Испаритель для термического напыления материалов в вакууме

• Datum: 2008
• Hauptverfasser: Bosyi, V. I., Kokhan, V. P., Rakhmanov, N. M.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
• Schlagworte: напыление; испаритель; ленточный нагреватель; тигель; распределение температуры
• Online Zugang: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.56
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

The design of an evaporator intended for material deposition in vacuum-coating systems is considered, which has been successfully employed in the technological process of fabricating gallium arsenide transistors, diodes, and monolithic circuits.