Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage.
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
О механизме формирования рентгеноаморфной структуры плёнок сплавов Ni—W
за авторством: Точицкий, Т.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Точицкий, Т.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние атмосферного кислорода на состав и кинетические свойства тонких плёнок висмута
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)
Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oᵧ
за авторством: Samoylovich, M. I., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Samoylovich, M. I., та інші
Опубліковано: (2007)
Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)
Воздействие дискретно-импульсного ввода энергии на свойства кремнийорганических сорбентов
за авторством: Грабова, Т.Л.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Грабова, Т.Л.
Опубліковано: (2004)
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)
Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПОВЫШЕНИЯ СКОРОСТИ НАРАСТАНИЯ РАЗРЯДНЫХ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ ПРИ ОГРАНИЧЕНИИ ИХ МАКСИМАЛЬНЫХ ЗНАЧЕНИЙ
за авторством: Щерба, A.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Щерба, A.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)
Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)
МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МОЩНЫХ РАЗРЯДНЫХ ИМПУЛЬСОВ С ПОВЫШЕННОЙ СКОРОСТЬЮ НАРАСТАНИЯ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
за авторством: Супруновская, Н.И.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Супруновская, Н.И.
Опубліковано: (2012)
Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
за авторством: Kasimov, F. D., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Kasimov, F. D., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование влияния химических обработок на физико-химические свойства углеродных нанотрубок
за авторством: Богатырева, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Богатырева, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)
Изменение механических свойств и структуры объемных металлических стекол на основе циркония под действием высокочастотной обработки
за авторством: Бакай, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Бакай, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)
Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)
СТАЦИОНАРНЫЕ И ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ИЗОЛЯЦИИ НА ЖИЛУ СВЕРХВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КАБЕЛЕЙ
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
АПЕРИОДИЧЕСКИЕ И КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ ПРОЦЕССЫ РАЗРЯДА КОНДЕНСАТОРА ПРИ ПРИНУДИТЕЛЬНОМ ОГРАНИЧЕНИИ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
за авторством: Щерба , А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Щерба , А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kondrik, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)
Дослідження взаємодії цинку(ІІ) з макромолекулярними компонентами склоподібного тіла методами УФ-спектроскопії та динамічного розсіювання світла
за авторством: Stepanyuk, K. O., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Stepanyuk, K. O., та інші
Опубліковано: (2019)
ТОГУ-ВА-ВОГУ КВАЗИ-СТОХАСТИЧНОГО ФІТОПЛАНКТОНУ В ГАЛИЛЕЙСЬКОМУ МОРI
за авторством: Каменiр, Ю.
Опубліковано: (2023)
за авторством: Каменiр, Ю.
Опубліковано: (2023)
РОЗРАХУНОК ПЕРІОДИЧНОГО МАГНІТНОГО ПОЛЯ У ФЕРОМАГНІТНОМУ ЕЛЕКТРОПРОВІДНОМУ СЕРЕДОВИЩІ ТА ГАРМОНІК У СТРУМІ ЖИВЛЕННЯ МЕТОДОМ ГАРМОНІЧНОГО БАЛАНСУ СУМІСНО З МЕТОДОМ СКІНЧЕННИХ ЕЛЕМЕНТІВІ.
за авторством: Петухов, І.С.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Петухов, І.С.
Опубліковано: (2017)
Коммутационные управляемые устройства на p–i–n-диодах миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Karushkin, N. F., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Karushkin, N. F., та інші
Опубліковано: (2016)
Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)
Влияние различных физико-химических обработок на состояние поверхности порошков кубического нитрида бора
за авторством: Новиков, Н.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Новиков, Н.В., та інші
Опубліковано: (2007)
СПЕКТРАЛЬНИЙ АНАЛІЗ СТРУМУ В ОДНОФАЗНОМУ НАПІВМОСТОВОМУ ІНВЕРТОРІ В ПРОСТОРІ ДВОХ ЗМІННИХ
за авторством: Коротеєв , І.Є.
Опубліковано: (2015)
за авторством: Коротеєв , І.Є.
Опубліковано: (2015)
Быстрое отслеживание частоты
за авторством: Prokopenko, I. G., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Prokopenko, I. G., та інші
Опубліковано: (2013)
ПУТИ ПОВЫШЕНИЯ СКОРОСТИ НАРАСТАНИЯ ТОКА В НАГРУЗКЕ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Щерба, А.А., та інші
Опубліковано: (2017)