Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage.
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)
Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
Исследование термических свойств кремнийорганических полиэфируретанов
за авторством: Запунная, К.В., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Запунная, К.В., та інші
Опубліковано: (1983)
Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
О механизме формирования рентгеноаморфной структуры плёнок сплавов Ni—W
за авторством: Точицкий, Т.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Точицкий, Т.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Структура и свойства кислородосодержащих плёнок диборида магния (MgB₂)
за авторством: Прихна, Т.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Прихна, Т.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние атмосферного кислорода на состав и кинетические свойства тонких плёнок висмута
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)
Оптимизация аппаратно-программного обеспечения для автоматизации спектрофотометра СФ-20
за авторством: Vorobets, A. I., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Vorobets, A. I., та інші
Опубліковано: (2006)
Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oᵧ
за авторством: Samoylovich, M. I., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Samoylovich, M. I., та інші
Опубліковано: (2007)
Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)
Низкотемпературная модификация медных пленок под воздействием атомарного водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2006)
Воздействие дискретно-импульсного ввода энергии на свойства кремнийорганических сорбентов
за авторством: Грабова, Т.Л.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Грабова, Т.Л.
Опубліковано: (2004)
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПОВЫШЕНИЯ СКОРОСТИ НАРАСТАНИЯ РАЗРЯДНЫХ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ ПРИ ОГРАНИЧЕНИИ ИХ МАКСИМАЛЬНЫХ ЗНАЧЕНИЙ
за авторством: Щерба, A.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Щерба, A.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)
МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МОЩНЫХ РАЗРЯДНЫХ ИМПУЛЬСОВ С ПОВЫШЕННОЙ СКОРОСТЬЮ НАРАСТАНИЯ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
за авторством: Супруновская, Н.И.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Супруновская, Н.И.
Опубліковано: (2012)
Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)
Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
за авторством: Kasimov, F. D., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Kasimov, F. D., та інші
Опубліковано: (2009)
Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)
Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)
Накопление фосфорорганических пестицидов у теплокровных животных после химических обработок леса
за авторством: Федоренко, A.П., та інші
Опубліковано: (1981)
за авторством: Федоренко, A.П., та інші
Опубліковано: (1981)
Изменение механических свойств и структуры объемных металлических стекол на основе циркония под действием высокочастотной обработки
за авторством: Бакай, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Бакай, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
СТАЦИОНАРНЫЕ И ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ИЗОЛЯЦИИ НА ЖИЛУ СВЕРХВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КАБЕЛЕЙ
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
АПЕРИОДИЧЕСКИЕ И КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ ПРОЦЕССЫ РАЗРЯДА КОНДЕНСАТОРА ПРИ ПРИНУДИТЕЛЬНОМ ОГРАНИЧЕНИИ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
за авторством: Щерба , А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Щерба , А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)
Морфологія та оптичні властивості наноструктур, які формуються у нестехіометричних кристалах СdI2
за авторством: Bolesta, I. M., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Bolesta, I. M., та інші
Опубліковано: (2018)
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
Исследование влияния химических обработок на физико-химические свойства углеродных нанотрубок
за авторством: Богатырева, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Богатырева, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние низкотемпературных обработок на показатель прочности поликристаллов синтетического алмаза карбонадо
за авторством: Хайдаров, Б.К.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Хайдаров, Б.К.
Опубліковано: (2016)