Buchumschlag

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем

Methods and types of figures for optical proximity correction are considered. The lithography process was simulated using the discussed correction figures, and the modeling results were experimentally verified

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
Hauptverfasser:	Rodionov, I. A., Makarchuk, V. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2007
Schlagworte:	литография коррекция эффект близости моделирование
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.3.30
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
von: Родионов И.А., И.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Моделирование динамического поведения инжекционного лазера при проектировании оптических систем связи
von: Бондаренко, Д.В.
Veröffentlicht: (1999)

Диагностика и коррекция оптических аберраций глаза
von: Балашевич, Л.И.
Veröffentlicht: (2003)

Проявление нелинейных эффектов в оптических волокнах
von: Беспрозванных, А.В.
Veröffentlicht: (2005)

КОРРЕКЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ПРИ ДИСТАНЦИОННОМ ИЗМЕРЕНИИ РАЗНОСТИ ФАЗ МЕЖДУ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ СИГНАЛАМИ
von: Борщев, П.И.
Veröffentlicht: (2016)

Математическое моделирование пространственных струйных эффектов
von: Довгий, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
von: Semenov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Математическая модель процесса избыточных измерений при непрерывном воздействии измеряемой физической величины на чувствительный элемент датчика
von: Redko, V. V.
Veröffentlicht: (2011)

Радиоволновые датчики дымовых газов ТЭС
von: Ivanova, P. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ВИКОРИСТАННЯ ПЕРСОНАЛІЗОВАНОГО ТЬЮТОРА ДЛЯ ВРАХУВАННЯ ІНДИВІДУАЛЬНИХ ОСОБЛИВОСТЕЙ УЧНІВ В ІНТЕЛЕКТУАЛЬНИХ СИСТЕМАХ НАВЧАННЯ
von: Фуртат, Юрий Олегович
Veröffentlicht: (2012)

АНАЛИЗ ФАЗОВОЙ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ ЧАСТОТЫ В ЛАЗЕРНЫХ ДАЛЬНОМЕРАХ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Установка для измерения удельного коэффициента силы света материалов со световозвращающим эффектом
von: Butenko, V. K., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Методы минимизации энергопотребления при проектировании КМОП БИС
von: Belous, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОГО ЭФФЕКТА В ФЕРРОМАГНЕТИКЕ ПРИ СИНУСОИДАЛЬНОМ МАГНИТНОМ ПОТОКЕ
von: Петухов, И.С.
Veröffentlicht: (2013)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhynin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
von: Glushko, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

СТРУКТУРНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ДВУХКОНТУРНЫХ КОРРЕКТОРОВ КОЭФФИЦИЕНТА МОЩНОСТИ НА ОСНОВЕ КВАЗИРЕЗОНАНСНЫХ ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ, ПЕРЕКЛЮЧАЕМЫХ ПРИ НУЛЕВОМ ТОКЕ
von: Денисов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Многофункциональная гомопереходная арсенид-галлиевая n–p–m-структура
von: Karimov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
von: Kasimov, F. D., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
von: Mokritskij, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Эффект усиления фототока в фотодиодной структуре с прямо- и обратновключенными переходами
von: Yodgorova, D. M.
Veröffentlicht: (2010)

Учет магнитных потерь при проектировании вентильных индукторных двигателей
von: Галайко, Л.П.
Veröffentlicht: (2003)

О глубине оперирования исходными данными при обоснованном проектировании
von: Мороз-Подворчан, И.Г.
Veröffentlicht: (2010)

Метод симметрий при расчете и проектировании акустических концентраторов
von: Трапезон, К.А.
Veröffentlicht: (2006)

Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
von: Мокрицкий, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
von: Plis, N. I., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Задача оценки близости многомерных объектов анализа данных
von: Бодянский, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Методы расчета оптических свойств материалов на основе многослойных углеродных нанотрубок
von: Каневский, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Эффекты близости в холодном газе многозарядных атомов (Обзор)
von: Chikina, I., et al.
Veröffentlicht: (2016)

О новом подходе при расчете и проектировании акустических концентраторов
von: Абакумов, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Использование моделирующего комплекса ДАСИМ при проектировании и производстве РЭА
von: Литвинова, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Нейросетевая технология распознавания объектов топологии интегральных микросхем
von: Дудкин, А.А.
Veröffentlicht: (2008)

Неокогнитрон для распознавания объектов топологии интегральных микросхем
von: Дудкин, А.А.
Veröffentlicht: (2008)

Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях
von: Мержвинский, А.А.
Veröffentlicht: (2000)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
von: Плис, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
von: Kondratov, V. T., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Эффекты близости в структурах многозонный сверхпроводник–ферромагнитный металл
von: Кошина, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Функционально-ориентированный подход в исследовательском проектировании
von: Палагин, А.В.
Veröffentlicht: (2017)

Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
von: Verbitskiy, V. G., et al.
Veröffentlicht: (2013)