Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа
A design of a piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements is proposed and investigated. A model of the scanner was constructed and analyzed using the MicroCap 7.0 software. It was established that the coupling level between the bimorph piezoelements generating oscillation...
Saved in:
| Date: | 2007 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.13 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859600913401905152 |
|---|---|
| author | Sharapov, V. M. Gurjiy, A. N. Filimonov, S. A. |
| author_facet | Sharapov, V. M. Gurjiy, A. N. Filimonov, S. A. |
| author_sort | Sharapov, V. M. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-13T18:16:15Z |
| description | A design of a piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements is proposed and investigated. A model of the scanner was constructed and analyzed using the MicroCap 7.0 software. It was established that the coupling level between the bimorph piezoelements generating oscillations along the X, Y, and Z coordinates does not exceed –20 dB. |
| first_indexed | 2026-03-14T02:00:29Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-832 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-14T02:00:29Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-8322026-03-13T18:16:15Z Three-coordinate piezoceramic scanner based on bimorph piezoelements for probe nanomicroscope Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа Sharapov, V. M. Gurjiy, A. N. Filimonov, S. A. nanomicroscope piezoceramic scanner model construction наномикроскоп пьезокерамический сканер построение модели A design of a piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements is proposed and investigated. A model of the scanner was constructed and analyzed using the MicroCap 7.0 software. It was established that the coupling level between the bimorph piezoelements generating oscillations along the X, Y, and Z coordinates does not exceed –20 dB. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи программы MicroCap 7.0. Установлено, что уровень связи между биморфными пьезоэлементами, которые создают колебания по координатам X, Y, Z, не превышает –20 дБ. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-08-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.13 Technology and design in electronic equipment; No. 4 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 13-15 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 4 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 13-15 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.13/754 Copyright (c) 2007 Sharapov V. M., Gurjiy A. N., Filimonov S. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | наномикроскоп пьезокерамический сканер построение модели Sharapov, V. M. Gurjiy, A. N. Filimonov, S. A. Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа |
| title | Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа |
| title_alt | Three-coordinate piezoceramic scanner based on bimorph piezoelements for probe nanomicroscope |
| title_full | Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа |
| title_fullStr | Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа |
| title_full_unstemmed | Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа |
| title_short | Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа |
| title_sort | трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа |
| topic | наномикроскоп пьезокерамический сканер построение модели |
| topic_facet | nanomicroscope piezoceramic scanner model construction наномикроскоп пьезокерамический сканер построение модели |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.13 |
| work_keys_str_mv | AT sharapovvm threecoordinatepiezoceramicscannerbasedonbimorphpiezoelementsforprobenanomicroscope AT gurjiyan threecoordinatepiezoceramicscannerbasedonbimorphpiezoelementsforprobenanomicroscope AT filimonovsa threecoordinatepiezoceramicscannerbasedonbimorphpiezoelementsforprobenanomicroscope AT sharapovvm trehkoordinatnyjpʹezokeramičeskijskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa AT gurjiyan trehkoordinatnyjpʹezokeramičeskijskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa AT filimonovsa trehkoordinatnyjpʹezokeramičeskijskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa |