Buchumschlag

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста

The investigation of deposition kinetics of in-situ phosphorus doped polysilicon films has been performed. The adsorptive-kinetic model of in-situ phosphorus doped polysilicon deposition has been developed. The values of heterogeneous reaction constants and constants, which describe the desorption p...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Schlagworte:	поликристаллический кремний осаждение адсорбционно-кинетическая модель
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.50
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Бигруппы Ли - Каца
von: Палюткин, В.Г.
Veröffentlicht: (2000)

Стоит ли “дурить публику”?
von: Степаненко, В.
Veröffentlicht: (2001)

Имеет ли история смысл?
von: Потапенко, А.В.
Veröffentlicht: (2006)

Правы ли наши обвинители?
von: Костомаров, М.І.
Veröffentlicht: (1990)

О сумме почти абелевой алгебры Ли и алгебры Ли, конечномерной над своимцешром
von: Петравчук, А.П.
Veröffentlicht: (1999)

О феноменологических моделях и прогнозе сейсмичности: оправдан ли пессимизм, обоснованы ли надежды
von: Шуман, В.Н.
Veröffentlicht: (2013)

Может ли религия способствовать демократии?
von: Богданова, Е.
Veröffentlicht: (2007)

Уничтожат ли человечество умные роботы?
von: Ященко, В.А
Veröffentlicht: (2017)

Является ли снэк ядовитой рыбой?
von: Ушаков, В.С.
Veröffentlicht: (1974)

Устарел ли способ наименьших квадратов?
von: Джунь, И.В.
Veröffentlicht: (2000)

Был ли Игорь сыном Рюрика?
von: Пчелов, Е.В.
Veröffentlicht: (2011)

Дифференциальные структуры в супералгебре Ли
von: Далецький, Ю.Л., et al.
Veröffentlicht: (1996)

Преодолеваемы ли апории Зенона средствами математики?
von: Сафонова, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Идет ли русский язык к аналитизму?
von: Воротников, Ю.Л.
Veröffentlicht: (2001)

Об алгебрах Ли с нильпотентным радикалом
von: Ли Сун Ген
Veröffentlicht: (1986)

Нормальность в пространстве подгрупп группы Ли
von: Панасюк, С.П.
Veröffentlicht: (1990)

Спектральные разложения некоторых представлений групп Ли
von: Виленкин, Н.Я., et al.
Veröffentlicht: (1990)

Читал ли Гоголь Шекспира в подлиннике?
von: Евдокимов, А.
Veröffentlicht: (2009)

Дискретность решеток замкнутых подгрупп групп Ли
von: Кабенюк, М.И.
Veröffentlicht: (1985)

Вполне монотонные функции на полугруппах Ли
von: Миротин, А.Р.
Veröffentlicht: (2000)

Генная терапия неизбежна, но успеем ли?
von: Кордюм, В.А.
Veröffentlicht: (1991)

Готова ли наука к построению экоустойчивого общества?
von: Заец, Р.В.
Veröffentlicht: (2004)

О сильно инертных подалгебрах бесконечномерной алгебры Ли
von: Петравчук, А.П.
Veröffentlicht: (2002)

Парадокс В. Леонтьева. А был ли он?
von: Чаленко, А.Ю.
Veröffentlicht: (2008)

Роды после кесарева сечения: оправдан ли риск?
von: Лупояд, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Возможна ли нравственность, не зависимая от религии?
von: Белокобыльский, А.В.
Veröffentlicht: (2011)

ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ УКРАИНЫ: СОХРАНИЛСЯ ЛИ ЗАПАС ПРОЧНОСТИ?
von: Khalatov, A.A.
Veröffentlicht: (2017)

Опасен ли для беременности вирус простого герпеса?
von: Лупояд, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

О грассмановом отображении подмногообразий в группах Ли
von: Петров, Е.В.
Veröffentlicht: (2008)

Есть ли в Украине государственно-политическая традиция?
von: Балушок, В.
Veröffentlicht: (1999)

Влияет ли «космическая погода» на общественную жизнь?
von: Владимирский, Б.М.
Veröffentlicht: (2005)

Группы Ли и автомодельные формы уравнений Прандтля
von: Авраменко, А.А.
Veröffentlicht: (1999)

Существует ли необходимость в гипотезе универсального генома?
von: Михеев, А.Н.
Veröffentlicht: (2014)

Можно ли управлять процессом синтеза детонационных наноалмазов?
von: Возняковский, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Компактные элементы и подгруппы Картана связных групп Ли
von: Кабенюк, М.И.
Veröffentlicht: (1990)

Принимал ли Роман Мстиславич посольство папы Иннокентия III
von: Толочко, А.
Veröffentlicht: (2003)

«Интеллигенты» и «профессионалы»: переживает ли кризис современная интеллигенция?
von: Прошин, Д.В.
Veröffentlicht: (2008)

Приветствие председателя Верховной Рады АРК Грача Л.И.
Veröffentlicht: (2002)