Buchumschlag

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста

The investigation of deposition kinetics of in-situ phosphorus doped polysilicon films has been performed. The adsorptive-kinetic model of in-situ phosphorus doped polysilicon deposition has been developed. The values of heterogeneous reaction constants and constants, which describe the desorption p...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Nalivaiko, O. Yu., Turtsevich, A. S.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Schlagworte:	поликристаллический кремний осаждение адсорбционно-кинетическая модель
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.50
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование адсорбционно-структурных и электрофизических характеристик модифицированных углеродных нанотрубок
von: Базалий, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Бигруппы Ли - Каца
von: Палюткин, В.Г.
Veröffentlicht: (2000)

Возродится ли социализм?
von: Золотов, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Фрактальна ли солнечная грануляция?
von: Карпинский, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (1998)

Правы ли наши обвинители?
von: Костомаров, М.І.
Veröffentlicht: (1990)

Стоит ли “дурить публику”?
von: Степаненко, В.
Veröffentlicht: (2001)

Имеет ли история смысл?
von: Потапенко, А.В.
Veröffentlicht: (2006)

Возможна ли профилактика катастроф?
von: Никитин, Н.Н., et al.
Veröffentlicht: (2009)

О сумме почти абелевой алгебры Ли и алгебры Ли, конечномерной над своимцешром
von: Петравчук, А.П.
Veröffentlicht: (1999)

О феноменологических моделях и прогнозе сейсмичности: оправдан ли пессимизм, обоснованы ли надежды
von: Шуман, В.Н.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Устарел ли способ наименьших квадратов?
von: Джунь, И.В.
Veröffentlicht: (2000)

Уничтожат ли человечество умные роботы?
von: Ященко, В.А
Veröffentlicht: (2017)

Эффективно ли внедрять сертификацию СМК ?
von: Момот, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Является ли снэк ядовитой рыбой?
von: Ушаков, В.С.
Veröffentlicht: (1974)

Может ли религия способствовать демократии?
von: Богданова, Е.
Veröffentlicht: (2007)

Был ли Игорь сыном Рюрика?
von: Пчелов, Е.В.
Veröffentlicht: (2011)

Реально ли непрецессионное движение равноденствия?
von: Дума, Д.П., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Дифференциальные структуры в супералгебре Ли
von: Далецький, Ю.Л., et al.
Veröffentlicht: (1996)

Дифференциальные структуры в супералгебре Ли
von: Далецкий, Ю.Л., et al.
Veröffentlicht: (1996)

Всегда ли обосновано абдоминальное родоразрешение
von: Голота, В.Я., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Вполне монотонные функции на полугруппах Ли
von: Миротин, А.Р.
Veröffentlicht: (2000)

Идет ли русский язык к аналитизму?
von: Воротников, Ю.Л.
Veröffentlicht: (2001)

Дискретность решеток замкнутых подгрупп групп Ли
von: Кабенюк, М.И.
Veröffentlicht: (1985)

О представлениях алгебр Ли ступенчатых матриц
von: Ли Сун Ген
Veröffentlicht: (1987)

Генная терапия неизбежна, но успеем ли?
von: Кордюм, В.А.
Veröffentlicht: (1991)

Преодолеваемы ли апории Зенона средствами математики?
von: Сафонова, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Читал ли Гоголь Шекспира в подлиннике?
von: Евдокимов, А.
Veröffentlicht: (2009)

Об алгебрах Ли с нильпотентным радикалом
von: Ли Сун Ген
Veröffentlicht: (1986)

Спектральные разложения некоторых представлений групп Ли
von: Виленкин, Н.Я., et al.
Veröffentlicht: (1990)

Нормальность в пространстве подгрупп группы Ли
von: Панасюк, С.П.
Veröffentlicht: (1990)

Может ли Украина иметь ядерное оружие?
von: Шмаров, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Метризуемость в пространстве подгрупп группы Ли
von: Панасюк, С.П.
Veröffentlicht: (1990)

Существует ли семейство периодических комет Сатурна
von: Гулиев, А.С.
Veröffentlicht: (1992)

ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ УКРАИНЫ: СОХРАНИЛСЯ ЛИ ЗАПАС ПРОЧНОСТИ?
von: Khalatov, A.A.
Veröffentlicht: (2017)

Победит ли Барак Обама в 2012 году?
von: Докторов, Б.
Veröffentlicht: (2011)

Есть ли в Украине государственно-политическая традиция?
von: Балушок, В.
Veröffentlicht: (1999)

Группы Ли и автомодельные формы уравнений Прандтля
von: Авраменко, А.А.
Veröffentlicht: (1999)