Зображення обкладинки

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния

A model of defect formation in the form of spots on the surface of polycrystalline silicon during the processing of semiconductor wafers in an etchant based on hydrofluoric acid is considered, as well as a model of defect removal in chemical solutions. The influence of centrifuge rotation speed duri...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Ivanchykou, A. E., Kisel, A. М., Medvedeva, А. V., Plebanovich, B. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2008
Теми:	производство полупроводниковых приборов химочистка дефекты в виде пятен
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.1.42
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2011)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)

ЭЛЕКТРОМАГНИТНО-АКУСТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ТОЛЩИНОМЕТРИИ ФЕРРОМАГНИТНЫХ МЕТАЛЛОИЗДЕЛИЙ БЕЗ УДАЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ
за авторством: Мигущенко, Р.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Логические методы расчета надежности
за авторством: Levin, V. I.
Опубліковано: (2010)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

ДИАГНОСТИКА СКРЫТЫХ ДЕФЕКТОВ КОРОТКОЗАМКНУТОЙ ОБМОТКИ РОТОРА АСИНХРОННОГО ДВИГАТЕЛЯ ИНДУКЦИОННЫМ МЕТОДОМ
за авторством: Васьковский, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Методы минимизации энергопотребления при проектировании КМОП БИС
за авторством: Belous, A. I., та інші
Опубліковано: (2008)

МЕТОДЫ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИМПУЛЬСНОГО ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ПЕРЕМЕННОГО НАПРЯЖЕНИЯ
за авторством: Голубев, В.В.
Опубліковано: (2013)

Методы получения РСА-изображений захороненных объектов для георадара
за авторством: Unal, M., та інші
Опубліковано: (2013)

Методы и средства компьютерного проектирования в сети Интернет
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2008)

МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОСТАВЛЯЮЩИХ ПОЛНОЙ МОЩНОСТИ В СИСТЕМАХ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ТЯГИ
за авторством: Костин, Н.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством: Pilipenko, V. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Методы формирования алгоритмов для расчета перестраиваемых коаксиальных полосовых фильтров СВЧ
за авторством: Parfilov, A. A.
Опубліковано: (2012)

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
за авторством: Makara, V. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Методы моделирования первичных преобразователей и алгоритмы инверсной обработки сигналов акустической эмиссии
за авторством: Сагатов, Міразіз Варісович, та інші
Опубліковано: (2015)

МЕТОДЫ СНИЖЕНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ ВОЗДУШНЫХ ЛИНИЙ ЭЛЕКТРОПЕРЕДАЧИ ЗА ПРЕДЕЛАМИ ОХРАННЫХ ЗОН
за авторством: Пелевин, Д.Е.
Опубліковано: (2014)

МАГНИТНОЕ ПОЛЕ ЛИНИЙ ЭЛЕКТРОПЕРЕДАЧИ И МЕТОДЫ ЕГО СНИЖЕНИЯ ДО БЕЗОПАСНОГО УРОВНЯ
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2013)

МАГНИТНОЕ ПОЛЕ ЛИНИЙ ЭЛЕКТРОПЕРЕДАЧИ И МЕТОДЫ ЕГО СНИЖЕНИЯ ДО БЕЗОПАСНОГО УРОВНЯ
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Методы глобальной оптимизации на перестановочном многограннике в комбинаторных задачах на вершинно расположенных множествах
за авторством: Пичугина, Оксана Сергеевна, та інші
Опубліковано: (2016)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)

Синтез 6-R-2,2,4-триметил-1,2-дигідрохінолін- і 6-R-4-R’-2,2,4-триметил-1,2,3,4-тетрагідрохінолін-8-карбонових кислот – структурних аналогів helquinoline
за авторством: Medvedeva, S. M., та інші
Опубліковано: (2015)

Синтез 4,4,6-триметил-8-R-4Н-піроло[3,2,1-ij]хінолін-1,2-діонів
за авторством: Lescheva, E. V., та інші
Опубліковано: (2014)

ДО ПРОБЛЕМИ ПОШУКІВ ПОКЛАДІВ ВУГЛЕВОДНІВ НА МОНОКЛІНАЛЬНИХ СХИЛАХ ПРОГИНІВ
за авторством: Demyanenko, I., та інші
Опубліковано: (2015)

Цифровой метод измерения коэффициента направленного отражения поверхности
за авторством: Ivanchenko, I. A., та інші
Опубліковано: (2010)

Метод защиты поверхности расплавленного припоя от окисления
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2010)

Интенсивность теплоотдачи при кипении на поверхности малого размера
за авторством: Alekseik, O. S., та інші
Опубліковано: (2012)

ОСОБЕННОСТИ КРИЗИСА ТЕПЛООБМЕНА НА ОБОГРЕВАЕМОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ КИПЕНИИ НАНОЖИДКОСТИ
за авторством: Kovetskaya, M.M.
Опубліковано: (2018)

ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТИ ЭТАЛОННОЙ КОНДУКТОМЕТРИЧЕСКОЙ ЯЧЕЙКИ, ОБУСЛОВЛЕННОЙ НЕЭКВИПОТЕНЦИАЛЬНОСТЬЮ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРОДОВ
за авторством: Глухенький, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Оценка параметров окислительных реакций при плазменном или лазерном нагреве поверхности
за авторством: Диюк, Л. М., та інші
Опубліковано: (2018)

Влияние морфологии поверхности подложек ZnSe:Te на их оптические свойства
за авторством: Makhniy, V. P., та інші
Опубліковано: (2016)

РЕШЕНИЕ ЗАДАЧИ ПРОДОЛЖЕНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ С ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ПОМОЩИ ФУНКЦИИ ГРИНА
за авторством: Коновалов, О.Я., та інші
Опубліковано: (2016)

О ГРАНИЧНЫХ УСЛОВИЯХ ДЛЯ НАПРЯЖЕННОСТИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ НА ПОВЕРХНОСТИ ДВИЖУЩЕГОСЯ ПРОВОДЯЩЕГО ТЕЛА
за авторством: Михайлов , В.М.
Опубліковано: (2023)

Use of Computer Technology in Modernization of Head Covers for ПЛ 20-В-500 Kaplan Turbines
за авторством: Strelnikova, E. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Use of Computer Technology in Modernization of Head Covers for ПЛ 20-В-500 Kaplan Turbines
за авторством: Strelnikova, E. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Лазерная абляция и фотостимулированная пассивация поверхности кристаллов Cd1–хZnхTe
за авторством: Zagoruiko, Yu. A., та інші
Опубліковано: (2011)

ИНФОРМАЦИОННО–ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДЛЯ ОЦЕНКИ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ ФЕРРОМАГНИТНЫХ МЕТАЛЛОИЗДЕЛИЙ УЛЬТРАЗВУКОВЫМИ ВОЛНАМИ РЭЛЕЯ
за авторством: Мигущенко, Р.П., та інші
Опубліковано: (2017)

Межслоевые примесные нанокомпозиты поверхности (0001) кристалла Bi2Te3, легированного цинком и селеном
за авторством: Alieva, A. P., та інші
Опубліковано: (2011)