Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров

• Дата: 2007
• Автори: Druzhynin, A. A., Holota, V. I., Kogut, I. T.
• Формат: Стаття
• Мова: Українська
• Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
• Теми: технология изготовления; субмикронный размер; автоэмиссионный катод; апертура электрода; электрическое поле
• Онлайн доступ: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.50
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

Modern fabrication technologies of field emission cathodes are analyzed. A practical method for forming topological elements of submicron dimensions is proposed. A CMOS-based technology using micron-scale photomasks has been developed and modeled for the fabrication of single-tip, multi-tip, and bl...