Buchumschlag

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

The processes of local nucleation and subsequent directed lateral crystallization of cobalt silicide phase on the surface of monocrystalline silicon have been investigated. The possibilities of creating self-organized submicron and nanoscale elements of silicon integrated circuits are considered.

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
1. Verfasser:	Belousov, I. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:	самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
von: Hotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Гибридная интегральная схема для обработки звукового сигнала
von: Koval’chuk, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии
von: Цысарь, М.А.
Veröffentlicht: (2013)

Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии
von: Sidorenko, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
von: Колендовский, М.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
von: Храмов, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
von: Иванов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2016)

УСЛОВИЯ ВОЗНИКНОВЕНИЯ И РОСТА ТРЕЩИН В РОТОРЕ ТУРБОГЕНЕРАТОРА ВСЛЕДСТВИЕ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ В АНОРМАЛЬНЫХ РЕЖИМАХ
von: Tитко , A.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
von: Литовченко, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Магнитосопротивление наноуглеродных материалов на основе углеродных нанотрубок
von: Лень, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
von: Bobrenko, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Теплоемкость электронного газа на поверхности нанотрубки со сверхрешеткой в магнитном поле
von: Ермолаев, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Импактные структуры в морях и океанах
von: Гуров, Е.П.
Veröffentlicht: (2016)

Квантовые осцилляции в перестраиваемом графеновом бислое
von: Фальковский, Л.А.
Veröffentlicht: (2011)

Manifestation of the Upper Hubbard band in the 2D Hubbard model at low electron density
von: Kagan, M.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
von: Вербицкий, В.Г.
Veröffentlicht: (2002)

АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
von: Городний , А.Н.
Veröffentlicht: (2012)

Кристаллизация металла в процессах переплава
von: Митчелл, А.
Veröffentlicht: (2008)

ІНФРАЧЕРВОНИЙ ДАТЧИК ВМІСТУ ВОДИ В СКРАПЛЕНОМУ ГАЗІ
von: Тужанський, С. Є., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2013)

ЛАЗЕРНЫЙ ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ, ОСНОВАННЫЙ НА ЧАСТОТНО-ФАЗОВОМ МЕТОДЕ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhinin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
von: Азаренков, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Изменение морфологической структуры конденсированных пленок Sn, Bi и Sn-Bi на С-подложке при плавлении ↔ кристаллизации
von: Гладких, Н.Т., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhynin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
von: Сокол, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Полибарическая кристаллизация анортозитов Коростенского плутона (Украинский щит)
von: Митрохин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Модуляционные характеристики вектора Стокса оптического излучения при деформациях сжатия–растяжения пленок иттриевых феррит-гранатов на немагнитной подложке
von: Шевченко, Т.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
von: Гасанов, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Реконструкция заряженной пленки гелия на металлической подложке
von: Шикин, В., et al.
Veröffentlicht: (1997)

Влияние силицидных покрытий на прочностные и пластические свойства сплава 5ВМЦ
von: Глушко, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Особенности проектирования внутренних цепей питания микромощных БИС на основе элементов инжекционной логики
von: Belous, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ЧАСТОТНО-ФАЗОВЫЕ ЛАЗЕРНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛИ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ И ВИБРАЦИЙ С ОПТИЧЕСКОЙ КАЛИБРОВКОЙ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Экспериментальные исследования слабосвязанных сверхпроводников (Обзор)
von: Дмитренко, И.М.
Veröffentlicht: (2004)

Effect of step-edge on spectral properties and planar stability of metallic bigraphene
von: Eremenko, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Fractional ac Josephson effect in unconventional superconductors
von: Hyok-Jon Kwon, et al.
Veröffentlicht: (2004)

Теплоемкость ксенона, адсорбированного в канавках наносвязок
von: Чишко, К.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Topological solitons of the Lawrence–Doniach model as equilibrium Josephson vortices in layered superconductors
von: Kuplevakhsky, S.V.
Veröffentlicht: (2004)