Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний"
The phenomena of local nucleation and subsequent lateral crystallization of the CoSi2 silicide phase on the surface of porous silicon have been studied. A technology for forming a metallic electrode grid based on cobalt silicide for gas-sensitive surface-barrier silicon structures is proposed. Mult...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.34 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Yerokhov, V. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
за авторством: Belousov, I. V.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Belousov, I. V.
Опубліковано: (2007)
Оптимизация конструкции мембранных датчиков
за авторством: Rubcevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Rubcevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2009)
Солнечный кремний
за авторством: Шаповалов, В.А.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Шаповалов, В.А.
Опубліковано: (2014)
ЛАЗЕРНЫЙ ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ, ОСНОВАННЫЙ НА ЧАСТОТНО-ФАЗОВОМ МЕТОДЕ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ
за авторством: Брагинец, И.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Брагинец, И.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Структуры на основе гетероперехода "кремний—арсенид галлия" для интегральных оптронов
за авторством: Терлецкая, Л.Л., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Терлецкая, Л.Л., та інші
Опубліковано: (2003)
Электронные уровни конфигураций дивакансий в кремнии
за авторством: Долголенко, А.П.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Долголенко, А.П.
Опубліковано: (2012)
DLTS - спектроскопия водородосодержащих дефектовв облученном n-кремнии
за авторством: Комаров, Б.А.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Комаров, Б.А.
Опубліковано: (2001)
Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
за авторством: Ерохов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ерохов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Электрофизическая обработка сплавов системы алюминий-кремний в магнитодинамических установках
за авторством: Дубоделов, В.И., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дубоделов, В.И., та інші
Опубліковано: (2009)
Датчик скорости газового потока
за авторством: Godovaniouk, V. N., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Godovaniouk, V. N., та інші
Опубліковано: (2011)
Кластерные образования проводящих квантовых структур в монокристаллическом кремнии для гелиоэнергетики
за авторством: Ефимов, В.П.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ефимов, В.П.
Опубліковано: (2009)
Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии
за авторством: Суджанская, И.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Суджанская, И.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Свойства алмазного поликристаллического композиционного материала, полученного в системе алмаз–графен–кремний
за авторством: Шульженко, А.А., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Шульженко, А.А., та інші
Опубліковано: (2017)
Влияние облучения и отжига на термическую стабильность радиационных дефектов в кремнии
за авторством: Варенцов, М.Д., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Варенцов, М.Д., та інші
Опубліковано: (2010)
Интерференционные эффекты в кремний-германиевых гетероструктурах с квантовыми ямами различной ширины
за авторством: Беркутов, И.Б., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Беркутов, И.Б., та інші
Опубліковано: (2016)
Формирование стабильной аморфной фазы в покрытом углеродом кремнии при глубоком электрохимическом литировании
за авторством: Куксенко, С.П., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Куксенко, С.П., та інші
Опубліковано: (2010)
Подвижность носителей в случае диффузного движения при конфигурационной перестройке дивакансий в кремнии
за авторством: Долголенко, А.П.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Долголенко, А.П.
Опубліковано: (2014)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
за авторством: Каширин, В.Ю., та інші
Опубліковано: (1996)
за авторством: Каширин, В.Ю., та інші
Опубліковано: (1996)
Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
за авторством: Moskovchenko, N. N., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Moskovchenko, N. N., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Отрицательная фотопроводимость и поверхностно-барьерный фотодиодный эффект – два взаимосвязанных поверхностных фотоэффекта в макропористом кремнии
за авторством: Карась, Н.И.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Карась, Н.И.
Опубліковано: (2014)
Особенности электронных свойств δ<SЬ>-слоев в эпитаксиальном кремнии. ІІІ. Электрон-фононная релаксация
за авторством: Каширин, В.Ю., та інші
Опубліковано: (1997)
за авторством: Каширин, В.Ю., та інші
Опубліковано: (1997)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
Особенности электронных свойств δ<Sb>-слоев в эпитаксиальном кремнии. IV. Прыжковая проводимость и нелинейные эффекты
за авторством: Красовицкий, Вит.Б., та інші
Опубліковано: (1998)
за авторством: Красовицкий, Вит.Б., та інші
Опубліковано: (1998)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Особенности электронных свойств δ(Sb)-слоев в эпитаксиальном кремнии. 2. Эффекты слабой локализации и электрон-электронного взаимодействия
за авторством: Каширин, В.Ю., та інші
Опубліковано: (1996)
за авторством: Каширин, В.Ю., та інші
Опубліковано: (1996)
Специализированное устройство электропитания
за авторством: Gunchenko, Yu. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Gunchenko, Yu. A., та інші
Опубліковано: (2010)
ІНФРАЧЕРВОНИЙ ДАТЧИК ВМІСТУ ВОДИ В СКРАПЛЕНОМУ ГАЗІ
за авторством: Тужанський, С. Є., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Тужанський, С. Є., та інші
Опубліковано: (2014)
Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂
за авторством: Алиева, Х.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Алиева, Х.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Анализ структурно-химического состояния и классификация оксидных и металлических фаз системы кремний−кальций−барий−кислород. Сплавы силикокальцийбария. Сообщение 2
за авторством: Белов, Б.Ф., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Белов, Б.Ф., та інші
Опубліковано: (2018)