Зображення обкладинки

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

Methods and types of figures for optical proximity correction are considered. The lithography process was simulated using the discussed correction figures, and the modeling results were experimentally verified

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2007
Автори:	Rodionov, I. A., Makarchuk, V. V.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Теми:	литография коррекция эффект близости моделирование
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.30
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
за авторством: Родионов И.А., И.А., та інші
Опубліковано: (2007)

КОРРЕКЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ПРИ ДИСТАНЦИОННОМ ИЗМЕРЕНИИ РАЗНОСТИ ФАЗ МЕЖДУ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ СИГНАЛАМИ
за авторством: Борщев, П.И.
Опубліковано: (2016)

Моделирование динамического поведения инжекционного лазера при проектировании оптических систем связи
за авторством: Бондаренко, Д.В.
Опубліковано: (1999)

Диагностика и коррекция оптических аберраций глаза
за авторством: Балашевич, Л.И.
Опубліковано: (2003)

Проявление нелинейных эффектов в оптических волокнах
за авторством: Беспрозванных, А.В.
Опубліковано: (2005)

Математическое моделирование пространственных струйных эффектов
за авторством: Довгий, С.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Математическая модель процесса избыточных измерений при непрерывном воздействии измеряемой физической величины на чувствительный элемент датчика
за авторством: Redko, V. V.
Опубліковано: (2011)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
за авторством: Semenov, A. V., та інші
Опубліковано: (2012)

ВИКОРИСТАННЯ ПЕРСОНАЛІЗОВАНОГО ТЬЮТОРА ДЛЯ ВРАХУВАННЯ ІНДИВІДУАЛЬНИХ ОСОБЛИВОСТЕЙ УЧНІВ В ІНТЕЛЕКТУАЛЬНИХ СИСТЕМАХ НАВЧАННЯ
за авторством: Фуртат, Юрий Олегович
Опубліковано: (2012)

АНАЛИЗ ФАЗОВОЙ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ ЧАСТОТЫ В ЛАЗЕРНЫХ ДАЛЬНОМЕРАХ
за авторством: Брагинец, И.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Создание Т-образного затвора в малошумящих полевых СВЧ-транзисторах
за авторством: Bosiy, V. I., та інші
Опубліковано: (2006)

Радиоволновые датчики дымовых газов ТЭС
за авторством: Ivanova, P. E., та інші
Опубліковано: (2009)

Устройство для охлаждения элементов микроэлектронной аппаратуры
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2004)

Установка для измерения удельного коэффициента силы света материалов со световозвращающим эффектом
за авторством: Butenko, V. K., та інші
Опубліковано: (2009)

СТРУКТУРНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ДВУХКОНТУРНЫХ КОРРЕКТОРОВ КОЭФФИЦИЕНТА МОЩНОСТИ НА ОСНОВЕ КВАЗИРЕЗОНАНСНЫХ ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ, ПЕРЕКЛЮЧАЕМЫХ ПРИ НУЛЕВОМ ТОКЕ
за авторством: Денисов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
за авторством: Glushko, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)

Методы минимизации энергопотребления при проектировании КМОП БИС
за авторством: Belous, A. I., та інші
Опубліковано: (2008)

ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОГО ЭФФЕКТА В ФЕРРОМАГНЕТИКЕ ПРИ СИНУСОИДАЛЬНОМ МАГНИТНОМ ПОТОКЕ
за авторством: Петухов, И.С.
Опубліковано: (2013)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
за авторством: Mokritskij, V. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Многофункциональная гомопереходная арсенид-галлиевая n–p–m-структура
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2009)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
за авторством: Kasimov, F. D., та інші
Опубліковано: (2009)

Соответствие, возникающее при проектировании криволинейных рядов точек
за авторством: Лепский, М. М., та інші
Опубліковано: (2020)

Методы минимизации энергопотребления при проектировании КМОП БИС
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Эффект усиления фототока в фотодиодной структуре с прямо- и обратновключенными переходами
за авторством: Yodgorova, D. M.
Опубліковано: (2010)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
за авторством: Plis, N. I., та інші
Опубліковано: (2010)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
за авторством: Мокрицкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Координатно-чувствительный фотоэлектромагнитный детектор ИК-излучения на основе HgCdTe
за авторством: Bodnaruk, O. A., та інші
Опубліковано: (2004)

Задача оценки близости многомерных объектов анализа данных
за авторством: Бодянский, Е.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
за авторством: Kondratov, V. T., та інші
Опубліковано: (2008)

О глубине оперирования исходными данными при обоснованном проектировании
за авторством: Мороз-Подворчан, И.Г.
Опубліковано: (2010)

Учет магнитных потерь при проектировании вентильных индукторных двигателей
за авторством: Галайко, Л.П.
Опубліковано: (2003)

Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)

Метод симметрий при расчете и проектировании акустических концентраторов
за авторством: Трапезон, К.А.
Опубліковано: (2006)

Синхронизация операций при проектировании технологических процессов на ПЭВМ
за авторством: Панов, Л.И., та інші
Опубліковано: (1999)

Определение допустимых значений характеристик материалов при проектировании РЭА
за авторством: Шайко-Шайковский, А.Г.
Опубліковано: (1998)

Теоретико-категорная формализация при проектировании нечетких интеллектуальных систем
за авторством: Парасюк, И.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Эффекты близости в холодном газе многозарядных атомов (Обзор)
за авторством: Chikina, I., та інші
Опубліковано: (2016)

Проектирование биполярных микросхем широкополосных усилителей диапазона 40 МГц
за авторством: Popov, V. P., та інші
Опубліковано: (2005)

Методы расчета оптических свойств материалов на основе многослойных углеродных нанотрубок
за авторством: Каневский, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)