Зображення обкладинки

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

The processes of local nucleation and subsequent directed lateral crystallization of cobalt silicide phase on the surface of monocrystalline silicon have been investigated. The possibilities of creating self-organized submicron and nanoscale elements of silicon integrated circuits are considered.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2007
Автор:	Belousov, I. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Теми:	самоформирующиеся структуры латеральный рост локальное зарождение силицидная фаза интегральная схема
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.5.54
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Гибридная интегральная схема для обработки звукового сигнала
за авторством: Koval’chuk, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии
за авторством: Цысарь, М.А.
Опубліковано: (2013)

Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2016)

УСЛОВИЯ ВОЗНИКНОВЕНИЯ И РОСТА ТРЕЩИН В РОТОРЕ ТУРБОГЕНЕРАТОРА ВСЛЕДСТВИЕ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ В АНОРМАЛЬНЫХ РЕЖИМАХ
за авторством: Tитко , A.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
за авторством: Колендовский, М.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
за авторством: Иванов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)

Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)

Магнитосопротивление наноуглеродных материалов на основе углеродных нанотрубок
за авторством: Лень, Т.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
за авторством: Литовченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Теплоемкость электронного газа на поверхности нанотрубки со сверхрешеткой в магнитном поле
за авторством: Ермолаев, А.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Импактные структуры в морях и океанах
за авторством: Гуров, Е.П.
Опубліковано: (2016)

Квантовые осцилляции в перестраиваемом графеновом бислое
за авторством: Фальковский, Л.А.
Опубліковано: (2011)

Manifestation of the Upper Hubbard band in the 2D Hubbard model at low electron density
за авторством: Kagan, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2011)

Двумерный оператор Паули в магнитном поле
за авторством: Гриневич, П.Г., та інші
Опубліковано: (2011)

АНАЛИЗ МОЩНОСТИ РАССЕИВАНИЯ ТРАНЗИСТОРНЫМ КЛЮЧОМ В ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНЫХ ИМПУЛЬСНОМ И КВАЗИРЕЗОНАНСНОМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
за авторством: Городний , А.Н.
Опубліковано: (2012)

ІНФРАЧЕРВОНИЙ ДАТЧИК ВМІСТУ ВОДИ В СКРАПЛЕНОМУ ГАЗІ
за авторством: Тужанський, С. Є., та інші
Опубліковано: (2014)

Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
за авторством: Вербицкий, В.Г.
Опубліковано: (2002)

ЛАЗЕРНЫЙ ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ, ОСНОВАННЫЙ НА ЧАСТОТНО-ФАЗОВОМ МЕТОДЕ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ
за авторством: Брагинец, И.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H
за авторством: Иващенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhinin, А. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2013)

Кристаллизация металла в процессах переплава
за авторством: Митчелл, А.
Опубліковано: (2008)

Особенности разрушения силицидных покрытий при динамических механических загрузках
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Изменение морфологической структуры конденсированных пленок Sn, Bi и Sn-Bi на С-подложке при плавлении ↔ кристаллизации
за авторством: Гладких, Н.Т., та інші
Опубліковано: (2009)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Кристаллизация аморфного диоксида циркония, легированного хромом
за авторством: Ящишин, И.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение и физико-механические свойства оксидно-силицидных покрытий на молибдене
за авторством: Литовченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Модуляционные характеристики вектора Стокса оптического излучения при деформациях сжатия–растяжения пленок иттриевых феррит-гранатов на немагнитной подложке
за авторством: Шевченко, Т.И., та інші
Опубліковано: (2015)

ЧАСТОТНО-ФАЗОВЫЕ ЛАЗЕРНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛИ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ И ВИБРАЦИЙ С ОПТИЧЕСКОЙ КАЛИБРОВКОЙ
за авторством: Брагинец, И.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
за авторством: Гасанов, А.М., та інші
Опубліковано: (2004)

Особенности проектирования внутренних цепей питания микромощных БИС на основе элементов инжекционной логики
за авторством: Belous, A. I., та інші
Опубліковано: (2008)

Закрытая направленная ангио-миопластика устья позвоночной артерии у новорожденных с травмой шейного отдела позвоночника
за авторством: Волкодав, О.В.
Опубліковано: (2010)

Влияние силицидных покрытий на прочностные и пластические свойства сплава 5ВМЦ
за авторством: Глушко, П.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Полибарическая кристаллизация анортозитов Коростенского плутона (Украинский щит)
за авторством: Митрохин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Выделение и кристаллизация рибосомного белка TS9
за авторством: Агаларов, С.Ч., та інші
Опубліковано: (1989)