Buchumschlag

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

It has been established that the quality of the film after various technological operations in the manufacture of ICs can be assessed by changes in the film's transmission spectrum. This makes it possible to eliminate IC defects caused by metal layer breakage.

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Ivanchykau, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B, Plebanovich, V. I.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Schlagworte:	струкрура пленки скорость травления спектр пропускания
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.2.46
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
von: Semyonova, S. E., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Venger, E. F., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Исследование термических свойств кремнийорганических полиэфируретанов
von: Запунная, К.В., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
von: Макогон, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

О механизме формирования рентгеноаморфной структуры плёнок сплавов Ni—W
von: Точицкий, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Структура и свойства кислородосодержащих плёнок диборида магния (MgB₂)
von: Прихна, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
von: Заблудовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние атмосферного кислорода на состав и кинетические свойства тонких плёнок висмута
von: Добротворская, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
von: Макогон, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Оптимизация аппаратно-программного обеспечения для автоматизации спектрофотометра СФ-20
von: Vorobets, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oᵧ
von: Samoylovich, M. I., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
von: Баран, Л.В.
Veröffentlicht: (2011)

Низкотемпературная модификация медных пленок под воздействием атомарного водорода
von: Zhavzharov, E. L., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Воздействие дискретно-импульсного ввода энергии на свойства кремнийорганических сорбентов
von: Грабова, Т.Л.
Veröffentlicht: (2004)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
von: Куликовский, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПОВЫШЕНИЯ СКОРОСТИ НАРАСТАНИЯ РАЗРЯДНЫХ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ ПРИ ОГРАНИЧЕНИИ ИХ МАКСИМАЛЬНЫХ ЗНАЧЕНИЙ
von: Щерба, A.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
von: Najafov, B. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
von: Порада, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
von: Светличный, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
von: Gasparov, V.A.
Veröffentlicht: (2011)

МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МОЩНЫХ РАЗРЯДНЫХ ИМПУЛЬСОВ С ПОВЫШЕННОЙ СКОРОСТЬЮ НАРАСТАНИЯ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
von: Супруновская, Н.И.
Veröffentlicht: (2012)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
von: Bobrenko, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
von: Kasimov, F. D., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
von: Ковалев, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
von: Марченков, В.В.
Veröffentlicht: (2011)

Накопление фосфорорганических пестицидов у теплокровных животных после химических обработок леса
von: Федоренко, A.П., et al.
Veröffentlicht: (1981)

Изменение механических свойств и структуры объемных металлических стекол на основе циркония под действием высокочастотной обработки
von: Бакай, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
von: Kondrik, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2012)

СТАЦИОНАРНЫЕ И ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИМЕРНОЙ ИЗОЛЯЦИИ НА ЖИЛУ СВЕРХВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КАБЕЛЕЙ
von: Щерба, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

АПЕРИОДИЧЕСКИЕ И КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ ПРОЦЕССЫ РАЗРЯДА КОНДЕНСАТОРА ПРИ ПРИНУДИТЕЛЬНОМ ОГРАНИЧЕНИИ ДЛИТЕЛЬНОСТИ ТОКОВ В НАГРУЗКЕ
von: Щерба , А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
von: Gorban, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Морфологія та оптичні властивості наноструктур, які формуються у нестехіометричних кристалах СdI2
von: Bolesta, I. M., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Исследование влияния химических обработок на физико-химические свойства углеродных нанотрубок
von: Богатырева, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние низкотемпературных обработок на показатель прочности поликристаллов синтетического алмаза карбонадо
von: Хайдаров, Б.К.
Veröffentlicht: (2016)