Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора
A relationship between a thin-film resistor resistance error and mask misalignment with a substrate conductive layer at the second photolithography stage for a thin-film resistor design in which the resistive element does not overlap conductor pads is studied. The error value is at a maximum when th...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.5.42 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-641 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-6412025-11-30T21:25:37Z Study of thin-film resistor resistance error Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора Spirin, V. G. thin-film resistor contact area of overlap тонкопленочный резистор контактная площадка перекрытия A relationship between a thin-film resistor resistance error and mask misalignment with a substrate conductive layer at the second photolithography stage for a thin-film resistor design in which the resistive element does not overlap conductor pads is studied. The error value is at a maximum when the resistor aspect ratio is equal to 1.0. Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009-10-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.5.42 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2009): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 42-44 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2009): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 42-44 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.5.42/582 Copyright (c) 2009 Spirin V. G. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-11-30T21:25:37Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
тонкопленочный резистор контактная площадка перекрытия |
| spellingShingle |
тонкопленочный резистор контактная площадка перекрытия Spirin, V. G. Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора |
| topic_facet |
thin-film resistor contact area of overlap тонкопленочный резистор контактная площадка перекрытия |
| format |
Article |
| author |
Spirin, V. G. |
| author_facet |
Spirin, V. G. |
| author_sort |
Spirin, V. G. |
| title |
Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора |
| title_short |
Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора |
| title_full |
Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора |
| title_fullStr |
Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора |
| title_full_unstemmed |
Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора |
| title_sort |
исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора |
| title_alt |
Study of thin-film resistor resistance error |
| description |
A relationship between a thin-film resistor resistance error and mask misalignment with a substrate conductive layer at the second photolithography stage for a thin-film resistor design in which the resistive element does not overlap conductor pads is studied. The error value is at a maximum when the resistor aspect ratio is equal to 1.0. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2009 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.5.42 |
| work_keys_str_mv |
AT spirinvg studyofthinfilmresistorresistanceerror AT spirinvg issledovaniepogrešnostisoprotivleniâtonkoplenočnogorezistora |
| first_indexed |
2025-12-02T15:19:27Z |
| last_indexed |
2025-12-02T15:19:27Z |
| _version_ |
1850410289124605952 |