления

The article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established tha...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Date:	2010
Main Authors:	Brus, V. V., Kovaluk, Z. D., Maryanchuk, P. D., Orletsky, I. G., Maystruk, E. V.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2010
Subjects:	диоксид титана пленки магнетронное распыление
Online Access:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.60
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Similar Items

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
by: Брус, В.В., et al.
Published: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
by: Khoverko, Yu. N.
Published: (2010)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2006)

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2005)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
by: Kostin, E. G., et al.
Published: (2008)

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2007)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
by: Мохненко, М.И., et al.
Published: (2015)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
by: Belyanin, A. F., et al.
Published: (2005)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
by: Першин, Ю.П., et al.
Published: (2016)

Способ электродугового восстановления кремния
by: Solovyov, O. V., et al.
Published: (2005)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
by: Костин, Е.Г., et al.
Published: (2008)

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
by: Яковін, С.Д., et al.
Published: (2014)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
by: Юрченко, Г.В.
Published: (2000)

Изучение свойств контактов кремния с барьером Шоттки, изготовленных на основе аморфных и поликристаллических различных металлических сплавов
by: Пашаев, И.Г.
Published: (2012)

Структура полимерных композитов на основе диоксида ванадия и их диэлектрические свойства в диапазоне радиочастот
by: Kolbunov, V. R., et al.
Published: (2015)

Технология изготовления GaAs-диодов Ганна для диапазона коротких миллимитровых длин волн
by: Ivanov, V. N., et al.
Published: (2006)

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
by: Василенко, Н.А., et al.
Published: (2013)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
by: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Published: (2003)

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
by: Гончаров, А.А., et al.
Published: (2014)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
by: Бажин, А.И., et al.
Published: (2012)

Механизм начального этапа роста пленок Cr, полученных при помощи магнетронного распыления на постоянном токе
by: Перекрестов, В.И., et al.
Published: (2000)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
by: Погребняк, А.Д., et al.
Published: (2012)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
by: Шагинян, Л.Р., et al.
Published: (2016)

Теоретические аспекты оптимизации металлических токосъемных контактов солнечных элементов
by: Горский, П.В., et al.
Published: (2001)

Горячие электроны в металлических пленках при низких температурах
by: Шкловский, В.А.
Published: (2018)

Свойства толстых плёнок на основе SnO₂ при использовании контактов, изготовленных из Ni₃B-паст
by: Гончар, А.Г., et al.
Published: (2017)

Акустический аналог эффекта гигантского магнитосопротивления в металлических многослойных пленках
by: Окулов, В.И., et al.
Published: (1995)

Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
by: Zhavzharov, E. L., et al.
Published: (2015)

Photoelectrical analysis of n-TiO₂/p-CdTe heterojunction solar cells
by: Brus, V.V., et al.
Published: (2013)

Photoelectrical analysis of n-TiO2/p-CdTe heterojunction solar cells
by: V. V. Brus, et al.
Published: (2013)

Влияние поверхности на перенос заряда в тонких металлических пленках на основе непереходных металлов
by: Бигун, Р.И., et al.
Published: (2010)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
by: Зыков, А.В., et al.
Published: (2015)

Надежность железнодорожных колес, изготовленных разными способами производства
by: Бабаченко, А.И., et al.
Published: (2018)

Надежность железнодорожных колес, изготовленных разными способами производства
by: Бабаченко, А.И., et al.
Published: (2019)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
by: Буранич, В.В., et al.
Published: (2018)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
by: Глебова, А.Н.
Published: (2016)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
by: Гончаров, А.А., et al.
Published: (2008)

Установка магнетронного нанесения покрытий на листовое стекло
by: Жадкевич, М.Л., et al.
Published: (2003)

СТРУКТУРА КАРБіДОТИТАНОВИХ ТВЕРДИХ СПЛАВІВ, ЩО ОТРИМАНО ЕЛЕКТРОРОЗРЯДНИМ СИНТЕЗОМ
by: Липян, Є.В., et al.
Published: (2019)

Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (1998)