Buchumschlag

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage.

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Schlagworte:	струкрура пленки скорость травления спектр пропускания
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Venger, E. F., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Изменение потенциальных барьеров низкоразмерных тонких пленок p-CdTe в условиях внешних воздействий
von: Алимов, Н.Э., et al.
Veröffentlicht: (2016)

ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПОВЫШЕНИЯ СКОРОСТИ НАРАСТАНИЯ РАЗРЯДНЫХ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ ПРИ ОГРАНИЧЕНИИ ИХ МАКСИМАЛЬНЫХ ЗНАЧЕНИЙ
von: Щерба, A.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МОЩНЫХ РАЗРЯДНЫХ ИМПУЛЬСОВ С ПОВЫШЕННОЙ СКОРОСТЬЮ НАРАСТАНИЯ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
von: Супруновская, Н.И.
Veröffentlicht: (2012)

Изменение напряженно-деформированного состояния после электродинамической обработки сварных соединений алюминиевого сплава АМг6
von: Лобанов, Л.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Изменение содержания ⁹⁰Sr в компонентах экосистемы севастопольских бухт после аварии на Чернобыльской АЭС
von: Мирзоева, Н.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Коммутационные управляемые устройства на p–i–n-диодах миллиметрового диапазона длин волн
von: Karushkin, N. F., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
von: Kasimov, F. D., et al.
Veröffentlicht: (2009)

СТАЦИОНАРНЫЕ И ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ИЗОЛЯЦИИ НА ЖИЛУ СВЕРХВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КАБЕЛЕЙ
von: Щерба, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

АПЕРИОДИЧЕСКИЕ И КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ ПРОЦЕССЫ РАЗРЯДА КОНДЕНСАТОРА ПРИ ПРИНУДИТЕЛЬНОМ ОГРАНИЧЕНИИ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
von: Щерба , А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Дослідження структурних властивостей халькогенідних стекол As₂S₃, легованих сріблом
von: Ревуцька, Л.О., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Структура и свойства нового высокопрочного титанового сплава Т120, полученного способом ЭЛП после деформационной и термической обработки
von: Ахонин, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

РОЗРАХУНОК ПЕРІОДИЧНОГО МАГНІТНОГО ПОЛЯ У ФЕРОМАГНІТНОМУ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОМУ СЕРЕДОВИЩІ ТА ГАРМОНІК У СТРУМІ ЖИВЛЕННЯ МЕТОДОМ ГАРМОНІЧНОГО БАЛАНСУ СУМІСНО З МЕТОДОМ СКІНЧЕННИХ ЕЛЕМЕНТІВІ.
von: Петухов, І.С.
Veröffentlicht: (2017)

ТОГУ-ВА-ВОГУ КВАЗИ-СТОХАСТИЧНОГО ФІТОПЛАНКТОНУ В ГАЛИЛЕЙСЬКОМУ МОРI
von: Каменiр, Ю.
Veröffentlicht: (2023)

Изменение морфологической структуры конденсированных пленок Sn, Bi и Sn-Bi на С-подложке при плавлении ↔ кристаллизации
von: Гладких, Н.Т., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ПУТИ ПОВЫШЕНИЯ СКОРОСТИ НАРАСТАНИЯ ТОКА В НАГРУЗКЕ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК
von: Щерба, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
von: Kondrik, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
von: Gorban, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Быстрое отслеживание частоты
von: Prokopenko, I. G., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Трещиностойкость технического и оптического стекол: скалывание кромок образцов
von: Гогоци, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

СПЕКТРАЛЬНИЙ АНАЛІЗ СТРУМУ В ОДНОФАЗНОМУ НАПІВМОСТОВОМУ ІНВЕРТОРІ В ПРОСТОРІ ДВОХ ЗМІННИХ
von: Коротеєв , І.Є.
Veröffentlicht: (2015)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
von: Golishnikov, А. А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Исследования анизотропной термической и радиационно-термической ползучести оболочечных труб из сплава Zr-1%Nb
von: Рогозянов, А.Я., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Низкотемпературные упругие свойства объёмных металлических стёкол на основе циркония
von: Бакай, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

СКОРОСТЬ ВРАЩЕНИЯ ЖИДКОГО МЕТАЛЛА В КРИСТАЛЛИЗАТОРЕ С СИНХРОННЫМ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫМ ПЕРЕМЕШИВАТЕЛЕМ
von: Виштак , Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Исследование процесса термической деполяризации сегнетокерамики (Pb,Sr)(Zr,Ti)O3
von: Kuzenko, D. V., et al.
Veröffentlicht: (2011)

ФАЗОВЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ПАРАМЕТРОВ ВИБРАЦИЙ С РАСШИРЕННЫМ ЧАСТОТНЫМ ДИАПАЗОНОМ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

ДОСЛІДЖЕННЯ СПЕКТРУ ВХІДНОГО СТРУМУ ВИСОКОЧАСТОТНИХ КОРЕКТОРІВ КОЕФІЦІЄНТА ПОТУЖНОСТІ
von: Рогаль, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Якість технології мобільного зв'язку LTE 4G
von: Утрерас, А. Ю., et al.
Veröffentlicht: (2015)

ВПЛИВ СКЛАДУ ЛУГОСТІЙКИХ НІТРИДНИХ СТЕКОЛ НА ЇХ СТРУКТУРУ ТА ВЛАСТИВОСТІ
von: Пащенко, Євген, et al.
Veröffentlicht: (2024)

Особенности активированной вакуумной химико-термической обработки материалов
von: Змий, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Разработка новой высокодинамичной машины для термической резки
von: Верещаго, Е.Н., et al.
Veröffentlicht: (2004)

ОПТИЧНІ МЕТОДИ АНАЛІЗУ ФІЗІОЛОГІЧНОГО СТАНУ РОСЛИН ДЛЯ ЗАДАЧ СІЛЬСЬКОГО ГОСПОДАРСТВА ТА ЕКОЛОГІЧНОГО МОНІТОРИНГУ
von: Тарновський, М. Г., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Влияние стехиометрии диоксида циркония на морфологию нанесенных на его поверх-ность тонких пленок благородных металлов после отжига
von: Дуров, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
von: Ivanchykou, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Исследование разрушения стекол, ситаллов и их наносоединений с использованием метода акустической эмиссии
von: Стрижало, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Акустооптические свойства стекол GexS100–x и акустооптический модулятор на их основе
von: Блецкан, Д.И., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Акустооптические свойства стекол GexS100–x и акустооптический модулятор на их основе
von: Bletskan, D. I., et al.
Veröffentlicht: (2014)

On the Restrictions of Weakly Demicompact Operators and Generalized Fredholm Theory
von: Kchaou, Omaima, et al.
Veröffentlicht: (2026)