Buchumschlag

Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний"

The phenomena of local nucleation and subsequent lateral crystallization of the CoSi2 silicide phase on the surface of porous silicon have been studied. A technology for forming a metallic electrode grid based on cobalt silicide for gas-sensitive surface-barrier silicon structures is proposed. Mult...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	Belousov, I. V., Buzaneva, E. V., Kuznetsov, G. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Schlagworte:	силицидная фаза пористый кремний многослойная структура газовый датчик
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.34
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
von: Yerokhov, V. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
von: Novosyadlyi, S. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Iatsunskyi, I. R.
Veröffentlicht: (2013)

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
von: Belousov, I. V.
Veröffentlicht: (2007)

Оптимизация конструкции мембранных датчиков
von: Rubcevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Солнечный кремний
von: Шаповалов, В.А.
Veröffentlicht: (2014)

ЛАЗЕРНЫЙ ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ, ОСНОВАННЫЙ НА ЧАСТОТНО-ФАЗОВОМ МЕТОДЕ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
von: Forsh, P. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Структуры на основе гетероперехода "кремний—арсенид галлия" для интегральных оптронов
von: Терлецкая, Л.Л., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Электронные уровни конфигураций дивакансий в кремнии
von: Долголенко, А.П.
Veröffentlicht: (2012)

DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
von: Комаров, Б.А.
Veröffentlicht: (2001)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
von: Ерохов, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Электрофизическая обработка сплавов системы алюминий-кремний в магнитодинамических установках
von: Дубоделов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Датчик скорости газового потока
von: Godovaniouk, V. N., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Кластерные образования проводящих квантовых структур в монокристаллическом кремнии для гелиоэнергетики
von: Ефимов, В.П.
Veröffentlicht: (2009)

Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии
von: Суджанская, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Свойства алмазного поликристаллического композиционного материала, полученного в системе алмаз–графен–кремний
von: Шульженко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Влияние облучения и отжига на термическую стабильность радиационных дефектов в кремнии
von: Варенцов, М.Д., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Интерференционные эффекты в кремний-германиевых гетероструктурах с квантовыми ямами различной ширины
von: Беркутов, И.Б., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Формирование стабильной аморфной фазы в покрытом углеродом кремнии при глубоком электрохимическом литировании
von: Куксенко, С.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Подвижность носителей в случае диффузного движения при конфигурационной перестройке дивакансий в кремнии
von: Долголенко, А.П.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Смынтына, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
von: Каширин, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (1996)

Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
von: Moskovchenko, N. N., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
von: Kulinich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Отрицательная фотопроводимость и поверхностно-барьерный фотодиодный эффект – два взаимосвязанных поверхностных фотоэффекта в макропористом кремнии
von: Карась, Н.И.
Veröffentlicht: (2014)

Особенности электронных свойств δ<SЬ>-слоев в эпитаксиальном кремнии. ІІІ. Электрон-фононная релаксация
von: Каширин, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (1997)

Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
von: Dzhafarov, T. D., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков
von: Негоденко, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Особенности электронных свойств δ<Sb>-слоев в эпитаксиальном кремнии. IV. Прыжковая проводимость и нелинейные эффекты
von: Красовицкий, Вит.Б., et al.
Veröffentlicht: (1998)

Роль пластической деформации в получении нанокремния
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Особенности электронных свойств δ(Sb)-слоев в эпитаксиальном кремнии. 2. Эффекты слабой локализации и электрон-электронного взаимодействия
von: Каширин, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (1996)

Специализированное устройство электропитания
von: Gunchenko, Yu. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

ІНФРАЧЕРВОНИЙ ДАТЧИК ВМІСТУ ВОДИ В СКРАПЛЕНОМУ ГАЗІ
von: Тужанський, С. Є., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂
von: Алиева, Х.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Анализ структурно-химического состояния и классификация оксидных и металлических фаз системы кремний−кальций−барий−кислород. Сплавы силикокальцийбария. Сообщение 2
von: Белов, Б.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2018)