Зображення обкладинки

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

The processes of local nucleation and subsequent directed lateral crystallization of cobalt silicide phase on the surface of monocrystalline silicon have been investigated. The possibilities of creating self-organized submicron and nanoscale elements of silicon integrated circuits are considered.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2007
Автор:	Belousov, I. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Теми:	самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
за авторством: Белоусов, И.В.
Опубліковано: (2007)

Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний"
за авторством: Belousov, I. V., та інші
Опубліковано: (2006)

Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
за авторством: Gasanov, A. M., та інші
Опубліковано: (2004)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Гибридная интегральная схема для обработки звукового сигнала
за авторством: Koval’chuk, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2011)

Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона
за авторством: Filynyuk, N. А., та інші
Опубліковано: (2006)

Устройство для управления шаговым двигателем на ПЛИС
за авторством: Vichuzhanin, V. V.
Опубліковано: (2006)

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии
за авторством: Цысарь, М.А.
Опубліковано: (2013)

Взрывная кристаллизация плёнок аморфного кобальта на подслое углерода
за авторством: Зубарев, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2018)

Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
за авторством: Колендовский, М.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2016)

Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
за авторством: Иванов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)

УСЛОВИЯ ВОЗНИКНОВЕНИЯ И РОСТА ТРЕЩИН В РОТОРЕ ТУРБОГЕНЕРАТОРА ВСЛЕДСТВИЕ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ В АНОРМАЛЬНЫХ РЕЖИМАХ
за авторством: Tитко , A.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)

Конструктивно-технологические особенности автодинных ГИС КВЧ на диодах Ганна
за авторством: Votoropin, S. D.
Опубліковано: (2006)

Выращивание крупногабаритных монокристаллов вольфрамата кадмия с высокой оптической однородностью
за авторством: Solskii, I. M.
Опубліковано: (2005)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
за авторством: Литовченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Магнитосопротивление наноуглеродных материалов на основе углеродных нанотрубок
за авторством: Лень, Т.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Теплоемкость электронного газа на поверхности нанотрубки со сверхрешеткой в магнитном поле
за авторством: Ермолаев, А.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Интертекст культуры и творчество: направленная «случайность» и открытие
за авторством: Донская, Е.В.
Опубліковано: (2013)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Двумерный оператор Паули в магнитном поле
за авторством: Гриневич, П.Г., та інші
Опубліковано: (2011)

Manifestation of the Upper Hubbard band in the 2D Hubbard model at low electron density
за авторством: Kagan, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2011)

Квантовые осцилляции в перестраиваемом графеновом бислое
за авторством: Фальковский, Л.А.
Опубліковано: (2011)

Импактные структуры в морях и океанах
за авторством: Гуров, Е.П.
Опубліковано: (2016)

Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
за авторством: Вербицкий, В.Г.
Опубліковано: (2002)

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H
за авторством: Иващенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

ІНФРАЧЕРВОНИЙ ДАТЧИК ВМІСТУ ВОДИ В СКРАПЛЕНОМУ ГАЗІ
за авторством: Тужанський, С. Є., та інші
Опубліковано: (2014)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2013)

Монолитные преобразователи частоты 5- и 3-миллиметрового диапазонов
за авторством: Tkachenko, V. V., та інші
Опубліковано: (2006)

Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhinin, А. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2012)

ЛАЗЕРНЫЙ ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ, ОСНОВАННЫЙ НА ЧАСТОТНО-ФАЗОВОМ МЕТОДЕ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ
за авторством: Брагинец, И.А., та інші
Опубліковано: (2010)

АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
за авторством: Городний , А.Н.
Опубліковано: (2012)

Кристаллизация металла в процессах переплава
за авторством: Митчелл, А.
Опубліковано: (2008)

Изменение морфологической структуры конденсированных пленок Sn, Bi и Sn-Bi на С-подложке при плавлении ↔ кристаллизации
за авторством: Гладких, Н.Т., та інші
Опубліковано: (2009)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)