Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
A model of defect formation in the form of spots on the surface of polycrystalline silicon during the processing of semiconductor wafers in an etchant based on hydrofluoric acid is considered, as well as a model of defect removal in chemical solutions. The influence of centrifuge rotation speed duri...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.1.42 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Анализ пространственных структур, возникающих при эвтектической кристаллизации и ячеистом распаде пересыщенных твёрдых растворов
за авторством: Иванов, М.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Иванов, М.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
Некоторые соображения об образовании дефектов в кристаллах на атомном уровне
за авторством: Засимчук, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Засимчук, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
Малошумящие субмиллиметровые системы когерентного приема (cовременное состояние и тенденции развития)
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2006)
Исследование и оптимизация бокового катода для магнетронов с холодным вторично-эмиссионным катодом
за авторством: Автомонов, Н.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Автомонов, Н.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Становление и развитие квантовой радиофизики и квантовой электроники СВЧ диапазона в Украине
за авторством: Еру, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Еру, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Сверхмалошумящие криогенно охлаждаемые усилители на псевдоморфных гетероструктурных полевых транзисторах
за авторством: Королев, А.М., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Королев, А.М., та інші
Опубліковано: (2007)
Твердотельные источники гетеродинного излучения субмиллиметрового диапазона
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Еру, И.И.
Опубліковано: (2010)
Диоды Ганна на основе варизонного Alx(z)Ga1-x(z)As c различными катодными контактами
за авторством: Стороженко, И.П.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Стороженко, И.П.
Опубліковано: (2006)
GaAs диоды Ганна с AlAs-GaAs-AlAs резонансно туннельным катодом
за авторством: Стороженко, И.П., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Стороженко, И.П., та інші
Опубліковано: (2006)
Управление контурным КПД не p-видных магнетронов внесением неоднородностей в колебательную систему
за авторством: Фурсова, Е.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Фурсова, Е.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Нелинейный анализ смесителей миллиметрового диапазона на диодах с барьером Шоттки
за авторством: Подъячий, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Подъячий, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние металлического контакта к запорному InxGa1-xAs-GaAs-гетерокатоду на работу GaAs-диодов Ганна
за авторством: Аркуша, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Аркуша, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Твердотельный СВЧ генератор на основе волноводно-коаксиального резонатора
за авторством: Макеев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Макеев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
Контактное взаимодействие и смачивание поликристаллического кремния металлическими расплавами
за авторством: Красовский, В.П., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Красовский, В.П., та інші
Опубліковано: (2018)
Электрические свойства межзеренных границ в объеме поликристаллического кремния
за авторством: Олимов, Л.О., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Олимов, Л.О., та інші
Опубліковано: (2013)
Формирование покрытий методом лазерной наплавки порошков титана и карбида кремния на поверхность малоуглеродистой стали
за авторством: Тарасова, Т.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Тарасова, Т.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Неравновесные процессы и сегнетоэлектрический фазовый переход в кристаллах PbGeTe(Ga)
за авторством: Акимов, Б.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Акимов, Б.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Statistical strained-tetrahedron model of local ternary zinc blende crystal structures
за авторством: Robouch, B.V., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Robouch, B.V., та інші
Опубліковано: (2004)
Ультразвуковые исследования фазового перехода в ZnSe:Ni
за авторством: Гудков, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Гудков, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Вэйвлет анализ и его применение в туннельной и рентгеновской спектроскопии
за авторством: Чукалина, М.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Чукалина, М.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Динамика фазового перехода диэлектрик–проводник, инициированного высоким давлением в галогенидах аммония
за авторством: Тихомирова, Г.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Тихомирова, Г.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние радиационного облучения на характеристики солнечных элементов из поликристаллического кремния
за авторством: Завадский, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Завадский, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
за авторством: Джавадов, Н.Г.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Джавадов, Н.Г.
Опубліковано: (2005)
Исследование собственных и примесных точечных дефектов в сапфировых подложках люминесцентными методами
за авторством: Bletskan, D. I., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Bletskan, D. I., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние поверхностно-активных веществ на образование фосфина при травлении стали
за авторством: Вдовенко, И.Д., та інші
Опубліковано: (1984)
за авторством: Вдовенко, И.Д., та інші
Опубліковано: (1984)
Процесс формовки пластин поликристаллического кремния из порошкового сырья и анализ примесного состава их поверхности
за авторством: Алиев, Р., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Алиев, Р., та інші
Опубліковано: (2011)
Тонкопленочные элементы кремниевых диодов Шоттки для высокотемпературного микромонтажа
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2007)
Переключение тока и напряжения при нагреве беспереходного поликристаллического кремния, легированного щелочными металлами в области межзеренных границ
за авторством: Олимов, Л.О., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Олимов, Л.О., та інші
Опубліковано: (2014)
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)
Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Роль межузельных атомов кремния в конфигурационной перестройке дивакансий в кластерах дефектов
за авторством: Долголенко, А.П.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Долголенко, А.П.
Опубліковано: (2016)
Классификация рисков, возникающих при осуществлении концессионных проектов
за авторством: Погребняк, М.Н.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Погребняк, М.Н.
Опубліковано: (2009)