Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезоэлементах для зондового наномикроскопа

A design of a piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements is proposed and investigated. A model of the scanner was constructed and analyzed using the MicroCap 7.0 software. It was established that the coupling level between the bimorph piezoelements generating oscillation...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2007
Автори: Sharapov, V. M., Gurjiy, A. N., Filimonov, S. A.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Теми:
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.13
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment