Новий підхід до підвищення чутливості газового сенсора на основі плівок нанокристалічного карбіду кремнію

• Date: 2021
• Main Authors: Semenov, Alexander, Lubov, Denis
• Format: Article
• Language: English
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2021
• Subjects: нанокристалічні плівки SiC; газовий сенсор; чутливість до газу; електронна провідність; діркова провідність
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2021.5-6.11
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

It was shown the possibility of increasing the sensitivity of a gas sensor based on nanocrystalline SiC films by using a scheme of a two-component sensing element, one of which is an n-nc-SiC film with electronic conductivity, and the second is an p-nc-SiC film with hole conductivity. It is shown th...