Зображення обкладинки

Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика

A capacitive sensor with a grid or perforated structure is proposed for monitoring coating thickness in vacuum. The method is based on the dependence of capacitor capacitance on the distance between its plates: during material deposition, the capacitance is measured, and its increment indicates the...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Istomin, A. S., Semenov, E. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Теми:	автоматизация емкостной датчик толщина пленки тонкие пленки компьютерная система контроля
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.2.49
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)

Магнітокеровані наноструктурні матеріали та їхня взаємодія з нуклеїновими кислотами
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
за авторством: Оноприенко, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)

Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
за авторством: Бувайло, А.І., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства наноструктуры Fe₃O₄/Y₂O₃/Fe₃O₄ при работе на переменном токе
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние микроструктуры вакуумных конденсатов никеля на их прочностные свойства
за авторством: Устинов, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
за авторством: Куликовський, B.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Структура и свойства композиционных никелевых покрытий, полученных с помощью программируемого импульсного тока
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2017)

О механизме уменьшения трения наноразмерных многослойных покрытий
за авторством: Григорьев, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Структура и свойства композиционных электролитических никелевых покрытий, полученных импульсным током
за авторством: Дудкина, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние частиц ультрадисперсных алмазов на структуру и свойства электролитических никелевых покрытий
за авторством: Титаренко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Алимов, В.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Структура ионно-плазменных покрытий из высокоэнтропийного сплава AlFeNiCoCuCr
за авторством: Надутов, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Обоснование механоплазменного эффекта, возникающего в процессе механической обработки металла в смазочно-охлаждающих технологических средствах
за авторством: Сошко, А.И., та інші
Опубліковано: (2017)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. I. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на стали 45
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018)

Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Анализ структурного состояния поверхностного слоя после электроэрозионного легирования. II. Особенности формирования электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах твёрдыми износостойкими и мягкими
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2018)

Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
за авторством: Chernyak, M. G., та інші
Опубліковано: (2005)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)

Упрочнение поверхностного слоя алюминиевого сплава АМг6 с помощью комбинированной электроискровой и ультразвуковой ударной обработки
за авторством: Прокопенко, Г.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Вплив хеміко-термічного оброблення на топографію поверхні титану
за авторством: Погрелюк, І.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Исследование закономерностей процессов формирования поверхностных слоёв при электроэрозионном легировании. Часть II
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2017)

Structural and Microstructural Analysis of Zn–Mo Alloy Layers Electrodeposited from Aqueous Citrate Solution
за авторством: Świątek, Z., та інші
Опубліковано: (2017)

Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов
за авторством: Найдич, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Nanoscale Surface Deformation of the Granular Со₂₅Ag₇₅ Films
за авторством: Gorobets, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Вплив підшарів ґерманію на оптичну провідність тонких плівок золота
за авторством: Бігун, Р.І., та інші
Опубліковано: (2018)

Електронна будова та мікротвердість карбідних покриттів Ti, V, Cr на сталі У10А
за авторством: Заулічний, Я.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Ґрадієнтна релаксація сталевої поверхні в зоні Герцового контакту під час тертя
за авторством: Міщук, О.О., та інші
Опубліковано: (2015)

Real Time Test in situ of Superalloy Oxide Scale Stress by Archimedes Curve Slice Moment Technique
за авторством: Hai-tao Wang, та інші
Опубліковано: (2016)