Зображення обкладинки

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста

The investigation of deposition kinetics of in-situ phosphorus doped polysilicon films has been performed. The adsorptive-kinetic model of in-situ phosphorus doped polysilicon deposition has been developed. The values of heterogeneous reaction constants and constants, which describe the desorption p...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	поликристаллический кремний осаждение адсорбционно-кинетическая модель
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.50
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Бигруппы Ли - Каца
за авторством: Палюткин, В.Г.
Опубліковано: (2000)

Стоит ли “дурить публику”?
за авторством: Степаненко, В.
Опубліковано: (2001)

Имеет ли история смысл?
за авторством: Потапенко, А.В.
Опубліковано: (2006)

Правы ли наши обвинители?
за авторством: Костомаров, М.І.
Опубліковано: (1990)

О сумме почти абелевой алгебры Ли и алгебры Ли, конечномерной над своимцешром
за авторством: Петравчук, А.П.
Опубліковано: (1999)

О феноменологических моделях и прогнозе сейсмичности: оправдан ли пессимизм, обоснованы ли надежды
за авторством: Шуман, В.Н.
Опубліковано: (2013)

Может ли религия способствовать демократии?
за авторством: Богданова, Е.
Опубліковано: (2007)

Уничтожат ли человечество умные роботы?
за авторством: Ященко, В.А
Опубліковано: (2017)

Является ли снэк ядовитой рыбой?
за авторством: Ушаков, В.С.
Опубліковано: (1974)

Устарел ли способ наименьших квадратов?
за авторством: Джунь, И.В.
Опубліковано: (2000)

Был ли Игорь сыном Рюрика?
за авторством: Пчелов, Е.В.
Опубліковано: (2011)

Дифференциальные структуры в супералгебре Ли
за авторством: Далецький, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (1996)

Преодолеваемы ли апории Зенона средствами математики?
за авторством: Сафонова, Н.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Идет ли русский язык к аналитизму?
за авторством: Воротников, Ю.Л.
Опубліковано: (2001)

Об алгебрах Ли с нильпотентным радикалом
за авторством: Ли Сун Ген
Опубліковано: (1986)

Нормальность в пространстве подгрупп группы Ли
за авторством: Панасюк, С.П.
Опубліковано: (1990)

Спектральные разложения некоторых представлений групп Ли
за авторством: Виленкин, Н.Я., та інші
Опубліковано: (1990)

Читал ли Гоголь Шекспира в подлиннике?
за авторством: Евдокимов, А.
Опубліковано: (2009)

Дискретность решеток замкнутых подгрупп групп Ли
за авторством: Кабенюк, М.И.
Опубліковано: (1985)

Вполне монотонные функции на полугруппах Ли
за авторством: Миротин, А.Р.
Опубліковано: (2000)

Генная терапия неизбежна, но успеем ли?
за авторством: Кордюм, В.А.
Опубліковано: (1991)

Готова ли наука к построению экоустойчивого общества?
за авторством: Заец, Р.В.
Опубліковано: (2004)

О сильно инертных подалгебрах бесконечномерной алгебры Ли
за авторством: Петравчук, А.П.
Опубліковано: (2002)

Парадокс В. Леонтьева. А был ли он?
за авторством: Чаленко, А.Ю.
Опубліковано: (2008)

Роды после кесарева сечения: оправдан ли риск?
за авторством: Лупояд, В.С., та інші
Опубліковано: (2013)

Возможна ли нравственность, не зависимая от религии?
за авторством: Белокобыльский, А.В.
Опубліковано: (2011)

ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ УКРАИНЫ: СОХРАНИЛСЯ ЛИ ЗАПАС ПРОЧНОСТИ?
за авторством: Khalatov, A.A.
Опубліковано: (2017)

Опасен ли для беременности вирус простого герпеса?
за авторством: Лупояд, В.С., та інші
Опубліковано: (2013)

О грассмановом отображении подмногообразий в группах Ли
за авторством: Петров, Е.В.
Опубліковано: (2008)

Есть ли в Украине государственно-политическая традиция?
за авторством: Балушок, В.
Опубліковано: (1999)

Влияет ли «космическая погода» на общественную жизнь?
за авторством: Владимирский, Б.М.
Опубліковано: (2005)

Группы Ли и автомодельные формы уравнений Прандтля
за авторством: Авраменко, А.А.
Опубліковано: (1999)

Существует ли необходимость в гипотезе универсального генома?
за авторством: Михеев, А.Н.
Опубліковано: (2014)

Можно ли управлять процессом синтеза детонационных наноалмазов?
за авторством: Возняковский, А.П., та інші
Опубліковано: (2013)

Компактные элементы и подгруппы Картана связных групп Ли
за авторством: Кабенюк, М.И.
Опубліковано: (1990)

Принимал ли Роман Мстиславич посольство папы Иннокентия III
за авторством: Толочко, А.
Опубліковано: (2003)

«Интеллигенты» и «профессионалы»: переживает ли кризис современная интеллигенция?
за авторством: Прошин, Д.В.
Опубліковано: (2008)

Приветствие председателя Верховной Рады АРК Грача Л.И.
Опубліковано: (2002)