Зображення обкладинки

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста

The investigation of deposition kinetics of in-situ phosphorus doped polysilicon films has been performed. The adsorptive-kinetic model of in-situ phosphorus doped polysilicon deposition has been developed. The values of heterogeneous reaction constants and constants, which describe the desorption p...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	поликристаллический кремний осаждение адсорбционно-кинетическая модель
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.50
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование адсорбционно-структурных и электрофизических характеристик модифицированных углеродных нанотрубок
за авторством: Базалий, Г.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Бигруппы Ли - Каца
за авторством: Палюткин, В.Г.
Опубліковано: (2000)

Возродится ли социализм?
за авторством: Золотов, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)

Фрактальна ли солнечная грануляция?
за авторством: Карпинский, В.Н., та інші
Опубліковано: (1998)

Правы ли наши обвинители?
за авторством: Костомаров, М.І.
Опубліковано: (1990)

Стоит ли “дурить публику”?
за авторством: Степаненко, В.
Опубліковано: (2001)

Имеет ли история смысл?
за авторством: Потапенко, А.В.
Опубліковано: (2006)

Возможна ли профилактика катастроф?
за авторством: Никитин, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

О сумме почти абелевой алгебры Ли и алгебры Ли, конечномерной над своимцешром
за авторством: Петравчук, А.П.
Опубліковано: (1999)

О феноменологических моделях и прогнозе сейсмичности: оправдан ли пессимизм, обоснованы ли надежды
за авторством: Шуман, В.Н.
Опубліковано: (2013)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Устарел ли способ наименьших квадратов?
за авторством: Джунь, И.В.
Опубліковано: (2000)

Уничтожат ли человечество умные роботы?
за авторством: Ященко, В.А
Опубліковано: (2017)

Эффективно ли внедрять сертификацию СМК ?
за авторством: Момот, А.И., та інші
Опубліковано: (2007)

Является ли снэк ядовитой рыбой?
за авторством: Ушаков, В.С.
Опубліковано: (1974)

Может ли религия способствовать демократии?
за авторством: Богданова, Е.
Опубліковано: (2007)

Был ли Игорь сыном Рюрика?
за авторством: Пчелов, Е.В.
Опубліковано: (2011)

Реально ли непрецессионное движение равноденствия?
за авторством: Дума, Д.П., та інші
Опубліковано: (1999)

Дифференциальные структуры в супералгебре Ли
за авторством: Далецький, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (1996)

Дифференциальные структуры в супералгебре Ли
за авторством: Далецкий, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (1996)

Всегда ли обосновано абдоминальное родоразрешение
за авторством: Голота, В.Я., та інші
Опубліковано: (2012)

Вполне монотонные функции на полугруппах Ли
за авторством: Миротин, А.Р.
Опубліковано: (2000)

Идет ли русский язык к аналитизму?
за авторством: Воротников, Ю.Л.
Опубліковано: (2001)

Дискретность решеток замкнутых подгрупп групп Ли
за авторством: Кабенюк, М.И.
Опубліковано: (1985)

О представлениях алгебр Ли ступенчатых матриц
за авторством: Ли Сун Ген
Опубліковано: (1987)

Генная терапия неизбежна, но успеем ли?
за авторством: Кордюм, В.А.
Опубліковано: (1991)

Преодолеваемы ли апории Зенона средствами математики?
за авторством: Сафонова, Н.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Читал ли Гоголь Шекспира в подлиннике?
за авторством: Евдокимов, А.
Опубліковано: (2009)

Об алгебрах Ли с нильпотентным радикалом
за авторством: Ли Сун Ген
Опубліковано: (1986)

Спектральные разложения некоторых представлений групп Ли
за авторством: Виленкин, Н.Я., та інші
Опубліковано: (1990)

Нормальность в пространстве подгрупп группы Ли
за авторством: Панасюк, С.П.
Опубліковано: (1990)

Может ли Украина иметь ядерное оружие?
за авторством: Шмаров, В.Н., та інші
Опубліковано: (2015)

Метризуемость в пространстве подгрупп группы Ли
за авторством: Панасюк, С.П.
Опубліковано: (1990)

Существует ли семейство периодических комет Сатурна
за авторством: Гулиев, А.С.
Опубліковано: (1992)

ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ УКРАИНЫ: СОХРАНИЛСЯ ЛИ ЗАПАС ПРОЧНОСТИ?
за авторством: Khalatov, A.A.
Опубліковано: (2017)

Победит ли Барак Обама в 2012 году?
за авторством: Докторов, Б.
Опубліковано: (2011)

Есть ли в Украине государственно-политическая традиция?
за авторством: Балушок, В.
Опубліковано: (1999)

Группы Ли и автомодельные формы уравнений Прандтля
за авторством: Авраменко, А.А.
Опубліковано: (1999)