Buchumschlag

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

Methods and types of figures for optical proximity correction are considered. The lithography process was simulated using the discussed correction figures, and the modeling results were experimentally verified

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
Hauptverfasser:	Rodionov, I. A., Makarchuk, V. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:	литография коррекция эффект близости моделирование
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.30
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
von: Родионов И.А., И.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

КОРРЕКЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ПРИ ДИСТАНЦИОННОМ ИЗМЕРЕНИИ РАЗНОСТИ ФАЗ МЕЖДУ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ СИГНАЛАМИ
von: Борщев, П.И.
Veröffentlicht: (2016)

Моделирование динамического поведения инжекционного лазера при проектировании оптических систем связи
von: Бондаренко, Д.В.
Veröffentlicht: (1999)

Диагностика и коррекция оптических аберраций глаза
von: Балашевич, Л.И.
Veröffentlicht: (2003)

Математическое моделирование пространственных струйных эффектов
von: Довгий, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Проявление нелинейных эффектов в оптических волокнах
von: Беспрозванных, А.В.
Veröffentlicht: (2005)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
von: Semenov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Математическая модель процесса избыточных измерений при непрерывном воздействии измеряемой физической величины на чувствительный элемент датчика
von: Redko, V. V.
Veröffentlicht: (2011)

Радиоволновые датчики дымовых газов ТЭС
von: Ivanova, P. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ВИКОРИСТАННЯ ПЕРСОНАЛІЗОВАНОГО ТЬЮТОРА ДЛЯ ВРАХУВАННЯ ІНДИВІДУАЛЬНИХ ОСОБЛИВОСТЕЙ УЧНІВ В ІНТЕЛЕКТУАЛЬНИХ СИСТЕМАХ НАВЧАННЯ
von: Фуртат, Юрий Олегович
Veröffentlicht: (2012)

АНАЛИЗ ФАЗОВОЙ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ ЧАСТОТЫ В ЛАЗЕРНЫХ ДАЛЬНОМЕРАХ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Установка для измерения удельного коэффициента силы света материалов со световозвращающим эффектом
von: Butenko, V. K., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Создание Т-образного затвора в малошумящих полевых СВЧ-транзисторах
von: Bosiy, V. I., et al.
Veröffentlicht: (2006)

ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОГО ЭФФЕКТА В ФЕРРОМАГНЕТИКЕ ПРИ СИНУСОИДАЛЬНОМ МАГНИТНОМ ПОТОКЕ
von: Петухов, И.С.
Veröffentlicht: (2013)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
von: Glushko, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

СТРУКТУРНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ДВУХКОНТУРНЫХ КОРРЕКТОРОВ КОЭФФИЦИЕНТА МОЩНОСТИ НА ОСНОВЕ КВАЗИРЕЗОНАНСНЫХ ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ, ПЕРЕКЛЮЧАЕМЫХ ПРИ НУЛЕВОМ ТОКЕ
von: Денисов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Многофункциональная гомопереходная арсенид-галлиевая n–p–m-структура
von: Karimov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Методы минимизации энергопотребления при проектировании КМОП БИС
von: Belous, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhynin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
von: Kasimov, F. D., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
von: Mokritskij, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Эффект усиления фототока в фотодиодной структуре с прямо- и обратновключенными переходами
von: Yodgorova, D. M.
Veröffentlicht: (2010)

Соответствие, возникающее при проектировании криволинейных рядов точек
von: Лепский, М. М., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Методы минимизации энергопотребления при проектировании КМОП БИС
von: Белоус, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
von: Plis, N. I., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
von: Мокрицкий, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Задача оценки близости многомерных объектов анализа данных
von: Бодянский, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
von: Kondratov, V. T., et al.
Veröffentlicht: (2008)

О глубине оперирования исходными данными при обоснованном проектировании
von: Мороз-Подворчан, И.Г.
Veröffentlicht: (2010)

Учет магнитных потерь при проектировании вентильных индукторных двигателей
von: Галайко, Л.П.
Veröffentlicht: (2003)

Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Метод симметрий при расчете и проектировании акустических концентраторов
von: Трапезон, К.А.
Veröffentlicht: (2006)

Синхронизация операций при проектировании технологических процессов на ПЭВМ
von: Панов, Л.И., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Определение допустимых значений характеристик материалов при проектировании РЭА
von: Шайко-Шайковский, А.Г.
Veröffentlicht: (1998)

Теоретико-категорная формализация при проектировании нечетких интеллектуальных систем
von: Парасюк, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Эффекты близости в холодном газе многозарядных атомов (Обзор)
von: Chikina, I., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Проектирование биполярных микросхем широкополосных усилителей диапазона 40 МГц
von: Popov, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Методы расчета оптических свойств материалов на основе многослойных углеродных нанотрубок
von: Каневский, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Нейросетевая технология распознавания объектов топологии интегральных микросхем
von: Дудкин, А.А.
Veröffentlicht: (2008)

Неокогнитрон для распознавания объектов топологии интегральных микросхем
von: Дудкин, А.А.
Veröffentlicht: (2008)