Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
ZnO films were obtained by RF magnetron sputtering. An additional magnetic field was applied using a magnetic system placed behind the substrate holder. The influence of process parameters on the structure and functional properties of the films was established. ZnO films were employed in the develop...
Gespeichert in:
| Datum: | 2006 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | Belyanin, A. F., Krivchenko, V. A., Lopaev, D. V., Pavlushkin, L. V., Paschenko, P. V., Pirogov, V. G., Polyakov, S. N., Suetin, N. V., Sushentsov, N. I. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.6.48 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipmentÄhnliche Einträge
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
von: Белянин, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Белянин, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Властивості конгломератів ZnO-Zn, вирощених на неполірованій підкладці Si методом карботермічного відновлення при швидкому сонячному випаровуванні
von: Kovalskyi, Y.O., et al.
Veröffentlicht: (2026)
von: Kovalskyi, Y.O., et al.
Veröffentlicht: (2026)
Термостабильные интерференционные оксидные покрытия для активных элементов лазеров ИК-диапазона
von: Zagoruiko, Yu. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Zagoruiko, Yu. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Внесок українських вчених у розвиток оптики
von: Korsun, I. V.
Veröffentlicht: (2018)
von: Korsun, I. V.
Veröffentlicht: (2018)
Одержання та дослідження гетероструктури ZnO:Al/por-Si/Si
von: Dyadenchuk, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2020)
von: Dyadenchuk, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2020)
Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Филатов, Ю.Д., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Термічний аналіз, фазові та морфологічні перетворення в композитах алюмосилікатні нанотрубки/ацетати Ni, Cu, Zn
von: Oranska, O. I., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Oranska, O. I., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Люминесценция жидкого азота после импульсного воздействия ультрафиолетового излучения
von: Кирко, Д.Л.
Veröffentlicht: (2015)
von: Кирко, Д.Л.
Veröffentlicht: (2015)
Anderson localization in metamaterials and other complex media
von: Gredeskul, S.A., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Gredeskul, S.A., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Електролiтичний метод отримання наночастинок оксиду цинку
von: Gaevs’kyi, V. R., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Gaevs’kyi, V. R., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Low-dimensional magnetism of spin-½ chain systems α- and β-TeVO₄: a comparative study
von: Gnezdilov, V., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Gnezdilov, V., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Еволюція структури та оптичних властивостей тонких плівок Ga-легованого ZnO, отриманих методом магнетронного напилення з різною потужністю: експеримент та моделювання DFT + U
von: Shulyma, S.I., et al.
Veröffentlicht: (2025)
von: Shulyma, S.I., et al.
Veröffentlicht: (2025)
Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
von: Zhavzharov, E. L., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Zhavzharov, E. L., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Magnetooptic coupling coefficients for one- and two-magnon Raman scattering in the rutile-structure antiferromagnets FeF₂, MnF₂, CoF₂ and NiF₂
von: Lockwood, D.J., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Lockwood, D.J., et al.
Veröffentlicht: (2012)
О бозе-конденсации экситонов в квазидвумерных полупроводниковых гетероструктурах
von: Тимофеев, В.Б.
Veröffentlicht: (2012)
von: Тимофеев, В.Б.
Veröffentlicht: (2012)
Microwaves in dispersive magnetic composite media
von: Tarapov, S.I., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Tarapov, S.I., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Електричні, оптичні та люмінесцентні властивості монокристалів оксиду цинку
von: Markevich, I. V., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Markevich, I. V., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Технологія отримання та властивості CdS/CdTe сонячних елементів з використанням метода квазізамкненого простору
von: Semikina, T. V.
Veröffentlicht: (2018)
von: Semikina, T. V.
Veröffentlicht: (2018)
Об особенностях конвективной деятельности атмосферы в день затмения Солнца 31 мая 2003 г.
von: Акимов, А.Л., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Акимов, А.Л., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Оптическая стабильность земной атмосферы на пике Терскол по измерениям околосолнечного ореола
von: Бурлов-Васильев, К.А., et al.
Veröffentlicht: (1990)
von: Бурлов-Васильев, К.А., et al.
Veröffentlicht: (1990)
Изменения блеска небесных объектов при астрономических наблюдениях на горе Майданак
von: Видьмаченко, А.П.
Veröffentlicht: (1994)
von: Видьмаченко, А.П.
Veröffentlicht: (1994)
Порівняльний аналіз моделей тропосферної затримки радіосигналу
von: Тегза, І.М., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Тегза, І.М., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Вплив дифузії атомів на форму лінії темного резонансу у просторово обмежених лазерних полях
von: Романенко, В.І., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Романенко, В.І., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Рефракция в меридиональной модели атмосферы. Теоретические основы
von: Яценко, А.Ю.
Veröffentlicht: (1988)
von: Яценко, А.Ю.
Veröffentlicht: (1988)
Поляризаційна структура коноскопічних картин планарних нематичних та холестеричних рідкокристалічних комірок
von: Вовк, Р.Г., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Вовк, Р.Г., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Атмосферные влияния и выбор мест для астрометрических станций
von: Телеки, Г.
Veröffentlicht: (1985)
von: Телеки, Г.
Veröffentlicht: (1985)
Спектральные наблюдения Солнца с целью экологического контроля над состоянием атмосферы Земли
von: Сомов, Б.В., et al.
Veröffentlicht: (1993)
von: Сомов, Б.В., et al.
Veröffentlicht: (1993)
Наблюдения быстрых колебаний прозрачности при фотометрии звезд. Атмосферный инфразвук
von: Жиляев, Б.Е., et al.
Veröffentlicht: (1996)
von: Жиляев, Б.Е., et al.
Veröffentlicht: (1996)
Определение общего содержания озона по спектрофотометрическим наблюдениям Солнца в УФ-области спектра
von: Бурлов-Васильев, К.А., et al.
Veröffentlicht: (2000)
von: Бурлов-Васильев, К.А., et al.
Veröffentlicht: (2000)
Оптичні та електронні властивості металічного кобальту в різних структурних станах
von: Стащук, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Стащук, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Оценка горизонтальной составляющей астрономической рефракции в эллипсоидальной атмосфере
von: Федянин, М.Р., et al.
Veröffentlicht: (1987)
von: Федянин, М.Р., et al.
Veröffentlicht: (1987)
О причине расхождения астроклиматического прогноза и реального качества изображения в крупных телескопах
von: Новиков, С.Б.
Veröffentlicht: (1989)
von: Новиков, С.Б.
Veröffentlicht: (1989)
Рефракция в меридиональной модели атмосферы. Алгоритм вычислений
von: Яценко, А.Ю.
Veröffentlicht: (1989)
von: Яценко, А.Ю.
Veröffentlicht: (1989)
Исследования нового метода учета влияния земной атмосферы при лазерных измерениях расстояний до ИСЗ
von: Миронов, Н.Т., et al.
Veröffentlicht: (1997)
von: Миронов, Н.Т., et al.
Veröffentlicht: (1997)
Вплив відпалів на люмінесцентні характеристики квантових точок СdSe в полімері
von: Печерська, К.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Печерська, К.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Ähnliche Einträge
-
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
von: Белянин, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2006) -
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010) -
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2007) -
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005) -
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)