Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors'...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.4.27 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-649 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-6492025-11-30T21:14:34Z Primary converters microsensor speedups and pressures on diamond materials Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах Altuchov, A. A. Mityagin, A. Yu. Moguchev, A. V. Mityagina, A. B. primary converter microsensor pressure acceleration diamond material первичный преобразователь микродатчик давление ускорение алмазный материал The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors' key parameters. The calculated value of capacity 11 pF for primary transducers of the gauge of acceleration, well coincides with experimental values. The working range of accelerations from 100 to 1800 m/s2, thus capacity almost linearly varies in a range 11—20,5 pF. For primary transducers of the pressure sensor the calculated value of capacity 7 pF, also well coincides with experimental values. The working range of pressure measurements from 1 to 19,5 kPa, thus capacity almost linearly varies in a range 6,4—11,7 pF. Представлены конструкция, технология изготовления, схема измерения параметров первичных преобразователей (ПП) микродатчиков ускорения и давления с использованием алмазных материалов. Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанное значение емкости 11 пФ для ПП датчика ускорения хорошо согласуется с экспериментальными значениями. Рабочий диапазон измерения ускорения — от 100 до 1800 м/с2, при этом емкость практически линейно меняется в диапазоне 11—20,5 пФ. Для ПП датчика давления рассчитанное значение емкости 7 пФ, также соответствует экспериментальным значениям. Рабочий диапазон измерения давления — от 1 до 19,5 кПа, при этом емкость практически линейно меняется в диапазоне 6,4—11,7 пФ. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009-08-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.4.27 Technology and design in electronic equipment; No. 4 (2009): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 27-29 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 4 (2009): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 27-29 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.4.27/591 Copyright (c) 2009 Altuchov A. A., Mityagin A. Yu., Moguchev A. V., Mityagina A. B. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-11-30T21:14:34Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
первичный преобразователь микродатчик давление ускорение алмазный материал |
| spellingShingle |
первичный преобразователь микродатчик давление ускорение алмазный материал Altuchov, A. A. Mityagin, A. Yu. Moguchev, A. V. Mityagina, A. B. Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| topic_facet |
primary converter microsensor pressure acceleration diamond material первичный преобразователь микродатчик давление ускорение алмазный материал |
| format |
Article |
| author |
Altuchov, A. A. Mityagin, A. Yu. Moguchev, A. V. Mityagina, A. B. |
| author_facet |
Altuchov, A. A. Mityagin, A. Yu. Moguchev, A. V. Mityagina, A. B. |
| author_sort |
Altuchov, A. A. |
| title |
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_short |
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_full |
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_fullStr |
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_full_unstemmed |
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_sort |
первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_alt |
Primary converters microsensor speedups and pressures on diamond materials |
| description |
The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors' key parameters. The calculated value of capacity 11 pF for primary transducers of the gauge of acceleration, well coincides with experimental values. The working range of accelerations from 100 to 1800 m/s2, thus capacity almost linearly varies in a range 11—20,5 pF. For primary transducers of the pressure sensor the calculated value of capacity 7 pF, also well coincides with experimental values. The working range of pressure measurements from 1 to 19,5 kPa, thus capacity almost linearly varies in a range 6,4—11,7 pF. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2009 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.4.27 |
| work_keys_str_mv |
AT altuchovaa primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials AT mityaginayu primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials AT moguchevav primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials AT mityaginaab primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials AT altuchovaa pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah AT mityaginayu pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah AT moguchevav pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah AT mityaginaab pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah |
| first_indexed |
2025-12-02T15:19:29Z |
| last_indexed |
2025-12-02T15:19:29Z |
| _version_ |
1850410290809667584 |