Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей

• Date: 2009
• Main Authors: Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
• Subjects: плазмохимический реактор; плазмохимическое травление; монокремний; скорость травления; ток разряда; фотоэлектрические преобразователи
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.46
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

Results of technological researches of plasmachemical reactor (PCR) for etching of silicon plate edges of photo-electric converters are described. Dependences of silicon etching speed on a discharge current, magnetic field intensity, quantity of the process able surface area and gases composition ar...