Зображення обкладинки

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

ZnO films were obtained by RF magnetron sputtering. An additional magnetic field was applied using a magnetic system placed behind the substrate holder. The influence of process parameters on the structure and functional properties of the films was established. ZnO films were employed in the develop...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Belyanin, A. F., Krivchenko, V. A., Lopaev, D. V., Pavlushkin, L. V., Paschenko, P. V., Pirogov, V. G., Polyakov, S. N., Suetin, N. V., Sushentsov, N. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Теми:	пленки ZnO магнетронное распыление электроника оптика
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.6.48
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2006)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)

Властивості конгломератів ZnO-Zn, вирощених на неполірованій підкладці Si методом карботермічного відновлення при швидкому сонячному випаровуванні
за авторством: Kovalskyi, Y.O., та інші
Опубліковано: (2026)

Термостабильные интерференционные оксидные покрытия для активных элементов лазеров ИК-диапазона
за авторством: Zagoruiko, Yu. A., та інші
Опубліковано: (2010)

Одержання та дослідження гетероструктури ZnO:Al/por-Si/Si
за авторством: Dyadenchuk, A. F., та інші
Опубліковано: (2020)

Термічний аналіз, фазові та морфологічні перетворення в композитах алюмосилікатні нанотрубки/ацетати Ni, Cu, Zn
за авторством: Oranska, O. I., та інші
Опубліковано: (2014)

Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Люминесценция жидкого азота после импульсного воздействия ультрафиолетового излучения
за авторством: Кирко, Д.Л.
Опубліковано: (2015)

Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2017)

Anderson localization in metamaterials and other complex media
за авторством: Gredeskul, S.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Low-dimensional magnetism of spin-½ chain systems α- and β-TeVO₄: a comparative study
за авторством: Gnezdilov, V., та інші
Опубліковано: (2012)

О бозе-конденсации экситонов в квазидвумерных полупроводниковых гетероструктурах
за авторством: Тимофеев, В.Б.
Опубліковано: (2012)

Magnetooptic coupling coefficients for one- and two-magnon Raman scattering in the rutile-structure antiferromagnets FeF₂, MnF₂, CoF₂ and NiF₂
за авторством: Lockwood, D.J., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)

Рефракция в меридиональной модели атмосферы. Теоретические основы
за авторством: Яценко, А.Ю.
Опубліковано: (1988)

Порівняльний аналіз моделей тропосферної затримки радіосигналу
за авторством: Тегза, І.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Об особенностях конвективной деятельности атмосферы в день затмения Солнца 31 мая 2003 г.
за авторством: Акимов, А.Л., та інші
Опубліковано: (2004)

Вплив відпалів на люмінесцентні характеристики квантових точок СdSe в полімері
за авторством: Печерська, К.Ю., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптическая стабильность земной атмосферы на пике Терскол по измерениям околосолнечного ореола
за авторством: Бурлов-Васильев, К.А., та інші
Опубліковано: (1990)

Определение общего содержания озона по спектрофотометрическим наблюдениям Солнца в УФ-области спектра
за авторством: Бурлов-Васильев, К.А., та інші
Опубліковано: (2000)

Атмосферные влияния и выбор мест для астрометрических станций
за авторством: Телеки, Г.
Опубліковано: (1985)

О причине расхождения астроклиматического прогноза и реального качества изображения в крупных телескопах
за авторством: Новиков, С.Б.
Опубліковано: (1989)

Рефракция в меридиональной модели атмосферы. Алгоритм вычислений
за авторством: Яценко, А.Ю.
Опубліковано: (1989)

Вплив дифузії атомів на форму лінії темного резонансу у просторово обмежених лазерних полях
за авторством: Романенко, В.І., та інші
Опубліковано: (2010)

Спектральные наблюдения Солнца с целью экологического контроля над состоянием атмосферы Земли
за авторством: Сомов, Б.В., та інші
Опубліковано: (1993)

Поляризаційна структура коноскопічних картин планарних нематичних та холестеричних рідкокристалічних комірок
за авторством: Вовк, Р.Г., та інші
Опубліковано: (2010)

Оценка горизонтальной составляющей астрономической рефракции в эллипсоидальной атмосфере
за авторством: Федянин, М.Р., та інші
Опубліковано: (1987)

О влиянии средних наклонов атмосферных слоев равной плотности на астрономическую рефракцию
за авторством: Канторов, А.Ф.
Опубліковано: (1985)

Оптичні та електронні властивості металічного кобальту в різних структурних станах
за авторством: Стащук, В.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Изменения блеска небесных объектов при астрономических наблюдениях на горе Майданак
за авторством: Видьмаченко, А.П.
Опубліковано: (1994)

Учет наклонов оптических поверхностей с постоянным показателем коэффициента преломления в свободной атмосфере при обработке наблюдений по способу равных высот
за авторством: Заливадный, Н.М.
Опубліковано: (1996)

Наблюдения быстрых колебаний прозрачности при фотометрии звезд. Атмосферный инфразвук
за авторством: Жиляев, Б.Е., та інші
Опубліковано: (1996)

Наноструктурированные металло-органосиликатные композиты: структура и свойства
за авторством: Кудина, Е.Ф.
Опубліковано: (2011)

Моделювання процесів релаксаційної оптики
за авторством: Трохимчук, П., та інші
Опубліковано: (2011)

Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
за авторством: Perevertailo, V. L.
Опубліковано: (2007)

Наноструктурированные антидиффузионные слои в контактах к широкозонным полупроводникам
за авторством: Kudryk, Ya. Ya.
Опубліковано: (2013)

Наноструктурированные антидиффузионные слои в контактах к широкозонным полупроводникам
за авторством: Кудрик Я.Я.
Опубліковано: (2013)

Наноструктурированные покрытия как альтернатива гальваническому хромированию внутренних поверхностей
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2013)

Наноструктурированные жидкокристаллические системы алканоатов металлов с наночастицами CdS
за авторством: Асаула, В.Н., та інші
Опубліковано: (2012)