Зображення обкладинки

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

ZnO films were obtained by RF magnetron sputtering. An additional magnetic field was applied using a magnetic system placed behind the substrate holder. The influence of process parameters on the structure and functional properties of the films was established. ZnO films were employed in the develop...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Belyanin, A. F., Krivchenko, V. A., Lopaev, D. V., Pavlushkin, L. V., Paschenko, P. V., Pirogov, V. G., Polyakov, S. N., Suetin, N. V., Sushentsov, N. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Теми:	пленки ZnO магнетронное распыление электроника оптика
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.6.48
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2006)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)

Властивості конгломератів ZnO-Zn, вирощених на неполірованій підкладці Si методом карботермічного відновлення при швидкому сонячному випаровуванні
за авторством: Kovalskyi, Y.O., та інші
Опубліковано: (2026)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)

Термостабильные интерференционные оксидные покрытия для активных элементов лазеров ИК-диапазона
за авторством: Zagoruiko, Yu. A., та інші
Опубліковано: (2010)

Внесок українських вчених у розвиток оптики
за авторством: Korsun, I. V.
Опубліковано: (2018)

Одержання та дослідження гетероструктури ZnO:Al/por-Si/Si
за авторством: Dyadenchuk, A. F., та інші
Опубліковано: (2020)

Акустооптические модуляторы для систем спектрального анализа радиосигналов
за авторством: Braiko, G. I., та інші
Опубліковано: (2003)

Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2017)

Термічний аналіз, фазові та морфологічні перетворення в композитах алюмосилікатні нанотрубки/ацетати Ni, Cu, Zn
за авторством: Oranska, O. I., та інші
Опубліковано: (2014)

Еволюція структури та оптичних властивостей тонких плівок Ga-легованого ZnO, отриманих методом магнетронного напилення з різною потужністю: експеримент та моделювання DFT + U
за авторством: Shulyma, S.I., та інші
Опубліковано: (2025)

Люминесценция жидкого азота после импульсного воздействия ультрафиолетового излучения
за авторством: Кирко, Д.Л.
Опубліковано: (2015)

Електролiтичний метод отримання наночастинок оксиду цинку
за авторством: Gaevs’kyi, V. R., та інші
Опубліковано: (2018)

Anderson localization in metamaterials and other complex media
за авторством: Gredeskul, S.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Low-dimensional magnetism of spin-½ chain systems α- and β-TeVO₄: a comparative study
за авторством: Gnezdilov, V., та інші
Опубліковано: (2012)

Електричні, оптичні та люмінесцентні властивості монокристалів оксиду цинку
за авторством: Markevich, I. V., та інші
Опубліковано: (2018)

Технологія отримання та властивості CdS/CdTe сонячних елементів з використанням метода квазізамкненого простору
за авторством: Semikina, T. V.
Опубліковано: (2018)

Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)

Magnetooptic coupling coefficients for one- and two-magnon Raman scattering in the rutile-structure antiferromagnets FeF₂, MnF₂, CoF₂ and NiF₂
за авторством: Lockwood, D.J., та інші
Опубліковано: (2012)

О бозе-конденсации экситонов в квазидвумерных полупроводниковых гетероструктурах
за авторством: Тимофеев, В.Б.
Опубліковано: (2012)

Microwaves in dispersive magnetic composite media
за авторством: Tarapov, S.I., та інші
Опубліковано: (2012)

Вплив тиску аргону в камерi осадження на властивостi легованих алюмiнiєм плiвок ZnO, вирощених методом пошарового осадження при магнетронному розпиленнi
за авторством: Popovych, V. I., та інші
Опубліковано: (2019)

Об особенностях конвективной деятельности атмосферы в день затмения Солнца 31 мая 2003 г.
за авторством: Акимов, А.Л., та інші
Опубліковано: (2004)

Оптическая стабильность земной атмосферы на пике Терскол по измерениям околосолнечного ореола
за авторством: Бурлов-Васильев, К.А., та інші
Опубліковано: (1990)

Изменения блеска небесных объектов при астрономических наблюдениях на горе Майданак
за авторством: Видьмаченко, А.П.
Опубліковано: (1994)

Порівняльний аналіз моделей тропосферної затримки радіосигналу
за авторством: Тегза, І.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Вплив дифузії атомів на форму лінії темного резонансу у просторово обмежених лазерних полях
за авторством: Романенко, В.І., та інші
Опубліковано: (2010)

Рефракция в меридиональной модели атмосферы. Теоретические основы
за авторством: Яценко, А.Ю.
Опубліковано: (1988)

Поляризаційна структура коноскопічних картин планарних нематичних та холестеричних рідкокристалічних комірок
за авторством: Вовк, Р.Г., та інші
Опубліковано: (2010)

Атмосферные влияния и выбор мест для астрометрических станций
за авторством: Телеки, Г.
Опубліковано: (1985)

Спектральные наблюдения Солнца с целью экологического контроля над состоянием атмосферы Земли
за авторством: Сомов, Б.В., та інші
Опубліковано: (1993)

Наблюдения быстрых колебаний прозрачности при фотометрии звезд. Атмосферный инфразвук
за авторством: Жиляев, Б.Е., та інші
Опубліковано: (1996)

Определение общего содержания озона по спектрофотометрическим наблюдениям Солнца в УФ-области спектра
за авторством: Бурлов-Васильев, К.А., та інші
Опубліковано: (2000)

Оптичні та електронні властивості металічного кобальту в різних структурних станах
за авторством: Стащук, В.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Оценка горизонтальной составляющей астрономической рефракции в эллипсоидальной атмосфере
за авторством: Федянин, М.Р., та інші
Опубліковано: (1987)

О причине расхождения астроклиматического прогноза и реального качества изображения в крупных телескопах
за авторством: Новиков, С.Б.
Опубліковано: (1989)

Рефракция в меридиональной модели атмосферы. Алгоритм вычислений
за авторством: Яценко, А.Ю.
Опубліковано: (1989)