Зображення обкладинки

Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика

A capacitive sensor with a grid or perforated structure is proposed for monitoring coating thickness in vacuum. The method is based on the dependence of capacitor capacitance on the distance between its plates: during material deposition, the capacitance is measured, and its increment indicates the...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Istomin, A. S., Semenov, E. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Теми:	автоматизация емкостной датчик толщина пленки тонкие пленки компьютерная система контроля
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.49
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)

Свойства наноструктуры Fe₃O₄/Y₂O₃/Fe₃O₄ при работе на переменном токе
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
за авторством: Оноприенко, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние микроструктуры вакуумных конденсатов никеля на их прочностные свойства
за авторством: Устинов, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Магнітокеровані наноструктурні матеріали та їхня взаємодія з нуклеїновими кислотами
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
за авторством: Бувайло, А.І., та інші
Опубліковано: (2010)

Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)

Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
за авторством: Куликовський, B.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Структура и свойства композиционных никелевых покрытий, полученных с помощью программируемого импульсного тока
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2017)

О механизме уменьшения трения наноразмерных многослойных покрытий
за авторством: Григорьев, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние частиц ультрадисперсных алмазов на структуру и свойства электролитических никелевых покрытий
за авторством: Титаренко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Структура ионно-плазменных покрытий из высокоэнтропийного сплава AlFeNiCoCuCr
за авторством: Надутов, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Обоснование механоплазменного эффекта, возникающего в процессе механической обработки металла в смазочно-охлаждающих технологических средствах
за авторством: Сошко, А.И., та інші
Опубліковано: (2017)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. I. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на стали 45
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018)

Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. II. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах твёрдыми износостойкими и мягкими
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)

Упрочнение поверхностного слоя алюминиевого сплава АМг6 с помощью комбинированной электроискровой и ультразвуковой ударной обработки
за авторством: Прокопенко, Г.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Мёссбауэровская спектроскопия поверхностного слоя титанового сплава ВТ6, модифицированного ультразвуковой ударной деформацией
за авторством: Польшин, Э.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001)
за авторством: Шаміс, М.Н., та інші
Опубліковано: (2017)

Зміцнення поверхні сталі 45 йонним азотуванням у геліконному розряді
за авторством: Руденко, Е.М., та інші
Опубліковано: (2018)

Mechanical and Structural Studies of Ternary Mo–Zr–N Layers Deposited on Substrate by PVD
за авторством: Abboudi, Abdelaziz, та інші
Опубліковано: (2017)

Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Магнетні та магнеторезистивні властивості плівок феромагнетних металів
за авторством: Воробйов, С.І., та інші
Опубліковано: (2015)

Вплив хеміко-термічного оброблення на топографію поверхні титану
за авторством: Погрелюк, І.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Эффект Фарадея в тонких плёнках металлов Fe, Co, Ni на подложках из полиэтилентерефталата
за авторством: Шаповал, К.О., та інші
Опубліковано: (2017)

Температурно-регулируемое межслойное обменное взаимодействие в многослойной структуре Ni₈₀Fe₂₀/Ni₄₀Cu₆₀/Co₉₀Fe₁₀/Mn₈₀Ir₂₀
за авторством: Кравец, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
за авторством: Rudenko, E.M., та інші
Опубліковано: (2015)

Зростання наскрізних пор і термічне дисперґування суцільних полікристалічних плівок міді
за авторством: Петрушенко, С.І., та інші
Опубліковано: (2016)

Образование переходного диффузионного слоя "покрытие—подложка" при электрокристаллизации
за авторством: Штапенко, Э.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Роль рекристаллизации вольфрама в формировании шероховатости его поверхности под влиянием последовательного воздействия нейтронов и распыления
за авторством: Беляева, А.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
за авторством: Коман, Б.П., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние активных химических элементов смазочно-охлаждающих жидкостей на свойства поверхностных слоёв деформированного железа. II. Электронная структура и характер межатомных связей приграничных областей зёрен и их фрагментов
за авторством: Тихонович, В.В.
Опубліковано: (2016)