Buchumschlag

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

Methods and types of figures for optical proximity correction are considered. The lithography process was simulated using the discussed correction figures, and the modeling results were experimentally verified

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
Hauptverfasser:	Rodionov, I. A., Makarchuk, V. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:	литография коррекция эффект близости моделирование
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.30
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
von: Родионов И.А., И.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Диагностика и коррекция оптических аберраций глаза
von: Балашевич, Л.И.
Veröffentlicht: (2003)

Моделирование динамического поведения инжекционного лазера при проектировании оптических систем связи
von: Бондаренко, Д.В.
Veröffentlicht: (1999)

КОРРЕКЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ПРИ ДИСТАНЦИОННОМ ИЗМЕРЕНИИ РАЗНОСТИ ФАЗ МЕЖДУ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ СИГНАЛАМИ
von: Борщев, П.И.
Veröffentlicht: (2016)

Проявление нелинейных эффектов в оптических волокнах
von: Беспрозванных, А.В.
Veröffentlicht: (2005)

Математическая модель процесса избыточных измерений при непрерывном воздействии измеряемой физической величины на чувствительный элемент датчика
von: Redko, V. V.
Veröffentlicht: (2011)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
von: Semenov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

ВИКОРИСТАННЯ ПЕРСОНАЛІЗОВАНОГО ТЬЮТОРА ДЛЯ ВРАХУВАННЯ ІНДИВІДУАЛЬНИХ ОСОБЛИВОСТЕЙ УЧНІВ В ІНТЕЛЕКТУАЛЬНИХ СИСТЕМАХ НАВЧАННЯ
von: Фуртат, Юрий Олегович
Veröffentlicht: (2012)

АНАЛИЗ ФАЗОВОЙ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ ЧАСТОТЫ В ЛАЗЕРНЫХ ДАЛЬНОМЕРАХ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Радиоволновые датчики дымовых газов ТЭС
von: Ivanova, P. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Установка для измерения удельного коэффициента силы света материалов со световозвращающим эффектом
von: Butenko, V. K., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Методы минимизации энергопотребления при проектировании КМОП БИС
von: Belous, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОГО ЭФФЕКТА В ФЕРРОМАГНЕТИКЕ ПРИ СИНУСОИДАЛЬНОМ МАГНИТНОМ ПОТОКЕ
von: Петухов, И.С.
Veröffentlicht: (2013)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhynin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

СТРУКТУРНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ДВУХКОНТУРНЫХ КОРРЕКТОРОВ КОЭФФИЦИЕНТА МОЩНОСТИ НА ОСНОВЕ КВАЗИРЕЗОНАНСНЫХ ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ, ПЕРЕКЛЮЧАЕМЫХ ПРИ НУЛЕВОМ ТОКЕ
von: Денисов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
von: Glushko, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Многофункциональная гомопереходная арсенид-галлиевая n–p–m-структура
von: Karimov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Метод симметрий при расчете и проектировании акустических концентраторов
von: Трапезон, К.А.
Veröffentlicht: (2006)

Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Учет магнитных потерь при проектировании вентильных индукторных двигателей
von: Галайко, Л.П.
Veröffentlicht: (2003)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
von: Kasimov, F. D., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
von: Mokritskij, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Эффект усиления фототока в фотодиодной структуре с прямо- и обратновключенными переходами
von: Yodgorova, D. M.
Veröffentlicht: (2010)

Использование моделирующего комплекса ДАСИМ при проектировании и производстве РЭА
von: Литвинова, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Эффекты близости в структурах многозонный сверхпроводник–ферромагнитный металл
von: Кошина, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
von: Plis, N. I., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Оптимальная импульсная коррекция
von: Кириченко, С.Б.
Veröffentlicht: (1989)

Учет геолого-структурных особенностей прибортовых массивов при проектировании железорудных карьеров
von: Слободянюк, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
von: Kondratov, V. T., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Неокогнитрон для распознавания объектов топологии интегральных микросхем
von: Дудкин, А.А.
Veröffentlicht: (2008)

Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях
von: Мержвинский, А.А.
Veröffentlicht: (2000)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
von: Плис, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Нейросетевая технология распознавания объектов топологии интегральных микросхем
von: Дудкин, А.А.
Veröffentlicht: (2008)

Биорегуляторная коррекция кинетозных расстройств человека при морском укачивании
von: Моисеенко, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Исследование динамических эффектов при микромасштабном импульсном нагружении
von: Яковенко, Н.Д., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Моделирование мест проявления дефектов усадочного характера при проектировании литых деталей ДВС
von: Алехин, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Принятие решения по выбору стандарта радиоинтерфейса при проектировании информационной технической системы
von: Литвинская, О.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Нечеткая нейронная сеть для анализа топологии интегральных микросхем
von: Дудкин, А.А.
Veröffentlicht: (2015)

Влияние морфологии поверхности подложек ZnSe:Te на их оптические свойства
von: Makhniy, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
von: Verbitskiy, V. G., et al.
Veröffentlicht: (2013)