Оптимизация конструкции мембранных датчиков
The possibility of reducing the power consumed by the gas concentration sensor through the introduction of cracks in the structure of the multi-layered membrane has been considered. The conduction of etching of the peaks of pores in concentrated orthophosphoric acid for increasing of the effected ar...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Authors: | Rubcevich, I. I., Wysotsky, V. B., Kovalchuk, N. S. |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.5.16 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipmentSimilar Items
-
Оптимизация конструкции мембранных датчиков
by: Рубцевич, И.И., et al.
Published: (2009) -
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
by: Rubtsevich, I. I., et al.
Published: (2011) -
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
by: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Published: (2012) -
Поглотители СВЧ-энергии с высокой теплопроводностью на основе AlN и SiC с добавками молибдена
by: Chasnyk, V. I., et al.
Published: (2014) -
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
by: Iatsunskyi, I. R.
Published: (2013)