Buchumschlag

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Results of technological researches of plasmachemical reactor (PCR) for etching of silicon plate edges of photo-electric converters are described. Dependences of silicon etching speed on a discharge current, magnetic field intensity, quantity of the process able surface area and gases composition ar...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Schlagworte:	плазмохимический реактор плазмохимическое травление монокремний скорость травления ток разряда фотоэлектрические преобразователи
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.46
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Ivanchykau, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
von: Dudin, S. V., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Словотвірна активність формата пре- в українській мов
von: Іщук, М.В.
Veröffentlicht: (2002)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
von: Ivanov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Об одной задаче теории неустановившихся движений грунтовых вод
von: Соколов, Ю. Д., et al.
Veröffentlicht: (1953)

Исследование методов размагничивания торцов труб при ремонтах магистральных трубопроводов
von: Добродеев, П.Н.
Veröffentlicht: (2014)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
von: Дудин, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исаак Эзрович Дуван-Торцов. Его знала вся театральная Россия
von: Степанова, Е.И.
Veröffentlicht: (2013)

Оборудование для подготовки торцов труб применительно к сварке неповоротных стыков трубопроводов
von: Лобанов, Л.М., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
von: Журавлев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Ювiлей Чардьза Дарвiна в медальєрному мистецтвi
von: Блюм, Я.Б., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭКЗОТЕРМИЧЕСКИЕ ДИСПЕРСНЫЕ СРЕДЫ
von: Вовченко , А.И., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Особенности структурных превращений при спекании нанодисперсного монофазного порошка нитрида титана плазмохимического синтеза
von: Кайдаш, О.Н.
Veröffentlicht: (2010)

Антиапоптотична дія нейропептиду лей-енкефаліну щодо лейкоцитів донорської крові, підданих холодовому стресу
von: Гулевський, О.К., et al.
Veröffentlicht: (2019)

К вопросу о специфике субстантивов на -ние, -ение в русском диалектном словообразовании
von: Попова, Т.Н.
Veröffentlicht: (2006)

Вплив лей-енкефаліну (даларгіну) на розвиток апоптозу і некрозу лейкоцитів після холодового стресу
von: Moisieieva, Nataliia, et al.
Veröffentlicht: (2022)

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
von: Шустин, Е.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Система непрерырвного мониторинга оборудования и технологичес- ких трубопроводов цеха производства аммиака Одесского припортового завода
Veröffentlicht: (2007)

Двухканальный переключатель СВЧ-мощности на основе электрически активных полупроводниковых структур
von: Lavrich, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Антиапоптотична дія синтетичного лей-енкефаліну даларгіну на лейкоцити щурів у моделі холодового стресу in vivo
von: Shcheniavsky, Ivan
Veröffentlicht: (2021)

Активное демпфирование вынужденных резонансных изгибных колебаний изотропной вязкоупругой прямоугольной пластины с жестким защемлением торцов
von: Карнаухова, Т.В.
Veröffentlicht: (2009)

Разработка технологии ремонтной микроплазменной порошковой наплавки торцов бандажных полок рабочих лопаток ТВД авиационного двигателя
von: Ющенко, К.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
von: Zaykov, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Интегральные многообразия и экспоненциальное расщепление линейных параболических уравнений с быстро меняющимися коэффициентами
von: Белан, Е.П., et al.
Veröffentlicht: (1995)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
von: Golishnikov, А. А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние электрических параметров дуговой наплавки порошковой проволокой на стабильность процесса и проплавле- ние основного металла
von: Ланкин, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
von: Hotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
von: Reva, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О гамильтоновой фоpмулиpовке уpавнений гидpодинамики сверхтекучего ³He-A
von: Исаев, A.A., et al.
Veröffentlicht: (1997)

Территориальные преобразования как процессы (на примере преобразования муниципальных образований в России)
von: Чертков, А.Н.
Veröffentlicht: (2011)

Функцiональний стан фотосинтетичного апарату клiтин Euglena gracilis при мiксотрофному культивуваннi
von: Мокросноп, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2015)

ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОНОВ В ОДНОКАНАЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИСТИЛЛИРОВАННОЙ ВОДЫ
von: Шуаибов, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Обеспечение заданной длины проводников в САПР TopoR
von: Lysenko, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Законодавче забезпечення господарських відносин у сфері сільського туризму
von: Кафарський, О.В.
Veröffentlicht: (2011)

Застосування iнформацiйної технологiї визначення циркулюючих пухлинних клiтин для дiагностування злоякiсних пухлинних захворювань
von: Азархов, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2020)