Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
An interference temperature sensor has been developed using nanocrystalline films of cubic silicon carbide deposited directly by ion flow onto a leucosapphire substrate. The optical properties and thermal sensitivity of the “nanocrystalline SiC film/leucosapphire” structures have been measured and a...
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.19 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1859600913563385856 |
|---|---|
| author | Lopin, A. V. Semenov, A. V. Puzikov, V. M. |
| author_facet | Lopin, A. V. Semenov, A. V. Puzikov, V. M. |
| author_sort | Lopin, A. V. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-13T18:16:15Z |
| description | An interference temperature sensor has been developed using nanocrystalline films of cubic silicon carbide deposited directly by ion flow onto a leucosapphire substrate. The optical properties and thermal sensitivity of the “nanocrystalline SiC film/leucosapphire” structures have been measured and analyzed. |
| first_indexed | 2026-03-14T02:00:29Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-834 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-14T02:00:29Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-8342026-03-13T18:16:15Z Optical temperature sensor based on nanocrystalline SiC film Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC Lopin, A. V. Semenov, A. V. Puzikov, V. M. fiber-optic temperature sensors nanocrystalline silicon carbide films direct ion deposition Fabry–Perot interferometer волоконно-оптические датчики температуры нанокристаллические пленки карбида кремния прямое ионное осаждение интерферометр Фабри-Перо An interference temperature sensor has been developed using nanocrystalline films of cubic silicon carbide deposited directly by ion flow onto a leucosapphire substrate. The optical properties and thermal sensitivity of the “nanocrystalline SiC film/leucosapphire” structures have been measured and analyzed. На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры. Приведены результаты измерений оптических свойств и термочувствительности структур "нанокристаллическая пленка-SiC/лейкосапфир". PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007-08-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.19 Technology and design in electronic equipment; No. 4 (2007): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 19-22 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 4 (2007): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 19-22 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.19/756 Copyright (c) 2007 Lopin A. V., Semenov A. V., Puzikov V. M. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | волоконно-оптические датчики температуры нанокристаллические пленки карбида кремния прямое ионное осаждение интерферометр Фабри-Перо Lopin, A. V. Semenov, A. V. Puzikov, V. M. Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_alt | Optical temperature sensor based on nanocrystalline SiC film |
| title_full | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_fullStr | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_full_unstemmed | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_short | Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC |
| title_sort | оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки sic |
| topic | волоконно-оптические датчики температуры нанокристаллические пленки карбида кремния прямое ионное осаждение интерферометр Фабри-Перо |
| topic_facet | fiber-optic temperature sensors nanocrystalline silicon carbide films direct ion deposition Fabry–Perot interferometer волоконно-оптические датчики температуры нанокристаллические пленки карбида кремния прямое ионное осаждение интерферометр Фабри-Перо |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.19 |
| work_keys_str_mv | AT lopinav opticaltemperaturesensorbasedonnanocrystallinesicfilm AT semenovav opticaltemperaturesensorbasedonnanocrystallinesicfilm AT puzikovvm opticaltemperaturesensorbasedonnanocrystallinesicfilm AT lopinav optičeskijdatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskojplenkisic AT semenovav optičeskijdatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskojplenkisic AT puzikovvm optičeskijdatčiktemperaturynaosnovenanokristalličeskojplenkisic |