Buchumschlag

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

The processes of local nucleation and subsequent directed lateral crystallization of cobalt silicide phase on the surface of monocrystalline silicon have been investigated. The possibilities of creating self-organized submicron and nanoscale elements of silicon integrated circuits are considered.

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
1. Verfasser:	Belousov, I. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:	самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
von: Белоусов, И.В.
Veröffentlicht: (2007)

Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний"
von: Belousov, I. V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
von: Hotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Гибридная интегральная схема для обработки звукового сигнала
von: Koval’chuk, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона
von: Filynyuk, N. А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии
von: Цысарь, М.А.
Veröffentlicht: (2013)

Устройство для управления шаговым двигателем на ПЛИС
von: Vichuzhanin, V. V.
Veröffentlicht: (2006)

Взрывная кристаллизация плёнок аморфного кобальта на подслое углерода
von: Зубарев, Е.Н., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
von: Колендовский, М.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии
von: Sidorenko, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
von: Иванов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2016)

УСЛОВИЯ ВОЗНИКНОВЕНИЯ И РОСТА ТРЕЩИН В РОТОРЕ ТУРБОГЕНЕРАТОРА ВСЛЕДСТВИЕ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ В АНОРМАЛЬНЫХ РЕЖИМАХ
von: Tитко , A.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
von: Храмов, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Конструктивно-технологические особенности автодинных ГИС КВЧ на диодах Ганна
von: Votoropin, S. D.
Veröffentlicht: (2006)

Выращивание крупногабаритных монокристаллов вольфрамата кадмия с высокой оптической однородностью
von: Solskii, I. M.
Veröffentlicht: (2005)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
von: Литовченко, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Магнитосопротивление наноуглеродных материалов на основе углеродных нанотрубок
von: Лень, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Теплоемкость электронного газа на поверхности нанотрубки со сверхрешеткой в магнитном поле
von: Ермолаев, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Интертекст культуры и творчество: направленная «случайность» и открытие
von: Донская, Е.В.
Veröffentlicht: (2013)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
von: Bobrenko, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Двумерный оператор Паули в магнитном поле
von: Гриневич, П.Г., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Manifestation of the Upper Hubbard band in the 2D Hubbard model at low electron density
von: Kagan, M.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Квантовые осцилляции в перестраиваемом графеновом бислое
von: Фальковский, Л.А.
Veröffentlicht: (2011)

Импактные структуры в морях и океанах
von: Гуров, Е.П.
Veröffentlicht: (2016)

Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
von: Вербицкий, В.Г.
Veröffentlicht: (2002)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2013)

ІНФРАЧЕРВОНИЙ ДАТЧИК ВМІСТУ ВОДИ В СКРАПЛЕНОМУ ГАЗІ
von: Тужанський, С. Є., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H
von: Иващенко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Монолитные преобразователи частоты 5- и 3-миллиметрового диапазонов
von: Tkachenko, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

ЛАЗЕРНЫЙ ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ, ОСНОВАННЫЙ НА ЧАСТОТНО-ФАЗОВОМ МЕТОДЕ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhinin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
von: Городний , А.Н.
Veröffentlicht: (2012)

Кристаллизация металла в процессах переплава
von: Митчелл, А.
Veröffentlicht: (2008)

Изменение морфологической структуры конденсированных пленок Sn, Bi и Sn-Bi на С-подложке при плавлении ↔ кристаллизации
von: Гладких, Н.Т., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
von: Сокол, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Модуляционные характеристики вектора Стокса оптического излучения при деформациях сжатия–растяжения пленок иттриевых феррит-гранатов на немагнитной подложке
von: Шевченко, Т.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)