Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний"
The phenomena of local nucleation and subsequent lateral crystallization of the CoSi2 silicide phase on the surface of porous silicon have been studied. A technology for forming a metallic electrode grid based on cobalt silicide for gas-sensitive surface-barrier silicon structures is proposed. Mult...
Gespeichert in:
| Datum: | 2006 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.34 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1862405638733168640 |
|---|---|
| author | Belousov, I. V. Buzaneva, E. V. Kuznetsov, G. V. |
| author_facet | Belousov, I. V. Buzaneva, E. V. Kuznetsov, G. V. |
| author_sort | Belousov, I. V. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-13T11:12:02Z |
| description |
The phenomena of local nucleation and subsequent lateral crystallization of the CoSi2 silicide phase on the surface of porous silicon have been studied. A technology for forming a metallic electrode grid based on cobalt silicide for gas-sensitive surface-barrier silicon structures is proposed. Multilayer film structures "cobalt silicide – porous silicon – silicon" exhibit sensor properties and can be used as elements of gas sensors.
|
| first_indexed | 2026-04-14T01:00:24Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-988 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-14T01:00:24Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-9882026-04-13T11:12:02Z Gas-sensitive structures "cobalt silicide – porous silicon – silicon" Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" Belousov, I. V. Buzaneva, E. V. Kuznetsov, G. V. silicide phase porous silicon multilayer structure gas sensor силицидная фаза пористый кремний многослойная структура газовый датчик The phenomena of local nucleation and subsequent lateral crystallization of the CoSi2 silicide phase on the surface of porous silicon have been studied. A technology for forming a metallic electrode grid based on cobalt silicide for gas-sensitive surface-barrier silicon structures is proposed. Multilayer film structures "cobalt silicide – porous silicon – silicon" exhibit sensor properties and can be used as elements of gas sensors. Изучены явления локального зарождения и последующей латеральной кристаллизации силицидной фазы CoSi2 на поверхности пористого кремния. Предложена технология формирования сетки металлического электрода на основе силицида кобальта для газочувствительных поверхностно-барьерных кремниевых структур. Многослойные пленочные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" обладают сенсорными свойствами и могут использоваться в качестве элементов газовых датчиков. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006-02-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.34 Technology and design in electronic equipment; No. 1 (2006): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 34-36 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 1 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 34-36 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.34/899 Copyright (c) 2006 Belousov I. V., Buzaneva E. V., Kuznetsov G. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | силицидная фаза пористый кремний многослойная структура газовый датчик Belousov, I. V. Buzaneva, E. V. Kuznetsov, G. V. Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" |
| title | Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" |
| title_alt | Gas-sensitive structures "cobalt silicide – porous silicon – silicon" |
| title_full | Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" |
| title_fullStr | Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" |
| title_full_unstemmed | Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" |
| title_short | Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" |
| title_sort | газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" |
| topic | силицидная фаза пористый кремний многослойная структура газовый датчик |
| topic_facet | silicide phase porous silicon multilayer structure gas sensor силицидная фаза пористый кремний многослойная структура газовый датчик |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.34 |
| work_keys_str_mv | AT belousoviv gassensitivestructuresquotcobaltsilicideporoussiliconsiliconquot AT buzanevaev gassensitivestructuresquotcobaltsilicideporoussiliconsiliconquot AT kuznetsovgv gassensitivestructuresquotcobaltsilicideporoussiliconsiliconquot AT belousoviv gazočuvstvitelʹnyestrukturyquotsilicidkobalʹtaporistyjkremnijkremnijquot AT buzanevaev gazočuvstvitelʹnyestrukturyquotsilicidkobalʹtaporistyjkremnijkremnijquot AT kuznetsovgv gazočuvstvitelʹnyestrukturyquotsilicidkobalʹtaporistyjkremnijkremnijquot |